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InAs/InAsSb超晶格红外中/中波双色焦平面探测器研制
被引量：
2
1
作者
何英杰
彭震宇
+8 位作者
曹先存
朱旭波
李墨
陶飞
丁嘉欣
姚官生
张利学
王雯
吕衍秋
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第3期545-550,共6页
超晶格材料已经成为了第三代红外焦平面探测器的优选材料。双波段红外探测器能够通过对比两个波段内的光谱信息差异,对复杂的背景进行抑制,提高探测效果,在需求中尤为重要。本文开展了InAs/InAsSb超晶格中/中双色焦平面探测器设计及制...
超晶格材料已经成为了第三代红外焦平面探测器的优选材料。双波段红外探测器能够通过对比两个波段内的光谱信息差异,对复杂的背景进行抑制,提高探测效果,在需求中尤为重要。本文开展了InAs/InAsSb超晶格中/中双色焦平面探测器设计及制备技术研究,从器件设计、材料外延、芯片加工等方面展开研究,制备了中心距30μm的320×256 InAs/InAsSb二类超晶格中/中波双色焦平面探测器。器件短中波峰值探测率达到7.2×10^(11)cm·Hz^(1/2)W^(-1),中波峰值探测率为6.7×10^(11)cm·Hz^(1/2)W^(-1),短中波有效像元率为99.51%,中波为99.13%,获得了高质量的成像效果,实现中中双色探测。
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关键词
InAs/InAsSb
双色中/中波
焦平面
红外探测器
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职称材料
题名
InAs/InAsSb超晶格红外中/中波双色焦平面探测器研制
被引量：
2
1
作者
何英杰
彭震宇
曹先存
朱旭波
李墨
陶飞
丁嘉欣
姚官生
张利学
王雯
吕衍秋
机构
中国空空导弹研究院
红外探测器技术航空科技重点实验室
河南省锑化物红外探测器工程技术研究中心
出处
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第3期545-550,共6页
基金
航空科学基金项目(20200024012002)。
文摘
超晶格材料已经成为了第三代红外焦平面探测器的优选材料。双波段红外探测器能够通过对比两个波段内的光谱信息差异,对复杂的背景进行抑制,提高探测效果,在需求中尤为重要。本文开展了InAs/InAsSb超晶格中/中双色焦平面探测器设计及制备技术研究,从器件设计、材料外延、芯片加工等方面展开研究,制备了中心距30μm的320×256 InAs/InAsSb二类超晶格中/中波双色焦平面探测器。器件短中波峰值探测率达到7.2×10^(11)cm·Hz^(1/2)W^(-1),中波峰值探测率为6.7×10^(11)cm·Hz^(1/2)W^(-1),短中波有效像元率为99.51%,中波为99.13%,获得了高质量的成像效果,实现中中双色探测。
关键词
InAs/InAsSb
双色中/中波
焦平面
红外探测器
Keywords
InAs/InAsSb
dual-color mid-mid-wavelength
focal plane arrays
infrared detector
分类号
TJ765 [兵器科学与技术—武器系统与运用工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
InAs/InAsSb超晶格红外中/中波双色焦平面探测器研制
何英杰
彭震宇
曹先存
朱旭波
李墨
陶飞
丁嘉欣
姚官生
张利学
王雯
吕衍秋
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022
2
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