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双材料微梁阵列非制冷红外成像系统——微梁阵列的设计与制作被引量：8: 1; 作者董凤良张青川 +5 位作者伍小平潘亮郭哲颖陈大鹏王玮冰段志辉《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期409-413,共5页; 给出了一种用于非制冷光学读出红外探测器的核心器件———双材料微悬臂梁阵列的设计和制作.微梁阵列是无硅基底的S iNx/Au双材料单层膜结构,其制作工艺简单、可以直接放在空气中成像.实验使用了设计制作的140×98微梁阵列和高信噪... 展开更多; 关键词非制冷红外成像光学读出双材料微悬臂梁阵列; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于微悬臂梁的微量液体浓度定量检测被引量：2: 2; 作者章泽铵金涛《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第2期26-32,共7页; 采用双材料微悬臂梁结构,实现了一种对微量液体浓度的定量检测方法。该方法是基于双材料微悬臂梁的温度敏感性,当微定量液体分析物吸收光热光谱特征波长的光时,温度发生变化,悬臂梁相应会发生弯曲,通过光杠杆法测量弯曲量,从而实现微悬... 展开更多; 关键词光热光谱双材料微悬臂梁微量液体浓度检测; 在线阅读下载PDF 职称材料

用于小面积热源测量的高灵敏悬臂梁温度传感器: 3; 作者邢志明金涛郑璐璐《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2020年第6期25-32,共8页; 本文利用材料热膨胀系数不同的性质设计了一种可以对小面积热源进行高灵敏检测的温度传感器。该传感器的温度敏感元件是一个上表面镀有金属的氮化硅悬臂梁。由于金属与氮化硅的热膨胀系数不同,因此当悬臂梁所在的环境温度发生变化时,悬... 展开更多; 关键词温度传感器双材料微悬臂梁热膨胀 NAYF4; 在线阅读下载PDF 职称材料

光学读出红外成像中反光板变形对光学检测灵敏度的影响: 4; 作者高杰张青川 +5 位作者陈大鹏焦斌斌史海涛钱剑程腾伍小平《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第4期249-253,共5页; 在刀口滤波光学读出方法的基础上,讨论了反光板弯曲的情况下,刀口滤波方法的光学检测灵敏度与反光板长度之间的关系.分析表明,在反光板曲率半径一定的情况下,光学检测灵敏度首先随着反光板长度的增加而增大,达到最大值后随着反光板长度... 展开更多; 关键词非制冷红外成像双材料微悬臂梁光学读出焦平面阵列; 在线阅读下载PDF 职称材料

光学读出红外成像及其FPA性能分析: 5; 作者高杰焦斌斌 +5 位作者陈大鹏董凤良张青川缪正宇熊志铭伍小平《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2007年第z1期101-104,共4页; 针对已提出的光学读出非制冷红外成像系统,设计研制了一种单元尺寸分别是50 μm×50μm和60 μm×60 μm的新型双材料微悬臂梁红外焦平面阵列(FPA),进行了人体红外热成像实验,并对光学读出非制冷红外成像系统的温度-灰度响应曲... 展开更多; 关键词非制冷红外成像双材料微悬臂梁光学读出焦平面阵列; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名双材料微梁阵列非制冷红外成像系统——微梁阵列的设计与制作被引量：8: 1; 作者董凤良张青川伍小平潘亮郭哲颖陈大鹏王玮冰段志辉; 机构中国科学技术大学中国科学院材料力学行为和设计重点实验室中国科学院微电子研究所; 出处《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期409-413,共5页; 基金自然科学重点基金(10232030) 基金(50076040和10472111)资助项目; 文摘给出了一种用于非制冷光学读出红外探测器的核心器件———双材料微悬臂梁阵列的设计和制作.微梁阵列是无硅基底的S iNx/Au双材料单层膜结构,其制作工艺简单、可以直接放在空气中成像.实验使用了设计制作的140×98微梁阵列和高信噪比的12-b it CCD,得到120℃以上的物体热像,噪声等效温度差(NETD)为7K左右,实验结果与热机械模型预测结果一致.; 关键词非制冷红外成像光学读出双材料微悬臂梁阵列; Keywords uncooled infrared imaging optical readout bimaterial micro-cantilever array; 分类号 TN216 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于微悬臂梁的微量液体浓度定量检测被引量：2: 2; 作者章泽铵金涛; 机构上海理工大学光电信息与计算机工程学院; 出处《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第2期26-32,共7页; 基金国家重点研发计划(2020YFB2007501)项目资助; 文摘采用双材料微悬臂梁结构,实现了一种对微量液体浓度的定量检测方法。该方法是基于双材料微悬臂梁的温度敏感性,当微定量液体分析物吸收光热光谱特征波长的光时,温度发生变化,悬臂梁相应会发生弯曲,通过光杠杆法测量弯曲量,从而实现微悬臂梁对微量液体浓度的定量检测。为了验证对微量液体浓度测量的适用性,实验中采用了已知在980 nm处光热吸收峰的NaYF4样品溶液,分别取多组已知浓度的样品溶液1和0.5μL体积进行测量,通过最小二乘法拟合出浓度与测得电压值之间的关系,结果显示,液体浓度与所测得的电压值成呈线性关系,与理论分析符合。且在1和0.5μL体积的样品溶液拟合曲线的线性相关系数分别为R1=0.998 0,R2=0.989 5,分辨力分别为1.25,1.40 mg/mL。最后通过测试1μL体积的多组浓度溶液,其浓度测量结果误差均在在2 mg/mL以内,表明该方法能有效检测浓度,可用于确定体积微量液体的浓度检测。; 关键词光热光谱双材料微悬臂梁微量液体浓度检测; Keywords photothermic spectrum bi-material micro-cantilever micro-quantity liquid concentration detection; 分类号 O482 [理学—固体物理] TH7 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名用于小面积热源测量的高灵敏悬臂梁温度传感器: 3; 作者邢志明金涛郑璐璐; 机构上海理工大学光电信息与计算机工程学院; 出处《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2020年第6期25-32,共8页; 基金国家自然科学基金资助项目(510605297,51705324) 上海市自然科学基金资助项目(16ZR1423000)。; 文摘本文利用材料热膨胀系数不同的性质设计了一种可以对小面积热源进行高灵敏检测的温度传感器。该传感器的温度敏感元件是一个上表面镀有金属的氮化硅悬臂梁。由于金属与氮化硅的热膨胀系数不同,因此当悬臂梁所在的环境温度发生变化时,悬臂梁会向温度梯度变化快的方向发生弯曲,并且弯曲量与温度成正相关关系。实验中通过光杠杆测量梁的弯曲量,用标定的方式建立温度与探测器输出电压之间的关系。结果显示,该传感器的灵敏度可以达到4.86mV/℃,以及0.04℃的温度分辨力。为验证传感器对小面积热源进行测量的适用性,我们利用NaYF4材料受激发热的性质,对不同面积热源产生的热量进行测量。结果显示,当发热面积约为0.07 mm2时依然可以进行准确测量,实现了对小面积热源温度进行精确测量的目的。; 关键词温度传感器双材料微悬臂梁热膨胀 NAYF4; Keywords temperature sensor bi-material cantilever thermal expansion NaYF4; 分类号 S951.41 [农业科学—水产养殖] O482 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名光学读出红外成像中反光板变形对光学检测灵敏度的影响: 4; 作者高杰张青川陈大鹏焦斌斌史海涛钱剑程腾伍小平; 机构中国科学技术大学中国科学院材料力学行为和设计重点实验室中国科学院微电子研究所; 出处《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第4期249-253,共5页; 基金自然科学基金仪器专项基金(10627201) 重点基金(10732080) 国家重大基础研究计划(2006CB300404)资助项目; 文摘在刀口滤波光学读出方法的基础上,讨论了反光板弯曲的情况下,刀口滤波方法的光学检测灵敏度与反光板长度之间的关系.分析表明,在反光板曲率半径一定的情况下,光学检测灵敏度首先随着反光板长度的增加而增大,达到最大值后随着反光板长度的增加而减小.对于不同曲率半径和长度的反光板,分析给出反光板长度L和曲率半径R在满足L2/R=λ(λ为照明光波长)时,光学检测灵敏度达到最大值.实验测量了已制作的像素尺寸分别为200μm,120μm和60μmFPA的光学检测灵敏度,其实验结果和理论分析一致.; 关键词非制冷红外成像双材料微悬臂梁光学读出焦平面阵列; Keywords uncooled infrared imaging bi-microcantilever optical readout FPA; 分类号 TN216 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名光学读出红外成像及其FPA性能分析: 5; 作者高杰焦斌斌陈大鹏董凤良张青川缪正宇熊志铭伍小平; 机构中国科学技术大学中科院材料力学行为和设计重点实验室中科院微电子研究所; 出处《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2007年第z1期101-104,共4页; 基金国家自然科学基金资助项目(10472111,10627201); 文摘针对已提出的光学读出非制冷红外成像系统,设计研制了一种单元尺寸分别是50 μm×50μm和60 μm×60 μm的新型双材料微悬臂梁红外焦平面阵列(FPA),进行了人体红外热成像实验,并对光学读出非制冷红外成像系统的温度-灰度响应曲线及噪声进行了测定.实验结果表明该微梁结构FPA构成的红外成像系统的噪声等效温度差(NETD)约100 mK.和课题组之前的研究结果(微梁单元尺寸120μm×120μm,NETD约300 mK)相比,红外图像的温度分辨率和空间分辨率都得到了明显改善.; 关键词非制冷红外成像双材料微悬臂梁光学读出焦平面阵列; 分类号 TB331 [一般工业技术—材料科学与工程] TN216 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	双材料微梁阵列非制冷红外成像系统——微梁阵列的设计与制作	董凤良张青川伍小平潘亮郭哲颖陈大鹏王玮冰段志辉	《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心	2005	8	在线阅读下载PDF 职称材料
2	基于微悬臂梁的微量液体浓度定量检测	章泽铵金涛	《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2021	2	在线阅读下载PDF 职称材料
3	用于小面积热源测量的高灵敏悬臂梁温度传感器	邢志明金涛郑璐璐	《光电工程》 CAS CSCD 北大核心	2020	0	在线阅读下载PDF 职称材料
4	光学读出红外成像中反光板变形对光学检测灵敏度的影响	高杰张青川陈大鹏焦斌斌史海涛钱剑程腾伍小平	《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心	2009	0	在线阅读下载PDF 职称材料
5	光学读出红外成像及其FPA性能分析	高杰焦斌斌陈大鹏董凤良张青川缪正宇熊志铭伍小平	《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心	2007	0	在线阅读下载PDF 职称材料