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题名广义椭偏仪双补偿器任意比例旋转控制系统
被引量：1
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作者
谢大洋
刘政杰
薛鹏
张瑞
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机构
中北大学仪器与电子学院
中北大学前沿交叉科学研究院
山西省光电信息与仪器工程技术研究中心
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出处
《探测与控制学报》
CSCD
北大核心
2024年第2期125-130,共6页
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基金
国家自然基金项目(62105302)
山西省基础研究计划项目(20210302124269)。
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文摘
针对目前广义椭偏仪双旋转补偿器控制旋转比例单一的问题,提出一套基于STM32单片机与步进电机的广义椭偏仪双补偿器任意比例旋转控制系统。该系统采用STM32F1单片机进行编程控制两个步进电机旋转的基础速度、速度比、旋转光学周期数,并通过LabVIEW软件进行编程,获得与之配套的上位机控制系统,完成双补偿器的任意比例旋转控制。通过搭建的广义椭偏实验系统采集双补偿器不同转速比下对空气样本测量的图像,并将其中转速比为5∶3的数据采集结果与理论空气样本波形进行归一化处理。结果显示,实际空气穆勒矩阵与理论穆勒矩阵元素的最大误差为0.014,平均误差为0.004 3,验证了该系统具有较高的可靠性与测量精度。
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关键词
广义椭偏仪
双旋转补偿器
速度调控
控制系统
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Keywords
generalized ellipsometry
double rotation compensator
speed control
control system
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分类号
TN209
[电子电信—物理电子学]
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题名单电机驱动椭偏双补偿器旋转结构及系统控制
被引量：6
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作者
林聪
张瑞
薛鹏
尚琰
刘政杰
徐跃
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机构
中北大学
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出处
《激光杂志》
CAS
北大核心
2021年第12期39-43,共5页
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基金
山西省面上自然基金项目(No.201901D111158)
山西省面上青年基金项目(No.201801D221211)
山西省创新项目(No.2019L0530)。
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文摘
针对目前双伺服电机控制补偿器旋转的椭偏测量技术中电机同步旋转控制复杂,且探测器同步信号触发采集困难、长时间运行稳定性差等缺点。提出一种基于单电机驱动的双相位补偿器旋转结构以及控制方法。该结构中与伺服电机连接的同步齿轮的直径比为5∶3,不同的齿轮直径是为实现对双旋转补偿器的差速控制,结合双旋转补偿器椭偏测量理论,实现样品的多维度信息获取;且基于控制理论设计伺服电机驱动电路和信号触发采集电路,完成相关硬件方面设计。最终实现系统在长时间运行过程中补偿器转速稳定可控,一次测量可得穆勒矩阵16个参数,为椭偏测量样品各维度信息提供理论依据及技术支撑。
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关键词
椭偏仪
穆勒矩阵
单电机驱动
双旋转补偿器
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Keywords
ellipsometer
muller matrix
single motor drive
double rotation compensator
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分类号
TN209
[电子电信—物理电子学]
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