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电磁型双稳态射频开关的微机械结构设计
被引量：
7
1
作者
张永华
丁桂甫
+2 位作者
赵小林
马骏
蔡炳初
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第5期725-728,共4页
提出了利用电磁驱动机理优点的双稳态射频微电子机械系统(RFMEMS)开关结构形式.开关的微驱动部分由导磁的悬梁、扭梁和线圈、永磁体组成.由于采用了永磁铁单元,可以实现对开关的双稳态电磁控制,从而降低了开关的功耗.对开关的微机械结...
提出了利用电磁驱动机理优点的双稳态射频微电子机械系统(RFMEMS)开关结构形式.开关的微驱动部分由导磁的悬梁、扭梁和线圈、永磁体组成.由于采用了永磁铁单元,可以实现对开关的双稳态电磁控制,从而降低了开关的功耗.对开关的微机械结构进行力学分析的结果表明,含有加强筋结构的开关模型,在12μN力的作用下,可以使悬梁两端产生20μm的位移,此时系统的固有振动频率约为5.7kHz.
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关键词
射频
微电子机械系统
开关
双稳态电磁驱动
模型分析
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职称材料
题名
电磁型双稳态射频开关的微机械结构设计
被引量：
7
1
作者
张永华
丁桂甫
赵小林
马骏
蔡炳初
机构
上海交通大学薄膜与微细技术教育部重点实验室
出处
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第5期725-728,共4页
基金
国家高技术研究发展计划(863)项目(2003AA404140)
信息产业部电科院预研项目(41308050116)
国家自然科学基金资助项目(10377009)
文摘
提出了利用电磁驱动机理优点的双稳态射频微电子机械系统(RFMEMS)开关结构形式.开关的微驱动部分由导磁的悬梁、扭梁和线圈、永磁体组成.由于采用了永磁铁单元,可以实现对开关的双稳态电磁控制,从而降低了开关的功耗.对开关的微机械结构进行力学分析的结果表明,含有加强筋结构的开关模型,在12μN力的作用下,可以使悬梁两端产生20μm的位移,此时系统的固有振动频率约为5.7kHz.
关键词
射频
微电子机械系统
开关
双稳态电磁驱动
模型分析
Keywords
Cantilever beams
Natural frequencies
Permanent magnets
Structural design
Switches
分类号
TN402 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
电磁型双稳态射频开关的微机械结构设计
张永华
丁桂甫
赵小林
马骏
蔡炳初
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
7
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