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双电极叉指换能器声表面波低温传感器的设计与仿真分析
1
作者
叶梦莹
崔永俊
王红亮
《压电与声光》
北大核心
2024年第6期871-877,共7页
为了应对低温环境下的温度测试需求,设计了一种具有双电极叉指换能器(IDT)的128°YX-LiNbO_(3)延迟线型声表面波(SAW)温度传感器。利用COMSOL软件搭建了温度传感器模型,确定了传感器的最佳模型参数,并在-196~100℃对传感器进行仿真...
为了应对低温环境下的温度测试需求,设计了一种具有双电极叉指换能器(IDT)的128°YX-LiNbO_(3)延迟线型声表面波(SAW)温度传感器。利用COMSOL软件搭建了温度传感器模型,确定了传感器的最佳模型参数,并在-196~100℃对传感器进行仿真测试。结果表明,采用双电极叉指结构的传感器的机电耦合系数达到5.35%,同时传感器的谐振频率与温度呈现出良好的线性关系,温度灵敏度为26.2 kHz/℃,频率温度系数达到-83.4×10^(-6)/℃,证明了LiNbO_(3)在低温环境下的可靠性。
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关键词
声表面波
温度传感器
低温
双电极叉指换能器
有限元
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职称材料
题名
双电极叉指换能器声表面波低温传感器的设计与仿真分析
1
作者
叶梦莹
崔永俊
王红亮
机构
中北大学省部共建动态测试技术国家重点实验室
出处
《压电与声光》
北大核心
2024年第6期871-877,共7页
基金
山西省基础研究计划项目(20210302123034)。
文摘
为了应对低温环境下的温度测试需求,设计了一种具有双电极叉指换能器(IDT)的128°YX-LiNbO_(3)延迟线型声表面波(SAW)温度传感器。利用COMSOL软件搭建了温度传感器模型,确定了传感器的最佳模型参数,并在-196~100℃对传感器进行仿真测试。结果表明,采用双电极叉指结构的传感器的机电耦合系数达到5.35%,同时传感器的谐振频率与温度呈现出良好的线性关系,温度灵敏度为26.2 kHz/℃,频率温度系数达到-83.4×10^(-6)/℃,证明了LiNbO_(3)在低温环境下的可靠性。
关键词
声表面波
温度传感器
低温
双电极叉指换能器
有限元
Keywords
surface acoustic waves
temperature sensor
cryogenic
double electrode interdigital transducer
finite element
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TN65 [电子电信—电路与系统]
TN912 [电子电信—通信与信息系统]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
双电极叉指换能器声表面波低温传感器的设计与仿真分析
叶梦莹
崔永俊
王红亮
《压电与声光》
北大核心
2024
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