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题名基于双棱镜的全视场外差干涉测量
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作者
焦琪璐
朱聪慧
吕彤
伍洲
张文喜
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机构
中国科学院空天信息创新研究院
中国科学院大学光电学院
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出处
《光学精密工程》
北大核心
2025年第7期1019-1030,共12页
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基金
中国科学院科研仪器设备研制项目(No.PTYQ2024TD0036)。
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文摘
为了提升全视场外差干涉仪的测量适用性,降低寄生波、混频对干涉仪测量结果的影响,实现高精度低噪声的动态干涉测量,提出了基于双棱镜新型干涉仪构型。该系统能够适用于全视场外差动态干涉测量技术,解决混频对测量结果的影响,进一步降低寄生波对测量结果的影响,同时采用光纤出射的理想光代替参考面,能够避免参考面不均匀对测量精度的影响。解释了干涉仪的基本构型,描述了测量原理,对提出的双棱镜结构的寄生波进行建模仿真,对混频误差进行论证,并进行了寄生波、混频情况的实验验证。实验结果表明:发散结构寄生波相对平行光结构寄生波自然对数量级相差最高为3.2,该构型无混频因素的影响,在测量反射率为3%的元件时,引入的面形测量误差相对泰曼构型优于0.0155λ,与仿真结果一致。基于双棱镜的全视场外差干涉测量技术提升了测量适用性,降低寄生波混频对干涉仪中低频率测量结果的影响,抑制了混频的影响,进一步提升了干涉仪的测量精度。
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关键词
干涉测量
双棱镜构型
全视场外差
寄生波
混频
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Keywords
interferometric measurement
double-prism configuration
full-field heterodyne
stray light
frequency mixing
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分类号
O436.1
[机械工程—光学工程]
TH744
[机械工程—光学工程]
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