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硅衬底硫化锌薄膜发光器件的研制
被引量:
4
1
作者
陈松岩
曾明刚
+4 位作者
王水菊
陈谋智
蔡加法
林爱清
邓彩玲
《厦门大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第6期723-726,共4页
用双舟热蒸发技术在硅衬底上制备硫化锌电致发光薄膜,用XRD、XPS技术和电致发光谱分析技术,研究该薄膜的微结构与发光特性.发现硅衬底上硫化锌薄膜与硫化锌粉末在晶体结构上存在差异,掺入的稀土元素铒呈三价,电致发光谱为Er3+的发光谱线...
用双舟热蒸发技术在硅衬底上制备硫化锌电致发光薄膜,用XRD、XPS技术和电致发光谱分析技术,研究该薄膜的微结构与发光特性.发现硅衬底上硫化锌薄膜与硫化锌粉末在晶体结构上存在差异,掺入的稀土元素铒呈三价,电致发光谱为Er3+的发光谱线,硅衬底硫化锌发光薄膜器件可与硅器件工艺兼容.
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关键词
硅衬底
硫化锌薄膜
发光器件
双舟热蒸发技术
电致发光谱
半导体发光材料
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职称材料
题名
硅衬底硫化锌薄膜发光器件的研制
被引量:
4
1
作者
陈松岩
曾明刚
王水菊
陈谋智
蔡加法
林爱清
邓彩玲
机构
厦门大学物理学系
厦门大学分析和测试中心
出处
《厦门大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第6期723-726,共4页
基金
福建省自然科学基金(A0110006)
厦门大学自选课题基金(Y07007)资助
文摘
用双舟热蒸发技术在硅衬底上制备硫化锌电致发光薄膜,用XRD、XPS技术和电致发光谱分析技术,研究该薄膜的微结构与发光特性.发现硅衬底上硫化锌薄膜与硫化锌粉末在晶体结构上存在差异,掺入的稀土元素铒呈三价,电致发光谱为Er3+的发光谱线,硅衬底硫化锌发光薄膜器件可与硅器件工艺兼容.
关键词
硅衬底
硫化锌薄膜
发光器件
双舟热蒸发技术
电致发光谱
半导体发光材料
Keywords
silicon substrates
zinc sulfide films
分类号
TN383 [电子电信—物理电子学]
O484.41 [理学—固体物理]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
硅衬底硫化锌薄膜发光器件的研制
陈松岩
曾明刚
王水菊
陈谋智
蔡加法
林爱清
邓彩玲
《厦门大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2003
4
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