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梳状谐振器的F-I类比宏模型及SPICE分析
被引量：
1
1
作者
闻飞纳
李伟华
戎华
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第3期344-348,共5页
分析了双极板静电换能器在小信号激励下极板水平运动的情况 ,推导了适合于 F-I类比的机电关系表达式。由于 SPICE中没有对应此关系式的库单元器件模型 ,对包含有此换能器结构的系统很难进行完整的SPICE描述。对此关系式设计了两种可用 S...
分析了双极板静电换能器在小信号激励下极板水平运动的情况 ,推导了适合于 F-I类比的机电关系表达式。由于 SPICE中没有对应此关系式的库单元器件模型 ,对包含有此换能器结构的系统很难进行完整的SPICE描述。对此关系式设计了两种可用 SPICE描述的等效电路 ,以达到梳状谐振器 F-I类比宏模型的整体一致性描述 。
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关键词
梳状谐振器
F—I类比
宏模型
SPICE分析
MEMS
双极板静电换能器
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职称材料
题名
梳状谐振器的F-I类比宏模型及SPICE分析
被引量：
1
1
作者
闻飞纳
李伟华
戎华
机构
东南大学MEMS教育部重点实验室
出处
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第3期344-348,共5页
基金
国家 (8 63计划 )资助项目 (课题编号 :2 0 0 2 AA40 40 10 )
教育部重大项目 (重大 0 2 16)
文摘
分析了双极板静电换能器在小信号激励下极板水平运动的情况 ,推导了适合于 F-I类比的机电关系表达式。由于 SPICE中没有对应此关系式的库单元器件模型 ,对包含有此换能器结构的系统很难进行完整的SPICE描述。对此关系式设计了两种可用 SPICE描述的等效电路 ,以达到梳状谐振器 F-I类比宏模型的整体一致性描述 。
关键词
梳状谐振器
F—I类比
宏模型
SPICE分析
MEMS
双极板静电换能器
Keywords
comb resonator
F I analogy
SPICE
macromode l
分类号
TN629.1 [电子电信—电路与系统]
TN715.2 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
梳状谐振器的F-I类比宏模型及SPICE分析
闻飞纳
李伟华
戎华
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2003
1
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