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全溶液法制备PAA/SU-8双层电介质OFET及其性能
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作者 江紫玲 朱睿 张婕 《半导体技术》 北大核心 2025年第5期449-458,共10页
有机场效应晶体管(OFET)因其低成本和优异的可兼容特性,是柔性电子领域的重要器件。通过构建聚丙烯酸(PAA)/SU-8双层介电结构,结合全溶液法制备了基于6,13-双(三异丙基硅烷基乙炔基)(TIPS)-并五苯半导体层的OFET。通过原子力显微镜(AFM... 有机场效应晶体管(OFET)因其低成本和优异的可兼容特性,是柔性电子领域的重要器件。通过构建聚丙烯酸(PAA)/SU-8双层介电结构,结合全溶液法制备了基于6,13-双(三异丙基硅烷基乙炔基)(TIPS)-并五苯半导体层的OFET。通过原子力显微镜(AFM)和接触角测量仪分析表面特性,PAA/SU-8双层薄膜的均方根(RMS)粗糙度(0.284 nm)较PAA单层薄膜(2.77 nm)显著降低,表面接触角(83°)接近SU-8单层薄膜(85°)且明显高于PAA单层薄膜(60°)。采用傅里叶变换红外(FTIR)光谱和LCR测试仪分析不同介电层的界面极性和介电性能,揭示了双介电层通过高电容与低极性界面的协同作用,有效改善了器件的电荷传输效率与稳定性。对PAA/SU-8双层结构OFET的性能进行测试,结果表明,PAA/SU-8双层器件表现出低阈值电压(1.0 V)、高电流开关比(>10^(4))、高迁移率(0.244 cm^(2)·V^(-1)·s^(-1))和良好的亚阈值摆幅(2.5 V/dec),显著优于SU-8单层器件。 展开更多
关键词 有机场效应晶体管(OFET) 双层介电结构 聚丙烯酸(PAA)聚电解质 SU-8光刻胶 溶液法 6 13-双(三异丙基硅烷基乙炔基)(TIPS)-并五苯
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