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基于Ecoflex的柔性电容式压力传感器的制备及特性研究
1
作者
宋阳阳
郑浩然
+3 位作者
张胜宾
王帅龙
杨盼
于仕辉
《传感器与微系统》
北大核心
2025年第8期67-70,共4页
柔性压力传感器因其可穿戴、可拉伸、便携等特点,被广泛用于电子皮肤、运动监测、人机交互等领域。为提高柔性压力传感器的灵敏度,常采用光刻技术、化学刻蚀等制工艺,制备流程复杂,成本较高。结合简单便捷且低成本的紫外臭氧(UVO)紫外...
柔性压力传感器因其可穿戴、可拉伸、便携等特点,被广泛用于电子皮肤、运动监测、人机交互等领域。为提高柔性压力传感器的灵敏度,常采用光刻技术、化学刻蚀等制工艺,制备流程复杂,成本较高。结合简单便捷且低成本的紫外臭氧(UVO)紫外辐射技术和模板法,制备了Ecoflex双层褶皱微结构柔性电容式传感器,系统研究介质层微结构对传感器性能的影响。实验结果表明,具有交叉褶皱结构的传感器具有更高的灵敏度(2.34kPa^(-1)),更快的响应速度(50ms),较高的重复稳定性(1500次),并成功检测到手指弯曲、肘关节弯曲、脉搏跳动等情况,表明了该传感器在可穿戴电子设备、健康监测、运动监测等领域具有良好的应用前景。
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关键词
柔性电容式压力传感器
ECOFLEX
双层折叠结构
交叉堆叠
可穿戴电子
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职称材料
题名
基于Ecoflex的柔性电容式压力传感器的制备及特性研究
1
作者
宋阳阳
郑浩然
张胜宾
王帅龙
杨盼
于仕辉
机构
洛阳理工学院电气工程与自动化学院
广东交通职业技术学院汽车与工程机械学院
东莞理工学院国际微电子学院
出处
《传感器与微系统》
北大核心
2025年第8期67-70,共4页
基金
广东省基础与应用基础研究基金资助项目(2019A1515110880)
广东省普通高校2021年重点领域专项项目(2021ZDZX1128)
国家自然基金面上项目(52175525)。
文摘
柔性压力传感器因其可穿戴、可拉伸、便携等特点,被广泛用于电子皮肤、运动监测、人机交互等领域。为提高柔性压力传感器的灵敏度,常采用光刻技术、化学刻蚀等制工艺,制备流程复杂,成本较高。结合简单便捷且低成本的紫外臭氧(UVO)紫外辐射技术和模板法,制备了Ecoflex双层褶皱微结构柔性电容式传感器,系统研究介质层微结构对传感器性能的影响。实验结果表明,具有交叉褶皱结构的传感器具有更高的灵敏度(2.34kPa^(-1)),更快的响应速度(50ms),较高的重复稳定性(1500次),并成功检测到手指弯曲、肘关节弯曲、脉搏跳动等情况,表明了该传感器在可穿戴电子设备、健康监测、运动监测等领域具有良好的应用前景。
关键词
柔性电容式压力传感器
ECOFLEX
双层折叠结构
交叉堆叠
可穿戴电子
Keywords
flexible capacitive pressure sensor
Ecoflex
double layer folded structure
cross-stacked
wearable electronics
分类号
TP212.9 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
S951.4 [农业科学—水产养殖]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
基于Ecoflex的柔性电容式压力传感器的制备及特性研究
宋阳阳
郑浩然
张胜宾
王帅龙
杨盼
于仕辉
《传感器与微系统》
北大核心
2025
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