双波长干涉显微镜波长的双约束标定 被引量：2

1

作者 刘乾 黄小津 +1 位作者 李璐璐 张辉 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第4期656-664,共9页

作为测量的精度来源,双波长干涉显微镜的光波长需要精确标定以溯源至长度基准。本文提出了一种基于两个光波长之间关系、波长与长度基准之间约束的标定方法。理论分析得到了表面重构误差与波长误差之间的关系,认为表面跳变与高度对两个... 作为测量的精度来源,双波长干涉显微镜的光波长需要精确标定以溯源至长度基准。本文提出了一种基于两个光波长之间关系、波长与长度基准之间约束的标定方法。理论分析得到了表面重构误差与波长误差之间的关系,认为表面跳变与高度对两个光波长具有足够的约束自由度,并基于理论分析提出了一种双约束的标定方法。该方法通过测量斜平面与标准高度台阶,分别约束了两个光波长之间的比例关系与算术关系,然后通过求解两个约束关系能够确定光波长。仿真结果表明,双约束标定波长的精度可达到0.1 nm。经过本文方法标定的双波长干涉显微镜,测量微沟槽深度的精度可达到0.5 nm。本文标定方法仅需一块标准高度台阶,为干涉显微镜提供了一种简单的高精度波长标定方法,并可以推广应用于双波长数字全息、三波长干涉等技术。 展开更多

关键词 精密测量 干涉显微镜 双波长干涉 波长标定

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光学元件形貌的双波长干涉测量 被引量：1

2

作者 高亮 曾理江 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第z1期98-100,共3页

本文提出了一种利用双波长激光干涉产生交叉的干涉条纹测量光学元件三维面形的方法。该方法可以有效地提取干涉图像中更多的数据点 ,恢复被测元件的三维形貌。一定程度上解决了大口径光学元件三维形貌测量中数据点密度不足的问题。

关键词 双波长干涉 交叉条纹 三维形貌测量

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全视场外差移相双波长干涉面形检测技术 被引量：6

3

作者 樊国翔 李杨 +2 位作者 张文喜 伍洲 吕彤 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2022年第9期122-130,共9页

双波长干涉检测技术可以实现高动态范围与高测试精度的兼顾,是一种极具潜力的检测技术,用于干涉检测的压电位移机械移相技术存在着一些问题,使用全视场外差移相技术,低频差的外差光源与面阵探测器采集帧率相配合,相较于传统的压电位移... 双波长干涉检测技术可以实现高动态范围与高测试精度的兼顾,是一种极具潜力的检测技术,用于干涉检测的压电位移机械移相技术存在着一些问题,使用全视场外差移相技术,低频差的外差光源与面阵探测器采集帧率相配合,相较于传统的压电位移机械移相技术,可以同时保证不同波长的移相精度,简化移相的复杂度,且可以方便实现多步移相。提出了全视场外差移相双波长干涉测量技术,并搭建了全视场外差移相双波长干涉测量系统,测试了在边缘最高偏离顶点球13μm的非球面以及高度为(1.3±0.1)μm的台阶,经过实验验证其非球面面形PV测试精度为λ/3.53 (λ=633 nm),面形PV测试重复精度为λ/77.38,面形RMS测试精度为λ/14.16,面形RMS测试重复精度为λ/919.10,台阶高度测试精度为λ/16.19,测试重复精度为λ/311.85。 展开更多

关键词 面形检测技术 全视场外差 双波长干涉 非球面 移相

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双脉冲激光诱导铝等离子体的双波长干涉诊断 被引量：1

4

作者 张楚蕙 陆健 +2 位作者 张宏超 高楼 谢知健 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2022年第2期433-439,共7页

双脉冲激光诱导等离子体在激光加工、元素检测、材料去除等领域有广阔的应用前景和发展空间,对其进行诊断具有重要意义。针对延迟双脉冲激光诱导铝等离子体的作用效果和影响机理,采用双波长干涉法对其时间演化规律展开研究。基于马赫-... 双脉冲激光诱导等离子体在激光加工、元素检测、材料去除等领域有广阔的应用前景和发展空间,对其进行诊断具有重要意义。针对延迟双脉冲激光诱导铝等离子体的作用效果和影响机理,采用双波长干涉法对其时间演化规律展开研究。基于马赫-曾德尔干涉仪搭建了双波长干涉诊断系统,得到了双脉冲激光诱导等离子体干涉图。通过对干涉图的处理和分析,得到了等离子体电子密度随双脉冲激光延迟时间的变化规律。结果表明,随着双脉冲激光延迟时间的增加,第二束脉冲激光对等离子体电子密度的增强效果先加强后减弱。其中,双脉冲激光延迟时间为10 ns时,对等离子体电子密度的增强效果最强,在30 ns时刻,其中心区域平均电子密度可达6.49×10^(19) cm^(−3),相较于同等能量单脉冲激光诱导等离子体提升了26%。同时研究了延迟时间对第二束脉冲激光作用机制的影响。研究结果为双脉冲激光诱导等离子体的优化方向提供了参考。 展开更多

关键词 激光等离子体 双脉冲激光 双波长干涉 电子密度

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丝爆等离子体中原子和电子密度分布的激光双波长干涉实验研究 被引量：1

5

作者 黄青丹 王勇 +2 位作者 张亚茹 刘静 曾炼 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第9期3284-3291,共8页

为了深入理解真空和空气中铝丝、钨丝的电爆炸的物理过程,需要对电爆炸丝产物中中性原子和电子的密度分布进行定量测量。基于1 kA、0.1 kA/ns脉冲电流源,利用30 ps脉冲激光建立了532 nm和1064 nm的双波长干涉诊断系统,获得了电爆炸产物... 为了深入理解真空和空气中铝丝、钨丝的电爆炸的物理过程,需要对电爆炸丝产物中中性原子和电子的密度分布进行定量测量。基于1 kA、0.1 kA/ns脉冲电流源,利用30 ps脉冲激光建立了532 nm和1064 nm的双波长干涉诊断系统,获得了电爆炸产物中的中性原子和电子数密度分布。并根据电压电流测量计算获得了在真空中电爆炸铝丝的欧姆沉积能量接近其气化焓,电爆炸产物以铝原子为主,铝原子密度在轴线处为最大值,沿半径方向衰减。涂层钨丝局部区域可欧姆加热至气化,电爆炸产物的平均电离度小于0.16。实验结果表明:在真空中金属丝电爆炸的产物组分与金属丝材质密切相关,不同材料的金属丝的表面电子发射能力、气化焓差异都将影响着最终的能量沉积与相变过程。电爆炸丝在空气中膨胀产生冲击波,空气的限制作用也使得电爆炸丝边界处出现质量聚集的现象。实验中当电爆炸丝场强>30k V/cm时,在冲击波和电爆炸丝之间的区域可以观察到显著的等离子体通道。空气环境将延迟铝丝的电压击穿时刻,提高金属丝中的欧姆沉积能量。 展开更多

关键词 电爆炸金属丝 激光双波长干涉 中性原子 自由电子 密度分布

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双波长集成光栅干涉微位移测量方法 被引量：6

6

作者 陈烽 叶雄英 +1 位作者 伍康 冯金扬 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第11期2433-2438,共6页

介绍了一种基于双波长激光的集成光栅干涉位移检测方法,利用该方法对硅-玻璃键合工艺制作的集成光栅位移敏感芯片进行了测试实验。实验系统主要由敏感芯片、波长为640nm和660nm的双波长半导体激光器、双光电二极管及检测电路组成,敏感... 介绍了一种基于双波长激光的集成光栅干涉位移检测方法,利用该方法对硅-玻璃键合工艺制作的集成光栅位移敏感芯片进行了测试实验。实验系统主要由敏感芯片、波长为640nm和660nm的双波长半导体激光器、双光电二极管及检测电路组成,敏感芯片则由带反射面的可动部件和透明基底上的金属光栅组成。入射激光照射到光栅上产生衍射光斑,衍射光的光强随可动部件与光栅之间的距离变化,通过分别测量两个波长的衍射光强信号并交替切换选取灵敏度较高的输出信号,实现了一定范围内的扩量程位移测量,并得到绝对位置。实验结果表明,利用双波长集成光栅干涉位移检测方法测得敏感芯片可动部件与基底光栅的初始间隙为7.522μm,并实现了间隙从7.522μm到6.904μm区间的高灵敏度位移测量,其噪声等效位移为0.2nm。 展开更多

关键词 位移测量 集成光栅 双波长干涉法 扩量程

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低噪声双波长数字全息及在超精密加工表面检测中的应用 被引量：1

7

作者 潘卫清 龚国芳 范玉峰 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2015年第1期25-31,共7页

通过两个不同波长的数字全息包裹相位差产生数字拍频,得到一个等效波长相位图以消除相位包裹,然后用该等效波长相位光程与任一记录波长做比较,确定单波长包裹相位中相位跳变的位置和跳变倍率,进而实现了单波长包裹相位展开,使相位噪声... 通过两个不同波长的数字全息包裹相位差产生数字拍频,得到一个等效波长相位图以消除相位包裹,然后用该等效波长相位光程与任一记录波长做比较,确定单波长包裹相位中相位跳变的位置和跳变倍率,进而实现了单波长包裹相位展开,使相位噪声不随等效波长相位展开而放大,结果表明该方法可使相位噪声引入的误差减小2?/?m倍。用650 nm和632.8 nm两个波长的激光对用快刀伺服加工的微结构光学元件表面进行了数字全息测量,得到了等效波长为0.024 mm的加工纹理相位展开图,并用频谱滤波得到了元件微观形貌的低频和高频三维数据,各频段表面的粗糙度分别为33.2 nm,19.3 nm,23.4 nm,分析了各种微观结构产生的原因,并对快刀加工的切削参数进行了分析。 展开更多

关键词 双波长干涉 微结构表面检测 数字相位测量 相位解包裹

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激光双谱线功率的不一致性与拍波干涉仪对准精度的关系

8

作者 邓罗根 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1998年第1期105-109,共5页

双谱线功率一致性是拍波干涉测长方案对激光光源提出的特殊要求。本文从拍波干涉仪对准方法的实际出发，在分析双谱线拍波干涉仪输出信号的基础上，研究了双谱线功率不一致与拍波干涉仪对准精度的关系，提出了基本对准盲区和盲区扩大量... 双谱线功率一致性是拍波干涉测长方案对激光光源提出的特殊要求。本文从拍波干涉仪对准方法的实际出发，在分析双谱线拍波干涉仪输出信号的基础上，研究了双谱线功率不一致与拍波干涉仪对准精度的关系，提出了基本对准盲区和盲区扩大量的新概念，建立了描述盲区扩大量与双谱线相对功率差之间关系的解析表达式。为设计拍波干涉仪的激光稳定环路和提高拍波干涉仪的对准精度提供了理论分析工具。 展开更多

关键词 拍波 干涉仪 双波长干涉计量 激光双谱线功率

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光的干涉与衍射

9

《中国光学》 EI CAS 2002年第4期7-11,共5页

O436.1 2002042448由正弦结构图产生的莫尔条纹各影响因素分析=Analysis on effect of various factors on Moiré in-formation[刊,中]/王学礼,赵宏,谭玉山(西安交通大学激光与红外研究所.陕西,西安(710049))。

关键词 光学技术 莫尔条纹 双波长全息干涉术 清华大学 干涉条纹 国家同步辐射实验室 全息光栅 技术研究 中国科技大学 精密工程

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一等大量块(125～1000mm)检定装置 被引量：2

10

作者 邵宏伟 刘香斌 +2 位作者 王雁 党爱华 吴月艳 《计量学报》 CSCD 北大核心 2004年第3期198-202,共5页

量块的测量是长度计量的重要基础。文中的装置采用了高精度的633nm碘稳频氦氖激光器和543nm热稳频氦氖激光器各一台,分别将不同波长的激光光束入射到典型的迈克尔逊干涉仪中,使放置在测量光路中的量块与平晶研合在一起的组合体和参考镜... 量块的测量是长度计量的重要基础。文中的装置采用了高精度的633nm碘稳频氦氖激光器和543nm热稳频氦氖激光器各一台,分别将不同波长的激光光束入射到典型的迈克尔逊干涉仪中,使放置在测量光路中的量块与平晶研合在一起的组合体和参考镜进行干涉,利用CCD摄像机获取干涉图像,同时测量量块温度及空气折射率(或环境参数),一同输入计算机中进行处理计算得到测量结果。对于125～1000mm量块的测量难点是保证温度要稳定、均匀、偏离20℃的范围要小。为此,设计了可高精度控温的仪器箱,可调节温度到17～23℃,温度变化率小于0.01℃ h,从而实现量块线膨胀系数的测量。该装置的量块长度测量不确定度达到U99=0.02μm+0.2×10-6L,量块线膨胀系数测量的不确定度可达U99=0.2×10-6℃-1。 展开更多

关键词 计量学 大量块 双波长迈克尔逊干涉仪 小数重合法

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全息术、器件与应用

11

《中国光学》 EI CAS 1997年第5期59-62,共4页

TB877 97053207数字全息图的计算机编码=Encoding digital hologramsby computer[刊,中]/王天及,杨世宁,李耀棠,张世超,范少武,温焕荣(中科院广州电子技术研究所.广东,广州(510070))//福光技术.—1996,(22).—10—11介绍了几种数字全息... TB877 97053207数字全息图的计算机编码=Encoding digital hologramsby computer[刊,中]/王天及,杨世宁,李耀棠,张世超,范少武,温焕荣(中科院广州电子技术研究所.广东,广州(510070))//福光技术.—1996,(22).—10—11介绍了几种数字全息图的编码技术,并分析了有灵活性和独立性的数字全息图的编码技术的实质。(赵桂云)TrB877 97053208双波长激光全息干涉测试技术研究进展=Progressof research on measurement technique withuse of two-wavelength laser holographic interference[刊,中]/马友光,汪晓红,余国琮(天津大学化学工程研究所.天津(300072))//光电子.激光.— 展开更多

关键词 彩虹全息图 数字全息图 激光全息干涉 光电子 编码技术 彩虹全息术 双波长全息干涉术 理论分析 测试技术 合成似狭缝

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