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双端固定音叉式硅微机械谐振器的研究与应用被引量：12: 1; 作者钟莹张国雄李醒飞《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第14期1199-1201,共3页; 提出了一种使用双端固定音叉的新型结构的谐振式硅微机械加速度计。它用硅梁侧壁形成的静电电容进行激振 ,并通过在音叉臂上制作的压敏电阻检测振动。该加速度计输出的是频率信号 ,具有精度高、抗干扰能力强的优点。探讨了传感器的工作... 展开更多; 关键词双端固定音叉微机电系统加速度计谐振器; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于双端固定音叉的润滑剂微黏着力测量系统: 2; 作者刘卿卿李冉《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2018年第10期59-62,共4页; 针对普通石英音叉测力时,其开放端耦合探针导致品质因数(Q值)降低的问题,设计一种基于双端固定石英音叉的微力测量系统,用于润滑剂微黏着力测量。该系统将双端固定石英音叉固定端与一光纤探针耦合,形成对称结构,采用宽度弯曲振动模式,... 展开更多; 关键词双端固定石英音叉光纤探针锁相放大器品质因数润滑剂; 在线阅读下载PDF 职称材料

微机械音叉谐振器动力学分析与仿真被引量：5: 3; 作者刘恒何晓平 +1 位作者苏伟张富堂《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第3期325-330,共6页; 根据双端固定音叉谐振器的动力学原理,建立了其参数模型。该模型基于MAST语言,包含几个子模型,模型有利于验证外围电路和减少计算时间。对于工作谐振模态频率的求解,解析计算和有限元仿真结果一致(相对误差小于1%)。通过模态分析和结构... 展开更多; 关键词微机械电子系统微谐振器双端固定音叉谐振频率参数模型; 在线阅读下载PDF 职称材料

谐振式微加速度传感器的有限元分析(英文): 4; 作者陈健陈德勇《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第1期96-100,共5页; 有限元分析用来评估一种新颖的谐振微加速度传感器,仔细分析新结构的几个主要振动模态,优化结构参数,证实这种硅基谐振式微加速度传感器的灵敏度高于1 000 Hz/gn.而且在有限元分析的基础上对实际制造的非完全匹配的双端固定音叉的特点... 展开更多; 关键词微机械电子系统谐振式微加速度传感器有限元模拟非完全匹配的双端固定音叉; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名双端固定音叉式硅微机械谐振器的研究与应用被引量：12: 1; 作者钟莹张国雄李醒飞; 机构天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室; 出处《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第14期1199-1201,共3页; 文摘提出了一种使用双端固定音叉的新型结构的谐振式硅微机械加速度计。它用硅梁侧壁形成的静电电容进行激振 ,并通过在音叉臂上制作的压敏电阻检测振动。该加速度计输出的是频率信号 ,具有精度高、抗干扰能力强的优点。探讨了传感器的工作原理 ,并用有限元方法进行了仿真模拟 ,结果显示传感器的灵敏度约为 2 Hz/g。; 关键词双端固定音叉微机电系统加速度计谐振器; Keywords DETF(double-ended-turing fork) MEMS accelerometer resonator; 分类号 TN40 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于双端固定音叉的润滑剂微黏着力测量系统: 2; 作者刘卿卿李冉; 机构南京信息工程大学信息与控制学院南京信息工程大学大气环境与装备技术协同创新中心南京电讯技术研究所; 出处《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2018年第10期59-62,共4页; 基金国家自然科学基金项目(61701244); 文摘针对普通石英音叉测力时,其开放端耦合探针导致品质因数(Q值)降低的问题,设计一种基于双端固定石英音叉的微力测量系统,用于润滑剂微黏着力测量。该系统将双端固定石英音叉固定端与一光纤探针耦合,形成对称结构,采用宽度弯曲振动模式,以计算机控制压电微动实验台负载被检测样品接近或远离光纤探针,并实时监测石英音叉振动的幅值和相位变化,以AD630芯片为核心设计锁相放大器比较传感器输入与输出信号的幅值和相位差,进而反演润滑剂的竖直方向黏着力。实验结果表明探针耦合前后,系统均具有较高Q值,且装置结构简单,易于扩展。; 关键词双端固定石英音叉光纤探针锁相放大器品质因数润滑剂; Keywords quartz double-ended fixation tuning fort optical fiber probe lock-in amplifier quality factor lubricant; 分类号 TH823 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微机械音叉谐振器动力学分析与仿真被引量：5: 3; 作者刘恒何晓平苏伟张富堂; 机构重庆大学通信工程学院中国工程物理研究院电子工程研究所; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第3期325-330,共6页; 基金国防预研项目资助; 文摘根据双端固定音叉谐振器的动力学原理,建立了其参数模型。该模型基于MAST语言,包含几个子模型,模型有利于验证外围电路和减少计算时间。对于工作谐振模态频率的求解,解析计算和有限元仿真结果一致(相对误差小于1%)。通过模态分析和结构参数敏感性分析提出合理的选择参数可以使工作模态频率远离高阶模态频率,减少音叉梁固接端的弹性系数有利于抑制低阶模态的扰动。结构参数敏感性分析表明工作频率随音叉梁长度增大而减小,随其宽度的减小而增大,结构厚度对频率不产生影响。; 关键词微机械电子系统微谐振器双端固定音叉谐振频率参数模型; Keywords microelectromechanic system micro-resonators double-ended tuning fork resonant frequency parameter model; 分类号 TN216 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名谐振式微加速度传感器的有限元分析(英文): 4; 作者陈健陈德勇; 机构中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第1期96-100,共5页; 文摘有限元分析用来评估一种新颖的谐振微加速度传感器,仔细分析新结构的几个主要振动模态,优化结构参数,证实这种硅基谐振式微加速度传感器的灵敏度高于1 000 Hz/gn.而且在有限元分析的基础上对实际制造的非完全匹配的双端固定音叉的特点和对于测量的不良影响进行分析.; 关键词微机械电子系统谐振式微加速度传感器有限元模拟非完全匹配的双端固定音叉; Keywords MEMS resonant microaccelerometer FEA simulation, not perfectly matched DETF; 分类号 TP212.12 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料