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剪切力模式近场扫描光学显微镜的恒幅反馈控制方法研究
被引量：
1
1
作者
范晓明
王克逸
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第8期1585-1588,共4页
剪切力模式近场扫描光学显微镜(Near-field Scanning Optical Microscopy,NSOM)的音叉探针间距控制系统中,用相位反馈控制和检测剪切力,同时采用比例+积分(PI)技术实现对音叉探针振幅的反馈控制,使探针振幅在扫描过程中保持为恒定值.用...
剪切力模式近场扫描光学显微镜(Near-field Scanning Optical Microscopy,NSOM)的音叉探针间距控制系统中,用相位反馈控制和检测剪切力,同时采用比例+积分(PI)技术实现对音叉探针振幅的反馈控制,使探针振幅在扫描过程中保持为恒定值.用相位信号作为探针与样品间距控制信号,分别在无振幅反馈和有振幅反馈两种情况下,以不同速率扫描得到标准CD_RW光盘光栅的两组图像,并进行了比较分析.实验表明,恒振幅反馈电路的引入有助于提高探针系统的响应速度和灵敏度,改善所得图像的质量及分辨率.
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关键词
近场扫描光学显微镜
剪切力模式
恒振幅
反馈
PI
控制
器
双反馈控制系统
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职称材料
题名
剪切力模式近场扫描光学显微镜的恒幅反馈控制方法研究
被引量：
1
1
作者
范晓明
王克逸
机构
中国科学技术大学精密机械与精密仪器系
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第8期1585-1588,共4页
基金
国家自然科学基金(60377004)资助
文摘
剪切力模式近场扫描光学显微镜(Near-field Scanning Optical Microscopy,NSOM)的音叉探针间距控制系统中,用相位反馈控制和检测剪切力,同时采用比例+积分(PI)技术实现对音叉探针振幅的反馈控制,使探针振幅在扫描过程中保持为恒定值.用相位信号作为探针与样品间距控制信号,分别在无振幅反馈和有振幅反馈两种情况下,以不同速率扫描得到标准CD_RW光盘光栅的两组图像,并进行了比较分析.实验表明,恒振幅反馈电路的引入有助于提高探针系统的响应速度和灵敏度,改善所得图像的质量及分辨率.
关键词
近场扫描光学显微镜
剪切力模式
恒振幅
反馈
PI
控制
器
双反馈控制系统
Keywords
NSOM
Shear-force mode
Constant amplitude feedback
PI controler
PI-feedback control system
分类号
TH741.7 [机械工程—光学工程]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
剪切力模式近场扫描光学显微镜的恒幅反馈控制方法研究
范晓明
王克逸
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
1
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