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双成像单元原子力显微镜及其在大范围纳米计量中的应用
1
作者
林晓峰
章海军
张冬仙
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第10期991-993,997,共4页
为了实现大范围纳米计量,研制了双成像单元原子力显微镜,采用光栅作参考样品,同时对光栅和被测样品扫描成像,得到两幅具有相同横向尺度的图像,通过计算参考光栅的周期数,就能精确测定被测样品图像的尺寸。提出了一种实现大范围扫描和纳...
为了实现大范围纳米计量,研制了双成像单元原子力显微镜,采用光栅作参考样品,同时对光栅和被测样品扫描成像,得到两幅具有相同横向尺度的图像,通过计算参考光栅的周期数,就能精确测定被测样品图像的尺寸。提出了一种实现大范围扫描和纳米计量的新方法,利用步进电机交替移动XY扫描器,扫描获得一系列的光栅样品图像和被测样品图像对,通过拼接对应的序列图像,可获得两幅大范围的光栅图像和被测样品图像,计数参考图像中光栅的周期数,即可测定被测图像的尺度,实现对被测图像的大范围纳米计量。
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关键词
双成像单元
原子力显微镜
序列图像
拼接
大范围纳米计量
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职称材料
双成象单元扫描隧道显微镜与原子尺纳米计量技术
被引量:
3
2
作者
章海军
吴兰
黄峰
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
1998年第10期886-889,共4页
研制了双成象单元扫描隧道显微镜(STM),可同时对参考样品的原子晶格和被测样品扫描成象.计数原子晶格的数目,即可精确测定被测样品图象的尺度,以原子尺方式实现严格的纳米计量.本文介绍双成象单元的STM的原理和仪器系统,...
研制了双成象单元扫描隧道显微镜(STM),可同时对参考样品的原子晶格和被测样品扫描成象.计数原子晶格的数目,即可精确测定被测样品图象的尺度,以原子尺方式实现严格的纳米计量.本文介绍双成象单元的STM的原理和仪器系统,讨论原子尺纳米计量的可行性,给出被测样品图象的纳米计量结果.
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关键词
双成像单元
STM
原子尺
纳米计量
尺度标准
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职称材料
题名
双成像单元原子力显微镜及其在大范围纳米计量中的应用
1
作者
林晓峰
章海军
张冬仙
机构
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第10期991-993,997,共4页
文摘
为了实现大范围纳米计量,研制了双成像单元原子力显微镜,采用光栅作参考样品,同时对光栅和被测样品扫描成像,得到两幅具有相同横向尺度的图像,通过计算参考光栅的周期数,就能精确测定被测样品图像的尺寸。提出了一种实现大范围扫描和纳米计量的新方法,利用步进电机交替移动XY扫描器,扫描获得一系列的光栅样品图像和被测样品图像对,通过拼接对应的序列图像,可获得两幅大范围的光栅图像和被测样品图像,计数参考图像中光栅的周期数,即可测定被测图像的尺度,实现对被测图像的大范围纳米计量。
关键词
双成像单元
原子力显微镜
序列图像
拼接
大范围纳米计量
Keywords
Dual imaging unit
AFM
Serial images
Splice
Wide-range nano-metrology
分类号
TH741 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
双成象单元扫描隧道显微镜与原子尺纳米计量技术
被引量:
3
2
作者
章海军
吴兰
黄峰
机构
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
1998年第10期886-889,共4页
文摘
研制了双成象单元扫描隧道显微镜(STM),可同时对参考样品的原子晶格和被测样品扫描成象.计数原子晶格的数目,即可精确测定被测样品图象的尺度,以原子尺方式实现严格的纳米计量.本文介绍双成象单元的STM的原理和仪器系统,讨论原子尺纳米计量的可行性,给出被测样品图象的纳米计量结果.
关键词
双成像单元
STM
原子尺
纳米计量
尺度标准
Keywords
Dual imaging unit
STM
Atomic reference scale
Nano metrology
分类号
TB92 [机械工程—测试计量技术及仪器]
O48 [理学—固体物理]
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职称材料
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作者
出处
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1
双成像单元原子力显微镜及其在大范围纳米计量中的应用
林晓峰
章海军
张冬仙
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
0
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职称材料
2
双成象单元扫描隧道显微镜与原子尺纳米计量技术
章海军
吴兰
黄峰
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
1998
3
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职称材料
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引证文献
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