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三、四探针测试双极电路外延层电阻率的分析
1
作者
席奎德
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1989年第4期44-48,共5页
在双极电路生产中,总希望在正片上较为准确地测定外延层的电阻率.一般说来,三探针测试适用于N/N^+、P/P^+型结构的外延层的电阻率的测试;四探针适用于N/P型结构的外延层的电阻率测试.双极电路所使用的外延片,在外延之前已作有局部埋层,...
在双极电路生产中,总希望在正片上较为准确地测定外延层的电阻率.一般说来,三探针测试适用于N/N^+、P/P^+型结构的外延层的电阻率的测试;四探针适用于N/P型结构的外延层的电阻率测试.双极电路所使用的外延片,在外延之前已作有局部埋层,这就不能完好地满足三、四探针的测试条件,如果用三、四探针测试这类外延片的电阻率,总会产生不同程度的误差.
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关键词
双极电路
外延层
电阻率
探针
测试
全文增补中
题名
三、四探针测试双极电路外延层电阻率的分析
1
作者
席奎德
机构
常州半导体厂
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1989年第4期44-48,共5页
文摘
在双极电路生产中,总希望在正片上较为准确地测定外延层的电阻率.一般说来,三探针测试适用于N/N^+、P/P^+型结构的外延层的电阻率的测试;四探针适用于N/P型结构的外延层的电阻率测试.双极电路所使用的外延片,在外延之前已作有局部埋层,这就不能完好地满足三、四探针的测试条件,如果用三、四探针测试这类外延片的电阻率,总会产生不同程度的误差.
关键词
双极电路
外延层
电阻率
探针
测试
分类号
TN431.07 [电子电信—微电子学与固体电子学]
全文增补中
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
三、四探针测试双极电路外延层电阻率的分析
席奎德
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1989
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