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引线键合机中复杂超声能量传递特性研究 被引量:4
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作者 陈新 李军辉 谭建平 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2005年第3期32-35,31,共5页
目前,引线键合主要是采用热超声键合技术。超声振动传播和能量传递是超声键合设备中一个非常关键和复杂的问题。本文利用波在弹性体中传播机理,给出超声聚能杆和劈刀的振动传递的特性,利用多普勒振动计PSV-300-F(1.5MHz)测量了振动位移... 目前,引线键合主要是采用热超声键合技术。超声振动传播和能量传递是超声键合设备中一个非常关键和复杂的问题。本文利用波在弹性体中传播机理,给出超声聚能杆和劈刀的振动传递的特性,利用多普勒振动计PSV-300-F(1.5MHz)测量了振动位移和速度,证实理论结论,并对双向垂直传输超声能焊具的性能进行了研究,阐明了垂直双向加载是一种高效的传能模型。 展开更多
关键词 引线键合 超声焊接 超声能量 双向垂直超声能量
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