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激光双法-珀干涉纳米测量系统总体设计
被引量:
2
1
作者
陈本永
朱若谷
吴昭同
《激光技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000年第6期379-384,共6页
设计了一套集光、机、电为一体的新型纳米测量系统 :以激光为光源、双法 珀干涉仪及轻拍式探针为纳米传感部件、以柔性铰链机构的微动工作台为纳米扫描测试系统 ,并采用计算机数字PID实时控制处理 ;提出了通过测量双法 珀干涉仪透射...
设计了一套集光、机、电为一体的新型纳米测量系统 :以激光为光源、双法 珀干涉仪及轻拍式探针为纳米传感部件、以柔性铰链机构的微动工作台为纳米扫描测试系统 ,并采用计算机数字PID实时控制处理 ;提出了通过测量双法 珀干涉仪透射光强基波幅值差或基波等幅值过零时间间隔的方法进行纳米测量的理论基础 ;理论分析了检测探针振动的方法 ;给出了基于柔性铰链机构的微动工作台的有限元设计新方法 ;设计了以电容传感器为精密位置反馈的PID闭环控制系统 ,解决了压电陶瓷等元件对系统造成的非线性影响 ;对系统误差进行了分析。
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关键词
纳米测量
双法-珀干涉仪
轻拍式探针
柔性铰链微动工作台
PID闭环控制
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职称材料
题名
激光双法-珀干涉纳米测量系统总体设计
被引量:
2
1
作者
陈本永
朱若谷
吴昭同
机构
浙江大学机械系精密测量教研室
中国计量学院计测系精仪教研室
出处
《激光技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000年第6期379-384,共6页
基金
国家自然科学基金资助
文摘
设计了一套集光、机、电为一体的新型纳米测量系统 :以激光为光源、双法 珀干涉仪及轻拍式探针为纳米传感部件、以柔性铰链机构的微动工作台为纳米扫描测试系统 ,并采用计算机数字PID实时控制处理 ;提出了通过测量双法 珀干涉仪透射光强基波幅值差或基波等幅值过零时间间隔的方法进行纳米测量的理论基础 ;理论分析了检测探针振动的方法 ;给出了基于柔性铰链机构的微动工作台的有限元设计新方法 ;设计了以电容传感器为精密位置反馈的PID闭环控制系统 ,解决了压电陶瓷等元件对系统造成的非线性影响 ;对系统误差进行了分析。
关键词
纳米测量
双法-珀干涉仪
轻拍式探针
柔性铰链微动工作台
PID闭环控制
Keywords
nano
-
measurement
dual Fabry
-
Perot interferometer
tapping stylus flexure hinge stage
PID closed loop control
分类号
TN247 [电子电信—物理电子学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
激光双法-珀干涉纳米测量系统总体设计
陈本永
朱若谷
吴昭同
《激光技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000
2
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