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硅衬底硫化锌薄膜发光器件的研制 被引量:4
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作者 陈松岩 曾明刚 +4 位作者 王水菊 陈谋智 蔡加法 林爱清 邓彩玲 《厦门大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2003年第6期723-726,共4页
用双舟热蒸发技术在硅衬底上制备硫化锌电致发光薄膜,用XRD、XPS技术和电致发光谱分析技术,研究该薄膜的微结构与发光特性.发现硅衬底上硫化锌薄膜与硫化锌粉末在晶体结构上存在差异,掺入的稀土元素铒呈三价,电致发光谱为Er3+的发光谱线... 用双舟热蒸发技术在硅衬底上制备硫化锌电致发光薄膜,用XRD、XPS技术和电致发光谱分析技术,研究该薄膜的微结构与发光特性.发现硅衬底上硫化锌薄膜与硫化锌粉末在晶体结构上存在差异,掺入的稀土元素铒呈三价,电致发光谱为Er3+的发光谱线,硅衬底硫化锌发光薄膜器件可与硅器件工艺兼容. 展开更多
关键词 硅衬底 硫化锌薄膜 发光器件 双舟热蒸发技术 电致发光谱 半导体发光材料
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