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双法布里-珀罗干涉仪的非线性控制 被引量：3
1
作者 朱若谷 林敏 陈本永 《计量学报》 CSCD 北大核心 2000年第4期253-259,共7页
研究双法布里 珀罗干涉仪 (DFPI)的非线性控制 ,在所提出的补偿环境及其它影响因素的并行硬件仿真系统 (PSHS)基础上 ,进一步用描述函数方法讨论系统中主要环节 ,压电类器件和法布里 珀罗 (FP)干涉腔的非线性问题 ,包括对象的非线性... 研究双法布里 珀罗干涉仪 (DFPI)的非线性控制 ,在所提出的补偿环境及其它影响因素的并行硬件仿真系统 (PSHS)基础上 ,进一步用描述函数方法讨论系统中主要环节 ,压电类器件和法布里 珀罗 (FP)干涉腔的非线性问题 ,包括对象的非线性动态特性建模和控制系统的稳定性分析、控制器参数确定等 ,并且用现有装置验证了理论分析的结果。 展开更多
关键词 双法布里-珀罗干涉仪 非线性控制 稳定性分析
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基于双法布里-珀罗干涉仪多纵模米散射多普勒激光雷达技术 被引量：1
2
作者 沈法华 徐菁苑 +5 位作者 范安冬 谢晨波 王邦新 杨亮亮 周慧 徐华 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2023年第7期181-190,共10页
提出了基于双法布里-珀罗干涉仪(FPI)的多纵模米散射多普勒激光雷达技术,分析了探测原理,并导出了径向风速和后向散射比测量误差公式。该技术要求多纵模激光源的纵模间隔与双FPI的自由谱间距相匹配,并将各纵模的中心频率锁定在双FPI周... 提出了基于双法布里-珀罗干涉仪(FPI)的多纵模米散射多普勒激光雷达技术,分析了探测原理,并导出了径向风速和后向散射比测量误差公式。该技术要求多纵模激光源的纵模间隔与双FPI的自由谱间距相匹配,并将各纵模的中心频率锁定在双FPI周期性频谱曲线的交叉点附近。详细分析了频率匹配误差引起的风速测量误差。在低风速区域,由频率匹配误差造成的风速测量误差增加的百分数EV随匹配误差的增大而迅速增大;频率匹配误差不变时,EV随风速增大而缓慢减小;当频率匹配误差小于10 MHz时,EV将小于5%。设定合理的大气模式和系统参数,对基于双FPI的多纵模米散射多普勒激光雷达的探测性能进行了仿真分析。结果表明:在0~10 km高度、0~50 m/s的径向风速范围内,当距离分辨率为30 m、时间分辨率为30 s、激光发射天顶角为30°时,系统白天和晚间的径向风速测量精度分别优于1.50 m/s和1.02 m/s;在无云条件下,系统白天和晚间的后向散射比相对测量精度分别优于6.57%和4.53%。 展开更多
关键词 激光雷达 大气风场 多纵模脉冲激光 法布里-珀罗干涉仪 米散射
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基于光纤法布里-珀罗干涉仪的高灵敏微压传感技术研究
3
作者 杨迪 邢美华 +2 位作者 刘钦朋 刘波 闫诚 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第5期787-793,800,共8页
光纤传感器在电池安全监测领域的应用日益增多。针对储能电池内部气压变化微小难以测量的问题,基于光纤法布里-珀罗(Fabry-Pérot,FP)腔体端面镀膜的结构模型,研讨了膜厚、有效半径和腔长之间的关系,深入探究了三者之间的相互制约... 光纤传感器在电池安全监测领域的应用日益增多。针对储能电池内部气压变化微小难以测量的问题,基于光纤法布里-珀罗(Fabry-Pérot,FP)腔体端面镀膜的结构模型,研讨了膜厚、有效半径和腔长之间的关系,深入探究了三者之间的相互制约及理论基础,设计了一种小型化、高灵敏度和高精度的光纤微压传感器。制备了气压灵敏度-239.836 nm/MPa、线性度0.998的微压传感器,其在100 kPa压强范围内表现出良好的线性和稳定性。该传感器结构紧凑、制作简单且成本低,具备较高的灵敏度和优异的压强响应特性。 展开更多
关键词 光纤压强传感器 光纤法布里-珀罗干涉 聚二甲基硅氧烷(PDMS)
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基于双级联法布里-珀罗干涉仪多纵模测温激光雷达技术 被引量：1
4
作者 沈法华 李薛康 +5 位作者 朱江月 谢晨波 王邦新 杨亮亮 周慧 徐华 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2023年第5期165-174,共10页
提出了基于双级联法布里-珀罗干涉仪(FPI)的多纵模高光谱分辨率测温激光雷达技术。分析了该技术的温度探测原理,并据此构建温度探测的理论模型,导出了温度和后向散射比测量误差公式。该技术要求多纵模激光发射源的纵模间隔与双级联FPI... 提出了基于双级联法布里-珀罗干涉仪(FPI)的多纵模高光谱分辨率测温激光雷达技术。分析了该技术的温度探测原理,并据此构建温度探测的理论模型,导出了温度和后向散射比测量误差公式。该技术要求多纵模激光发射源的纵模间隔与双级联FPI的自由谱间距相匹配,并将各纵模的中心频率锁定在前级FPI周期性频谱的峰值位置。详细分析了频率匹配误差和锁定误差引起的温度测量偏差,结果表明:后向散射比越大,相同的频率匹配误差和锁定误差引起的温度测量偏差就越大;频率匹配误差对温度测量的影响大,为保证低层大气温度测量准确,频率匹配误差和锁定误差应分别小于5 MHz和10 MHz。进一步给出了采用FPI腔长粗扫和细扫相结合的频率匹配校准方法和步骤。设定合理的系统参数,对基于双级联FPI的多纵模测温激光雷达系统的探测性能进行仿真分析。结果表明:在0~20 km高度范围内,通常匹配误差和锁定误差引起的温度测量偏差很小,在2 km以上可忽略不计;若出现云层、沙尘等,对应高度的温度测量偏差将会较大;垂直距离分辨率取30 m@0~12 km和60 m@12~20 km、时间分辨率取1 min时,白天和晚间由噪声引起的温度测量误差分别小于3.7 K和3.5 K,后向散射比相对测量误差分别小于0.40%和0.38%。 展开更多
关键词 激光雷达 大气温度 多纵模脉冲激光 法布里-珀罗干涉仪 瑞利散射
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基于法布里-珀罗干涉仪和光纤布拉格光栅的双参量光纤传感器 被引量：2
5
作者 王坤 俞本立 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2016年第5期604-609,共6页
提出了一种结构紧凑的基于法布里-珀罗干涉仪(FPI)和光纤布拉格光栅(FBG)的双参量光纤传感器,实现了对应变和温度的同时测量。将一段端面被腐蚀过的多模光纤(MMF)与一小段光敏光纤(PSF)熔接形成FPI。PSF的平整端面作为FPI的一个反射面,... 提出了一种结构紧凑的基于法布里-珀罗干涉仪(FPI)和光纤布拉格光栅(FBG)的双参量光纤传感器,实现了对应变和温度的同时测量。将一段端面被腐蚀过的多模光纤(MMF)与一小段光敏光纤(PSF)熔接形成FPI。PSF的平整端面作为FPI的一个反射面,FBG被刻写在PSF中.实验测得FPI和FBG对应变的灵敏度分别为8.63 pm/με和1.11 pm/με,对温度的灵敏度分别为-1.60 pm/℃和9.75 pm/℃。由于FBG和FPI对应变和温度分别有不同的灵敏度,组合起来可以实现对双参量的同时测量。实验结果表明传感器同时进行应变和温度测量时的最大误差分别为6.72με和0.98℃。 展开更多
关键词 纤维与波导光学 应变和温度测量 法布里-珀罗干涉仪 光纤布拉格光栅
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提高差拍法布里-珀罗干涉仪测量精度的研究 被引量：6
6
作者 孙文科 许婕 +1 位作者 殷纯永 李岩 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2006年第4期288-291,共4页
文章在中国计量科学研究院研制的差拍法布里-珀罗(F-P)干涉仪基础上,提出用密封干涉光路的真空系统方法,来消除空气折射率变化对测量结果的影响。研究了空气折射率变化对测量精度的影响关系,给出真空系统所需的真空度的估计式。并设计... 文章在中国计量科学研究院研制的差拍法布里-珀罗(F-P)干涉仪基础上,提出用密封干涉光路的真空系统方法,来消除空气折射率变化对测量结果的影响。研究了空气折射率变化对测量精度的影响关系,给出真空系统所需的真空度的估计式。并设计制作了适用于该系统的密封干涉光路的真空系统。 展开更多
关键词 纳米测量 法布里-珀罗腔 拍频干涉法 空气折射率
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法布里-珀罗干涉仪观测钠双线的波长差的简便方法 被引量：1
7
作者 郑少波 《大学物理实验》 1999年第2期11-12,共2页
本文提出一种简便的用法布里珀罗干涉仪观测钠双线波长差的方法
关键词 法布里-珀罗干涉仪 干涉条纹 标准具 波长差
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多因素影响下法布里-珀罗干涉仪透射频谱特性 被引量：4
8
作者 沈法华 夏益祺 +1 位作者 於爱爱 刘成林 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2015年第6期1800-1805,共6页
法布里-珀罗(F-P)干涉仪是具有重要科研和实用价值的光学仪器,能广泛应用于光学鉴频、锁频以及光谱超精细结构的测量研究。然而,在实际应用中干涉仪的频谱特性将受到诸多因素的影响。从入射光束发散角、入射光频谱、干涉仪平板吸收损耗... 法布里-珀罗(F-P)干涉仪是具有重要科研和实用价值的光学仪器,能广泛应用于光学鉴频、锁频以及光谱超精细结构的测量研究。然而,在实际应用中干涉仪的频谱特性将受到诸多因素的影响。从入射光束发散角、入射光频谱、干涉仪平板吸收损耗、平板表面缺陷和不平行度等因素对F-P干涉仪频谱特性的影响做了深入的研究。在考虑了上述诸多实际因素情况下,理论上导出了F-P干涉仪的透射频谱函数的一般表达式;定量给出了由发散角引起的透射频谱整体平移量;提出了等效发射激光谱宽的概念,将入射光束发散角、入射光频谱、干涉仪平板表面缺陷和不平行度等对透射频谱的展宽效应合并处理,给出了定量的等效关系式。这些结果可为法布里-珀罗干涉仪的设计与应用提供借鉴。 展开更多
关键词 法布里-珀罗干涉仪 光束发散角 入射光频谱 表面缺陷 不平行度
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一种基于外腔式法布里-珀罗干涉仪的光纤加速度计 被引量：1
9
作者 王学锋 王明超 +1 位作者 唐才杰 何哲玺 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2015年第6期800-804,共5页
研制了一种基于外腔式法布里-珀罗(F-P)干涉仪的光纤加速度计,理论分析了影响标度因数的结构参数,并利用有限元分析软件ANSYS对该结构进行仿真分析。F-P干涉仪由光纤端面和固定在弹性膜片上的反射镜组成,膜片上加工两圈花瓣状分布的弧... 研制了一种基于外腔式法布里-珀罗(F-P)干涉仪的光纤加速度计,理论分析了影响标度因数的结构参数,并利用有限元分析软件ANSYS对该结构进行仿真分析。F-P干涉仪由光纤端面和固定在弹性膜片上的反射镜组成,膜片上加工两圈花瓣状分布的弧形阵列。这种F-P干涉仪结构标度因数高、横向串扰小。经实验测定,该光纤加速度计标度因数为155.48 rad/g,与仿真分析结果基本吻合,交叉灵敏度仅为4.87×10^(-2) rad/g,分辨率为100mg,零位稳定性为125mg,提出了进一步提高性能的方法。 展开更多
关键词 光纤加速度计 弹性膜片 外腔式 法布里-珀罗干涉仪
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法布里-珀罗干涉仪测平板玻璃折射率的方法研究 被引量：4
10
作者 严琪琪 唐芳 +2 位作者 沈嵘 许怀哲 李华 《物理实验》 2019年第5期22-25,28,共5页
根据光线在法布里-珀罗干涉仪中的传播特点,提出了测量平板玻璃折射率的方法 .首先对法布里-珀罗干涉仪中插入平板玻璃前、后所产生的相邻等倾干涉亮纹直径平方的差值和法布里-珀罗干涉仪内、外介质的折射率之间的关系分别进行了理论分... 根据光线在法布里-珀罗干涉仪中的传播特点,提出了测量平板玻璃折射率的方法 .首先对法布里-珀罗干涉仪中插入平板玻璃前、后所产生的相邻等倾干涉亮纹直径平方的差值和法布里-珀罗干涉仪内、外介质的折射率之间的关系分别进行了理论分析;然后搭建实验光路,使用移测显微镜对干涉亮纹直径进行观察和测量,在平板玻璃厚度已知的前提下,即可得出平板玻璃的折射率,且实验中观察到的现象和测量结果与理论分析相吻合. 展开更多
关键词 法布里-珀罗干涉仪 折射率 光程差 等倾干涉 干涉圆环直径
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测量微小位移的新装置—双平面被动法布里-珀罗干涉仪 被引量：3
11
作者 朱若谷 《激光杂志》 CAS 1985年第2期91-95,共5页
本文提出一种新的测量微小位移的装置。通过补偿温度及其它环境影响,装置具有灵敏度高的特点,又由于将位移转换成脉冲间隔时间的测量。从而,一般情况下,可使用示波器显示结果。装置结构简单。作者在中国计量科学研究院长度处,地下实验... 本文提出一种新的测量微小位移的装置。通过补偿温度及其它环境影响,装置具有灵敏度高的特点,又由于将位移转换成脉冲间隔时间的测量。从而,一般情况下,可使用示波器显示结果。装置结构简单。作者在中国计量科学研究院长度处,地下实验室做出的实验中,得到可分辨的相对变化小于2×10^(-9)(△D/D),或绝对变化仅为λ/1520(△D),装置的时间变化稳定性也优于2×10^(-9)/分。 同时,用它也可以测量其它能转换成光程差变化的物理量。如:材料的线膨胀系数、折射率以及等离子体浓度等。 展开更多
关键词 法布里-珀罗干涉仪 微小位移 新装置 测量 中国计量科学研究院 地下实验室 平面 线膨胀系数 环境影响 补偿温度
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基于法布里-珀罗干涉仪的激光谱线特性测量研究 被引量：4
12
作者 王彬宇 王南朝 +1 位作者 刘崇 刘东 《物理实验》 2019年第8期1-8,共8页
法布里-珀罗干涉仪(简称F-P干涉仪)是具有高光谱分辨能力的光学测量仪器.通过分析F-P干涉仪的干涉图样,能够测量光谱学中的超精细结构,因此在精密光学测量领域中具有重要的研究意义.本文从F-P干涉仪的基本特性出发,介绍干涉仪的基本结构... 法布里-珀罗干涉仪(简称F-P干涉仪)是具有高光谱分辨能力的光学测量仪器.通过分析F-P干涉仪的干涉图样,能够测量光谱学中的超精细结构,因此在精密光学测量领域中具有重要的研究意义.本文从F-P干涉仪的基本特性出发,介绍干涉仪的基本结构,着重阐述了基于F-P干涉仪的激光谱线特性测量方法,以期为教学与科研提供参考. 展开更多
关键词 法布里-珀罗干涉仪 光谱超精细结构 激光谱线特性 多纵模激光器 纵模间隔测量
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法布里-珀罗标准具和共焦球面扫描干涉仪的调节 被引量：3
13
作者 冯璐 《大学物理实验》 2016年第3期18-20,26,共4页
观察法布里—珀罗标准具和共焦球面扫描干涉仪在共焦前后的多光束干涉图像,根据干涉条纹的变化和干涉仪频谱信号强弱进行精确调焦的方法,提高了实验效率并且得到了较好的实验结果。
关键词 法布里-珀罗标准具 共焦球面扫描干涉仪 调节技巧 多光束干涉图像
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中国山西地区法布里-珀罗干涉仪测风能力及数据质量检验
14
作者 黄聪 余涛 +6 位作者 张效信 王劲松 吴谦 李陶 宗位国 敦金平 崔迎计 《空间科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第6期707-714,共8页
介绍了中国气象局山西岢岚大气观测站(39°N,112°E)法布里珀罗干涉仪(FPI)的基本构造、测风能力、程序处理流程、数据质量控制方法以及检验情况.岢岚观测站FPI可以观测892.0(OH)nm,557.7(OI)nm和630.0(OI)nm波长处气辉谱线的... 介绍了中国气象局山西岢岚大气观测站(39°N,112°E)法布里珀罗干涉仪(FPI)的基本构造、测风能力、程序处理流程、数据质量控制方法以及检验情况.岢岚观测站FPI可以观测892.0(OH)nm,557.7(OI)nm和630.0(OI)nm波长处气辉谱线的多普勒移动,分别计算对应87 km,97 km和250 km高度处的大气风速和大气温度,可给出中间层顶区域及热层风的大气潮汐和扰动情况.采用水平风模型(HWM)输出结果进行交叉检验,对FPI测风数据质量进行验证.结果显示,岢岚大气观测站FPI仪器的测风数据在长期趋势上与HWM模式的输出数据一致,风速变化幅度有季节性差异,数据质量控制方法有效,测风误差在87 km高度处为5.7 m·s^(-1),97 km处为1 3m·s^(-1),250km处为4.1 m·s^(-1),测风数据通过了可靠性俭验. 展开更多
关键词 法布里-珀罗干涉仪 气辉 热层风 中间层顶 大气潮汐
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利用光学无源腔理论分析法布里-珀罗干涉仪的透射谱
15
作者 张素恒 王春生 《大学物理》 北大核心 2015年第6期36-37,43,共3页
采用光学无源腔理论得到了法布里-珀罗干涉仪的透射谱,并指出当谐振腔的损耗较小时,干涉仪的透射谱可认为是由一列相互独立的透射峰构成,每个透射峰呈洛伦兹线型.这为理解法布里-珀罗干涉仪的工作原理提供了一个新思路.
关键词 法布里-珀罗干涉仪 光学无源腔 洛伦兹线型
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基于法布里-珀罗干涉的双电机转速测量 被引量：1
16
作者 苏皓 刘冬冬 +1 位作者 董太极 高彪 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2021年第12期1649-1653,共5页
为了实现多台电机速度的同时测量,提出了一种基于法布里-珀罗干涉的双转速测量方法。实验采用全光纤双通道结构,同时测量两台电机的转速。在使用自相关算法分析两个独立的散斑信号之后,获得电机的相应旋转速度。实验结果表明,在随机范... 为了实现多台电机速度的同时测量,提出了一种基于法布里-珀罗干涉的双转速测量方法。实验采用全光纤双通道结构,同时测量两台电机的转速。在使用自相关算法分析两个独立的散斑信号之后,获得电机的相应旋转速度。实验结果表明,在随机范围内可以实现两个单独的转速测量,相对误差小于0.23%。这证明了新型全光纤配置测速仪的高精度和简单操作,并且该结构还实现了双电机转速的同时测量。 展开更多
关键词 法布里-珀罗干涉 散斑干涉 双转速 自相关算法
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法布里-珀罗干涉仪的调节研究与应用 被引量：1
17
作者 李磊 芦立娟 《大学物理实验》 2014年第1期29-31,36,共4页
法布里-珀罗多光束干涉仪的调节技巧,分别以钠、汞和激光为光源调节出清晰、理想的多光束干涉图样,并较精确的测定了氦氖激光的波长。
关键词 法布里-珀罗干涉仪 调节技巧 多光束干涉图样 氦氖激光波长
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亚波长光栅与法布里-珀罗滤光片集成的高性能光谱偏振分光器
18
作者 朱远宇 关学昱 +6 位作者 余沛其 刘清权 贾奇祥 吴杰 李辰璐 李志锋 王少伟 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第2期179-186,共8页
光谱偏振成像技术是一种新型的光学成像技术,它不仅提高了目标的信息获取量,还降低了背景噪声,可以捕获目标细节,检测伪装目标。本文提出了一种将亚波长光栅与F-P滤光片相结合的光谱偏振测量器件,该器件可以获得超高光谱分辨率和偏振消... 光谱偏振成像技术是一种新型的光学成像技术,它不仅提高了目标的信息获取量,还降低了背景噪声,可以捕获目标细节,检测伪装目标。本文提出了一种将亚波长光栅与F-P滤光片相结合的光谱偏振测量器件,该器件可以获得超高光谱分辨率和偏振消光比,并且光谱和偏振可以灵活调控。本文设计了一种光谱偏振同时分光器,可同时获得4个光谱通道的斯托克斯参数。仿真结果表明,其光谱分辨率为217,偏振消光比为106。实验结果表明,亚波长光栅的偏振消光比大于500,透射率为90%。全介质F-P滤光片的光谱分辨率为30,在长波红外波段的透射率为60%。该设计方法具有通用性,可用于可见光、红外甚至太赫兹等波段。得益于这些优点,器件在微型偏振光谱仪和全斯托克斯偏振检测等领域有很大的应用潜力。 展开更多
关键词 光谱偏振分光器 亚波长光栅 法布里-珀罗滤光片 光谱 偏振
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变间隙法布里-珀罗干涉式长波红外光谱成像系统 被引量：6
19
作者 张芳 高教波 +3 位作者 王楠 赵宇洁 吴江辉 郑雅卫 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2017年第3期203-209,共7页
干涉式长波红外光谱成像技术以其独特的工作原理和谱段特性,在众多领域具有广泛的应用前景。为解决仪器小型化、轻量化问题,研究了一种基于变间隙法布里-珀罗(F-P)干涉仪的新型长波红外光谱成像系统。在分析系统工作原理的基础上,研究... 干涉式长波红外光谱成像技术以其独特的工作原理和谱段特性,在众多领域具有广泛的应用前景。为解决仪器小型化、轻量化问题,研究了一种基于变间隙法布里-珀罗(F-P)干涉仪的新型长波红外光谱成像系统。在分析系统工作原理的基础上,研究了确定F-P干涉腔两反射面的反射率、变间隙干涉腔的楔角等主要参数的理论依据;搭建了实验系统,得到了整个装置对黑体宽波段热辐射的响应;通过将系统测得的聚丙烯薄膜的透过率曲线与高精度光谱辐射计测量结果进行比较,结果显示系统光谱分辨率满足理论设计要求。研究表明:该系统能够有效满足长波红外光谱成像系统的轻便化、小型化的需求。 展开更多
关键词 变间隙 法布里-珀罗干涉仪 长波红外 光谱成像系统
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飞秒激光加工光纤法布里-珀罗温度传感器微槽实验研究(特邀)
20
作者 尹泽坤 陈伟康 +1 位作者 谢合瑞 崔健磊 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2024年第11期91-101,共11页
光纤温度传感器相较于传统光学功能器件具有损耗小、抗电磁干扰能力强、耐腐蚀等优点,其中的光纤法布里-珀罗传感器更因其结构简单紧凑、稳定性好、易于制造受到广泛关注。光纤法布里-珀罗传感器功能结构的传统加工工艺存在工艺复杂、... 光纤温度传感器相较于传统光学功能器件具有损耗小、抗电磁干扰能力强、耐腐蚀等优点,其中的光纤法布里-珀罗传感器更因其结构简单紧凑、稳定性好、易于制造受到广泛关注。光纤法布里-珀罗传感器功能结构的传统加工工艺存在工艺复杂、加工效率低下、热影响区严重等问题。光纤作为纤细透明的脆性材料,激光作为非接触的加工方式和微米尺度的聚焦光斑可以有效避免机械性破坏同时可以实现多样性的加工,已经广泛应用于光纤温度传感器的加工。目前,激光加工依然存在纤芯区域粗糙度高、平行度低、加工质量较差等难题。为了确保激光加工的法布里-珀罗腔能够满足传感性能要求,文中进行了飞秒激光加工法布里-珀罗腔的工艺实验研究,得到了不同激光参数、扫描路径对加工法布里-珀罗空气腔的影响规律,发现采用往复式扫描方式并在激光功率选用10 mW、扫描速度100μm/s、扫描间隔4μm、扫描分五次逐次向下进给5μm的工艺参数组合后,可以加工出两反射面接近平行(87.95°),侧壁光滑、面粗糙度稳定在2~4μm的良好形貌法布里-珀罗腔。加工了5种不同腔长的光纤中,腔长为80μm的传感器性能最优为21.07 pm/℃。将腔长为80μm的传感器封装在3种金属管中进行测试,结果证明激光加工光纤法布里-珀罗温度传感器的质量得到了进一步优化,性能进一步提升。但不同的封装材料会较大影响传感器的探测效果,结果发现封装材料的热膨胀系数越大,温度传感器的响应特性越好。 展开更多
关键词 飞秒激光 微槽加工 单模石英光纤 法布里-珀罗腔 温度传感器
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