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新型双弯曲磁过滤阴极真空电弧沉积系统的磁场模拟计算被引量：4: 1; 作者李洪波孙丽丽 +3 位作者吴国松代伟周毅汪爱英《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第6期614-620,共7页; 本文用ANSYS软件对新型的45°双弯曲磁过滤阴极真空电弧沉积系统中的磁场分布进行了模拟计算,并结合等离子体传输和电弧源弧斑运行稳定性进行了分析。在建立的数学模型基础上,分别研究了磁过滤弯管磁场空间分布对拟定的不同出射方... 展开更多; 关键词双弯曲磁过滤阴极电弧磁场分布有限元法 ta-C薄膜; 在线阅读下载PDF 职称材料

磁过滤真空阴极电弧技术弧电流对四面体非晶碳薄膜性能的影响被引量：2: 2; 作者于振华姜康《真空科学与技术学报》 CSCD 北大核心 2017年第12期1206-1211,共6页; 研究了磁过滤阴极真空电弧技术中不同弧电流(20~100 A),制备的四面体非晶碳薄膜性能的影响。通过对薄膜厚度、薄膜硬度、表面形貌以及sp3键含量随弧电流的变化结果进行了测试。结果表明,当弧电流从20增大至100 A,表征薄膜sp杂化碳含量的... 展开更多; 关键词弧电流 Ta-C薄膜磁过滤真空阴极电弧技术表面质量; 在线阅读下载PDF 职称材料

双弯管磁过滤阴极真空弧技术沉积超厚多层钛掺杂类金刚石膜被引量：4: 3; 作者姜其立王浩琦 +3 位作者周晗庞盼刘建武廖斌《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第3期53-60,共8页; 极端工况对关键部件涂层的性能要求较高,作为常用涂层,薄类金刚石(Diamond-like carbon,DLC)膜因其厚度的局限性已不能满足日益增长的性能需求,因此超厚DLC膜的制备工艺具有较大的现实意义。采用双弯管磁过滤阴极真空弧沉积技术制备多... 展开更多; 关键词超厚DLC膜 Ti掺杂双弯管磁过滤阴极真空弧沉积 C2H2; 在线阅读下载PDF 职称材料

磁旋转电弧中热阴极弧根形态的实验研究被引量：9: 4; 作者王城查俊 +2 位作者李皖皖夏维珞夏维东《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第10期3025-3031,共7页; 阴极弧根形态对电弧状态和电极损耗有着重要影响。在同轴电极磁旋转电弧等离子体发生器中,利用高速CCD观察了阴极弧根斑点形态随外加轴向磁场的演化过程,采用双波长法从CCD影像得到阴极端面温度分布;利用水冷电探针对近阴极区等离子体... 展开更多; 关键词磁旋转电弧阴极弧根阴极弧根斑点阴极温度阴极区位降双波长法; 在线阅读下载PDF 职称材料

直流磁过滤电弧源沉积氧化铝薄膜的研究被引量：1: 5; 作者弥谦王昆刘哲《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第1期78-80,100,共4页; 采用直流磁过滤电弧源技术,在K9玻璃基底上制备氧化铝薄膜,研究了沉积时的氧气分量和阴极靶电流对薄膜折射率、沉积速率、消光系数和表面粗糙度的影响。结果表明:薄膜折射率、沉积速率和消光系数均随着氧气分量的增加而降低,随着阴极靶... 展开更多; 关键词电弧源磁过滤氧化铝薄膜氧气分量阴极靶电流; 在线阅读下载PDF 职称材料

新型多弧磁过滤系统对TiAlN薄膜的组分调控被引量：4: 6; 作者黄杰史学伟 +1 位作者廖斌吴先映《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第2期27-33,共7页; 针对磁过滤阴极真空电弧沉积技术制备多元复合薄膜的不足,设计研制一种新型的多弧磁过滤系统。该多弧磁过滤系统由两个支线管和一个干线管组成"Y"型的三通管结构。通过有限元分析和试验测量确定该新型多弧磁过滤器的最佳运行... 展开更多; 关键词多元复合膜磁过滤阴极真空电弧组分调控; 在线阅读下载PDF 职称材料

非晶四面体碳膜对2Cr3WMoV合金钢表面耐磨性能的影响被引量：1: 7; 作者李远洁赵玉清 +1 位作者王炎武董乃强《润滑与密封》北大核心 2025年第4期1-8,共8页; 为提高2Cr3WMoV合金钢的表面摩擦性能,利用磁控溅射沉积技术与过滤阴极真空电弧技术分别在未经过渗碳和渗碳热处理后的2Cr3WMoV合金结构钢试样表面制备TiN过渡层及非晶四面体碳的多层结构复合膜。采用球-盘摩擦磨损试验仪、三维形貌仪... 展开更多; 关键词非晶四面体碳膜合金结构钢表面渗碳处理摩擦磨损性能磁过滤阴极真空电弧; 在线阅读下载PDF 职称材料

占空比对硬质合金微钻沉积AlCrSiN-DLC涂层性能与PCB钻孔质量的影响: 8; 作者林源琳陈俊荣 +3 位作者耿子航孙世龙魏莎莎林荣川《热加工工艺》 2025年第22期45-51,共7页; 在现代电子制造领域,印制电路板(PCB)的生产扮演着关键角色,其中微钻孔技术是电子产品精密制造的基石,在硬质合金微钻上沉积高性能的类金刚石(DLC)复合涂层可以改善微孔钻削质量。采用磁过滤阴极电弧沉积方法,探讨了占空比变化对沉积在... 展开更多; 关键词占空比 PCB 磁过滤阴极电弧类金刚石(DLC)复合涂层; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名新型双弯曲磁过滤阴极真空电弧沉积系统的磁场模拟计算被引量：4: 1; 作者李洪波孙丽丽吴国松代伟周毅汪爱英; 机构中国科学院宁波材料技术与工程研究所表面工程与再制造事业部; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第6期614-620,共7页; 基金中国科学院重大装备研制项目(YZ200833) 浙江省自然科学基金项目(Y4100312); 文摘本文用ANSYS软件对新型的45°双弯曲磁过滤阴极真空电弧沉积系统中的磁场分布进行了模拟计算,并结合等离子体传输和电弧源弧斑运行稳定性进行了分析。在建立的数学模型基础上,分别研究了磁过滤弯管磁场空间分布对拟定的不同出射方向上的111个碳离子束的传输行为影响,和外加永久磁体对电弧源附近磁场空间分布的影响。结果表明,在优化的磁过滤弯管磁场空间分布情况下,111个碳离子束流可全部通过磁过滤弯管,并高效传输到基材表面。当电弧靶源后部的外加永久磁体磁化方向与弯管上的磁化方向相反,且磁矫顽力大于600 kA/m时,阴极靶弧源附近的磁力线空间分布更利于控制阴极弧斑长时间运行稳定性,这对延长弧斑寿命、提高等离子体的沉积效率、提高靶材表面刻蚀均匀性和获得高性能的ta-C薄膜生长具有重要理论意义。; 关键词双弯曲磁过滤阴极电弧磁场分布有限元法 ta-C薄膜; Keywords Double bent FCVA Magnetic field distribution Finite element method ta-C film; 分类号 TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名磁过滤真空阴极电弧技术弧电流对四面体非晶碳薄膜性能的影响被引量：2: 2; 作者于振华姜康; 机构合肥工业大学机械工程学院合肥工业大学汽车与交通工程学院; 出处《真空科学与技术学报》 CSCD 北大核心 2017年第12期1206-1211,共6页; 文摘研究了磁过滤阴极真空电弧技术中不同弧电流(20~100 A),制备的四面体非晶碳薄膜性能的影响。通过对薄膜厚度、薄膜硬度、表面形貌以及sp3键含量随弧电流的变化结果进行了测试。结果表明,当弧电流从20增大至100 A,表征薄膜sp杂化碳含量的ID/IG从0.212增加到1.18,显示制备薄膜的sp3键含量逐渐减少,同时sp2键在逐渐增加。随着弧电流值上升,薄膜硬度增加,表明其值与弧电流值呈正相关性,高的弧电流使通过磁过滤器的大颗粒等离子体数增加,从而薄膜表面形貌易于沉积大颗粒,导致薄膜表面质量下降。因此,选择合适的弧电流值可优化Ta-C薄膜制备工艺,本文研究内容为工业应用中通过弧电流调整优化膜层综合性能提供参考。; 关键词弧电流 Ta-C薄膜磁过滤真空阴极电弧技术表面质量; Keywords Arc current, Ta-C film, FCVAD, Surface quality; 分类号 TB303 [一般工业技术—材料科学与工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名双弯管磁过滤阴极真空弧技术沉积超厚多层钛掺杂类金刚石膜被引量：4: 3; 作者姜其立王浩琦周晗庞盼刘建武廖斌; 机构北京师范大学核科学与技术学院北京市辐射中心; 出处《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第3期53-60,共8页; 基金北京市共同建设专项基金(110651102)~~; 文摘极端工况对关键部件涂层的性能要求较高,作为常用涂层,薄类金刚石(Diamond-like carbon,DLC)膜因其厚度的局限性已不能满足日益增长的性能需求,因此超厚DLC膜的制备工艺具有较大的现实意义。采用双弯管磁过滤阴极真空弧沉积技术制备多层Ti掺杂DLC膜,并通过显微维氏硬度计、摩擦磨损试验仪、场发射扫描电子显微镜(FESEM)、能谱仪(EDS)、透射电子显微镜(TEM)、X光电子能谱仪(XPS)、X射线衍射仪(XRD)、拉曼光谱仪(Raman)等对膜的结构和性能进行表征。结果表明:薄膜的沉积速率最高可达0.40μm/min;随着沉积过程中C2H2流量的增加,Ti掺杂DLC膜中超硬Ti C相的相对含量降低,因此导致膜硬度降低,同时热稳定性变差;通过金属掺杂以及多层复合结构的方法能够有效制备低内应力的DLC膜,同时实现超厚DLC膜(最高可达42.3μm)的制备。; 关键词超厚DLC膜 Ti掺杂双弯管磁过滤阴极真空弧沉积 C2H2; Keywords ultra-thick DLC films Ti-doped double bend-tube magnetic filtered cathodic vacuum arc deposition C2H2; 分类号 TG174.444 [金属学及工艺—金属表面处理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名磁旋转电弧中热阴极弧根形态的实验研究被引量：9: 4; 作者王城查俊李皖皖夏维珞夏维东; 机构中国科学技术大学合肥通用机械研究院中国科学院合肥物质科学研究院; 出处《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第10期3025-3031,共7页; 基金国家自然科学基金(11035005 50876101) 中科院创新仪器研制基金(Y201162)~~; 文摘阴极弧根形态对电弧状态和电极损耗有着重要影响。在同轴电极磁旋转电弧等离子体发生器中,利用高速CCD观察了阴极弧根斑点形态随外加轴向磁场的演化过程,采用双波长法从CCD影像得到阴极端面温度分布;利用水冷电探针对近阴极区等离子体参数进行诊断,得到了阴极附近电子温度及阴极区位降。实验结果表明:(1)在50 A电弧电流下,随着轴向磁场从0.01 T增加到0.02 T,阴极端面最高温度下降,阴极弧根斑点增大,阴极附近等离子体电子温度逐渐降低,阴极弧根为收缩模式;(2)在100 A电弧弧电流下,轴向磁场从0.01 T增加至0.015T,阴极状态变化趋势与前相同;(3)在100 A电弧弧电流下,当轴向磁场增大到0.02 T时,弧根斑点弥散均匀,阴极区位降明显升高,阴极弧根模式由收缩模式转变为扩散模式。分析认为,磁旋转电弧中弧根模式的转变是一个突变的过程。; 关键词磁旋转电弧阴极弧根阴极弧根斑点阴极温度阴极区位降双波长法; Keywords magnetically rotating arc plasma cathodic arc root cathode spot cathode temperature cathode fall two-wavelength pyrometry; 分类号 TM501.2 [电气工程—电器]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名直流磁过滤电弧源沉积氧化铝薄膜的研究被引量：1: 5; 作者弥谦王昆刘哲; 机构西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室; 出处《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第1期78-80,100,共4页; 文摘采用直流磁过滤电弧源技术,在K9玻璃基底上制备氧化铝薄膜,研究了沉积时的氧气分量和阴极靶电流对薄膜折射率、沉积速率、消光系数和表面粗糙度的影响。结果表明:薄膜折射率、沉积速率和消光系数均随着氧气分量的增加而降低,随着阴极靶电流的升高而增加;薄膜表面粗糙度则随氧气分量或阴极靶电流的增加,呈先减小、后增大的趋势。分析认为,主要是因为随着氧气分量和阴极靶电流的变化,基底表面铝原子和氧气的比例发生了改变,进而影响到薄膜的相关性能。; 关键词电弧源磁过滤氧化铝薄膜氧气分量阴极靶电流; Keywords arc source magnetic filter alumina oxide films oxygen component cathode target current; 分类号 TG174.444 [金属学及工艺—金属表面处理] O484.4 [理学—固体物理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名新型多弧磁过滤系统对TiAlN薄膜的组分调控被引量：4: 6; 作者黄杰史学伟廖斌吴先映; 机构北京师范大学核科学与技术学院北京市辐射中心; 出处《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第2期27-33,共7页; 文摘针对磁过滤阴极真空电弧沉积技术制备多元复合薄膜的不足,设计研制一种新型的多弧磁过滤系统。该多弧磁过滤系统由两个支线管和一个干线管组成"Y"型的三通管结构。通过有限元分析和试验测量确定该新型多弧磁过滤器的最佳运行参数为:支线管和干线管的长度分别为180和230 mm,内径为200 mm。支线管和干线管的磁场强度分别为40和90 mT。采用该新型多弧磁过滤系统制备TiAlN多元复合薄膜,结果表明:该新型多弧磁过滤系统可实现多元复合薄膜的组分调控,并且膜层的表面形貌光洁,膜层元素分布均匀。; 关键词多元复合膜磁过滤阴极真空电弧组分调控; Keywords multi-component composite films magnetic filter cathode vacuum arc component regulation; 分类号 TG174.444 [金属学及工艺—金属表面处理]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名非晶四面体碳膜对2Cr3WMoV合金钢表面耐磨性能的影响被引量：1: 7; 作者李远洁赵玉清王炎武董乃强; 机构西安交通大学电子科学与工程学院陕西埃恩束能碳基技术有限公司中国航发西安动力控制科技有限公司; 出处《润滑与密封》北大核心 2025年第4期1-8,共8页; 基金中国航发校企合作项目(JZ-202206010)。; 文摘为提高2Cr3WMoV合金钢的表面摩擦性能,利用磁控溅射沉积技术与过滤阴极真空电弧技术分别在未经过渗碳和渗碳热处理后的2Cr3WMoV合金结构钢试样表面制备TiN过渡层及非晶四面体碳的多层结构复合膜。采用球-盘摩擦磨损试验仪、三维形貌仪、表面磨痕测量仪等对比分析不同合金结构钢试样镀膜前后的摩擦磨损性能。结果表明:渗碳热处理工艺对2Cr3WMoV合金钢制备非晶四面体碳基多层复合膜后试样的摩擦磨损性能影响较大,在渗碳2Cr3WMoV试样表面制备多层复合膜结构后,表面摩擦因数由0.54降低到0.077,磨损率由3.03×10^(-9)cm^(3)/(N·m)降低到9.44×10^(-10)cm^(3)/(N·m)。由于表面渗碳及抛光工艺提升了合金试样的表面硬度,并降低表面粗糙度,从而使该试样制备非晶四面体碳基复合膜后具有最为优异的摩擦磨损性能及膜层与基体的结合强度。; 关键词非晶四面体碳膜合金结构钢表面渗碳处理摩擦磨损性能磁过滤阴极真空电弧; Keywords tetrahedral amorphous carbon films structural alloy steel surface carburization treatment fiction and wear properties filtered cathodic vacuum arc; 分类号 TH117.1 [机械工程—机械设计及理论] TB43 [一般工业技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名占空比对硬质合金微钻沉积AlCrSiN-DLC涂层性能与PCB钻孔质量的影响: 8; 作者林源琳陈俊荣耿子航孙世龙魏莎莎林荣川; 机构集美大学海洋装备与机械工程学院; 出处《热加工工艺》 2025年第22期45-51,共7页; 基金福建省高校产学研合作项目(2021H6031) 福建省高校产学研合作项目(2022H6030) 福建省科技计划引导性项目(2023H0014)。; 文摘在现代电子制造领域,印制电路板(PCB)的生产扮演着关键角色,其中微钻孔技术是电子产品精密制造的基石,在硬质合金微钻上沉积高性能的类金刚石(DLC)复合涂层可以改善微孔钻削质量。采用磁过滤阴极电弧沉积方法,探讨了占空比变化对沉积在硬质合金试片上的AlCrSiN-DLC复合涂层形貌结构、涂层厚度和结合力的影响,并研究了占空比对涂层微钻PCB钻孔质量的影响。结果表明,制备的AlCrSiN-DLC复合涂层与基体结合强度优异,随着占空比的增加,涂层厚度和表面粗糙度减少,微钻刀面磨损先减少后增大,孔位精度、孔壁粗糙度与刀面磨损呈正相关;微钻存在“自锐”的过程,并解决了钻削PCB时微钻缠丝的问题。其中,占空比为50%时,制备的涂层微钻在钻孔时刀面磨损和孔壁粗糙度最佳,综合性能最优。优化占空比能有效提高AlCrSiN-DLC涂层的性能,从而提高硬质合金微钻的钻孔质量和寿命。; 关键词占空比 PCB 磁过滤阴极电弧类金刚石(DLC)复合涂层; Keywords duty cycle PCB magnetic filtered cathodic arc diamond-like carbon(DLC)composite coatings; 分类号 TG174.4 [金属学及工艺]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	新型双弯曲磁过滤阴极真空电弧沉积系统的磁场模拟计算	李洪波孙丽丽吴国松代伟周毅汪爱英	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2010	4	在线阅读下载PDF 职称材料
2	磁过滤真空阴极电弧技术弧电流对四面体非晶碳薄膜性能的影响	于振华姜康	《真空科学与技术学报》 CSCD 北大核心	2017	2	在线阅读下载PDF 职称材料
3	双弯管磁过滤阴极真空弧技术沉积超厚多层钛掺杂类金刚石膜	姜其立王浩琦周晗庞盼刘建武廖斌	《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2018	4	在线阅读下载PDF 职称材料
4	磁旋转电弧中热阴极弧根形态的实验研究	王城查俊李皖皖夏维珞夏维东	《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心	2014	9	在线阅读下载PDF 职称材料
5	直流磁过滤电弧源沉积氧化铝薄膜的研究	弥谦王昆刘哲	《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心	2013	1	在线阅读下载PDF 职称材料
6	新型多弧磁过滤系统对TiAlN薄膜的组分调控	黄杰史学伟廖斌吴先映	《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2019	4	在线阅读下载PDF 职称材料
7	非晶四面体碳膜对2Cr3WMoV合金钢表面耐磨性能的影响	李远洁赵玉清王炎武董乃强	《润滑与密封》北大核心	2025	1	在线阅读下载PDF 职称材料
8	占空比对硬质合金微钻沉积AlCrSiN-DLC涂层性能与PCB钻孔质量的影响	林源琳陈俊荣耿子航孙世龙魏莎莎林荣川	《热加工工艺》	2025		在线阅读下载PDF 职称材料