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硅微机械谐振陀螺仪的非线性分析
被引量：
4
1
作者
盛平
王寿荣
+1 位作者
吉训生
许宜申
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
2006年第6期60-62,共3页
给出了硅微机械谐振陀螺仪的结构,介绍了硅微机械谐振陀螺仪的工作原理,详细推导并给出了陀螺仪的输出频率和标度因数非线性的计算公式;基于影响谐振陀螺仪标度因数的参数,分析了由谐振器的振幅和梳齿静电驱动力引起的硅微机械谐振陀螺...
给出了硅微机械谐振陀螺仪的结构,介绍了硅微机械谐振陀螺仪的工作原理,详细推导并给出了陀螺仪的输出频率和标度因数非线性的计算公式;基于影响谐振陀螺仪标度因数的参数,分析了由谐振器的振幅和梳齿静电驱动力引起的硅微机械谐振陀螺仪的非线性特性,给出了振动幅度与谐振频率关系的表达式。实验结果表明,陀螺仪的整体性能主要取决于谐振器振动幅度的稳定性。
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关键词
陀螺
谐振
频率
非线性
双端音叉谐振器
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职称材料
硅微机械谐振陀螺仪结构优化设计
被引量：
1
2
作者
盛平
王寿荣
许宜申
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第z2期1061-1062,共2页
介绍了硅微机械谐振陀螺仪的工作原理,给出了陀螺仪标度因数的表达式,分析了陀螺仪驱动模态的最大振幅、陀螺质量块结构参数、杠杆、DETF结构参数对标度因数的影响,优化了结构设计。利用有限元分析软件ANSYS对陀螺仪的结构进行了仿真,...
介绍了硅微机械谐振陀螺仪的工作原理,给出了陀螺仪标度因数的表达式,分析了陀螺仪驱动模态的最大振幅、陀螺质量块结构参数、杠杆、DETF结构参数对标度因数的影响,优化了结构设计。利用有限元分析软件ANSYS对陀螺仪的结构进行了仿真,并制作了原理样机。
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关键词
陀螺
双端音叉谐振器
标度因数
结构优化
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职称材料
双质量块调谐输出式硅MEMS陀螺仪的理论计算及仿真
被引量：
12
3
作者
李建利
房建成
+1 位作者
盛蔚
董海峰
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第3期484-491,共8页
提出了一种双质量块调谐输出式硅MEMS陀螺仪。采用两块反相、同频、等幅振动质量块作为敏感单元,通过测量谐振器谐振频率变化来计算转速的大小。推导了哥氏力与输入转速的传递函数,用瑞利-里茨法求得在轴向力作用下梁的固有频率方程,利...
提出了一种双质量块调谐输出式硅MEMS陀螺仪。采用两块反相、同频、等幅振动质量块作为敏感单元,通过测量谐振器谐振频率变化来计算转速的大小。推导了哥氏力与输入转速的传递函数,用瑞利-里茨法求得在轴向力作用下梁的固有频率方程,利用马蒂厄方程分析了双端音叉谐振器的运动数学表达式及陀螺仪标度因数方程。ANSYS分析表明:谐振器固有谐振频率为4.0431×106Hz;在谐振器端部施加1×106Pa预载荷后,谐振频率偏移量为20.7 kHz。仿真结果验证了理论推导的正确性。该陀螺仪减少了振动噪声及能量损耗,消除了外界共模加速度引起的误差。
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关键词
微机电系统
陀螺仪
双质量块
双端音叉谐振器
频率输出
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职称材料
题名
硅微机械谐振陀螺仪的非线性分析
被引量：
4
1
作者
盛平
王寿荣
吉训生
许宜申
机构
东南大学仪器科学与工程系
出处
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
2006年第6期60-62,共3页
基金
国家863资助项目(编号:2002AA812038)
文摘
给出了硅微机械谐振陀螺仪的结构,介绍了硅微机械谐振陀螺仪的工作原理,详细推导并给出了陀螺仪的输出频率和标度因数非线性的计算公式;基于影响谐振陀螺仪标度因数的参数,分析了由谐振器的振幅和梳齿静电驱动力引起的硅微机械谐振陀螺仪的非线性特性,给出了振动幅度与谐振频率关系的表达式。实验结果表明,陀螺仪的整体性能主要取决于谐振器振动幅度的稳定性。
关键词
陀螺
谐振
频率
非线性
双端音叉谐振器
Keywords
gyroscope
resonance frequency
nonlinearity
double-ended tuning fork resonator(DETF)
分类号
U666.1 [交通运输工程—船舶及航道工程]
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职称材料
题名
硅微机械谐振陀螺仪结构优化设计
被引量：
1
2
作者
盛平
王寿荣
许宜申
机构
东南大学仪器科学与工程系
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第z2期1061-1062,共2页
基金
国家863资助项目(2002AA812038)
文摘
介绍了硅微机械谐振陀螺仪的工作原理,给出了陀螺仪标度因数的表达式,分析了陀螺仪驱动模态的最大振幅、陀螺质量块结构参数、杠杆、DETF结构参数对标度因数的影响,优化了结构设计。利用有限元分析软件ANSYS对陀螺仪的结构进行了仿真,并制作了原理样机。
关键词
陀螺
双端音叉谐振器
标度因数
结构优化
Keywords
gyroscope double-ended tuning fork resonator (DETF) scale factor optimization
分类号
TH7-55 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
双质量块调谐输出式硅MEMS陀螺仪的理论计算及仿真
被引量：
12
3
作者
李建利
房建成
盛蔚
董海峰
机构
北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第3期484-491,共8页
基金
国家自然科学基金重点项目(No.60736025)
国防基础科研基金资助项目(No.D2120060013)
文摘
提出了一种双质量块调谐输出式硅MEMS陀螺仪。采用两块反相、同频、等幅振动质量块作为敏感单元,通过测量谐振器谐振频率变化来计算转速的大小。推导了哥氏力与输入转速的传递函数,用瑞利-里茨法求得在轴向力作用下梁的固有频率方程,利用马蒂厄方程分析了双端音叉谐振器的运动数学表达式及陀螺仪标度因数方程。ANSYS分析表明:谐振器固有谐振频率为4.0431×106Hz;在谐振器端部施加1×106Pa预载荷后,谐振频率偏移量为20.7 kHz。仿真结果验证了理论推导的正确性。该陀螺仪减少了振动噪声及能量损耗,消除了外界共模加速度引起的误差。
关键词
微机电系统
陀螺仪
双质量块
双端音叉谐振器
频率输出
Keywords
Micro-electro-mechanical System（MEMS）
gyroscope
dual mass
Double-ended Tuning Fork（DETF） resonator
frequency output
分类号
V241.5 [航空宇航科学与技术—飞行器设计]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
硅微机械谐振陀螺仪的非线性分析
盛平
王寿荣
吉训生
许宜申
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
2006
4
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
硅微机械谐振陀螺仪结构优化设计
盛平
王寿荣
许宜申
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
双质量块调谐输出式硅MEMS陀螺仪的理论计算及仿真
李建利
房建成
盛蔚
董海峰
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
12
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职称材料
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