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题名双岛结构多晶硅压力传感器削角补偿技术的研究
被引量：1
- 1
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作者
曲宏伟
张为
姚素英
毛赣如
张维新
喻白莹
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机构
天津大学电子信息工程学院
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出处
《天津大学学报》
EI
CAS
CSCD
2000年第2期244-246,共3页
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基金
国家自然基金资助项目!(696760 36)
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文摘
详细讨论了双岛结构多晶硅压力传感器制作过程中的一种微机械加工技术 .传感器采用的材料是双面抛光的 (1 0 0 )晶面硅片 ,制作中还利用了半导体集成电路平面工艺 .研制这种传感器遇到的主要问题是硅各向异性腐蚀的凸角削角问题 .为削角补偿设计了两种特殊形状的掩膜结构 ,在实验中获得了满意的效果 。
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关键词
削角补偿
双岛结构
多晶硅
压力传感器
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Keywords
corner undercutting compensation
twin isle structure
polysilicon pressure sensor
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分类号
TH823.2
[机械工程—精密仪器及机械]
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名多晶硅双岛压力传感器应力分布的模拟计算
被引量：1
- 2
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作者
姚素英
曲宏伟
张维新
毛赣如
李永生
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机构
天津大学电子与信息工程学院
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出处
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1999年第11期68-70,共3页
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基金
国家自然科学基金资助项目!(No .6 96 76 0 3 6 )
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文摘
本文用有限单元法对双岛型多晶硅压力传感器的应力分布进行了计算机模拟.根据模拟计算的应力分布规律,优化多晶硅应变电阻的设计,弥补了多晶硅压阻系数低于单晶硅的缺点,研制出了双岛结构多晶硅压力传感器.传感器具有高灵敏度和高的工作温度.
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关键词
双岛结构
有限元方法
多晶硅
灵敏度
压力传感器
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Keywords
twin isles structure
finite element method
polysilicon
sensitivity
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分类号
TP212.02
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名微压阻式传感器有限元模拟及线性度优化设计
被引量：1
- 3
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作者
李文明
陈春俊
周丽名
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机构
西南交通大学机械工程学院
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出处
《机械设计与制造》
北大核心
2018年第1期152-155,共4页
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基金
国家自然科学基金资助项目(51475387)
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文摘
薄膜结构微压阻式传感器在提高灵敏度过程中容易引入非线性误差,导致传感器输出性能变差。通过分析微压阻式传感器核心敏感元件结构,利用Ansys软件建立硅杯薄膜有限元分析模型,并通过弹性力学方法对有限元模拟的精确度进行验证。针对薄膜结构传感器非线性误差随灵敏度提升而急剧增加的问题,为了提高传感器的线性性能,通过在敏感薄膜下方集成双岛结构,并分析优化岛长和岛宽等结构参数,得到了一种输出线性度优良的双岛结构传感器模型。模型输出结果表明:双岛结构挠度线性度为0.8%,相比薄膜结构8.6%有了较大的改善,电压输出线性度为0.9%,能满足使用要求,且实现了高灵敏度下线性输出优良的传感器模型设计。
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关键词
微压阻式传感器
有限元
线性度
敏感薄膜
双岛结构
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Keywords
Micro Piezoresistive Sensor
Finite Element
Linear Degree
Sensitive Films
Dual Island Structure
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分类号
TH16
[机械工程—机械制造及自动化]
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名新型多晶硅压力传感器
被引量：6
- 4
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作者
毛赣如
姚素英
曲宏伟
李永生
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出处
《天津大学学报》
EI
CAS
CSCD
1997年第6期767-770,共4页
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文摘
论述了一种新型多晶硅压力传感器．它采用矩形双岛硅膜结构，多晶硅作应变电阻，二氧化硅介质膜作隔离，用集成电路工艺和微机械加工技术制作．因而，传感器具有灵敏度高和工作温度高等特点．利用有限元法对双岛结构的应力分布进行了模拟计算，实验结果与理论分析一致．
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关键词
压力传感器
双岛结构
多晶硅
灵敏度
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Keywords
pressure sensor, twin isles structure, polysilicon, sensitivity
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分类号
TH823.2
[机械工程—精密仪器及机械]
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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