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双压电结构乐甫波激发效率和液体传感的仿真
1
作者
韩超
陈智军
+2 位作者
徐海林
陈涛
付俊
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第9期1345-1350,共6页
乐甫波器件适于液体检测,但在工程上经常因为激发效率较低而影响应用。与"压电基底-非压电薄膜"的单压电结构乐甫波器件相比,双压电结构的特点是薄膜也选用压电材料,以期增大器件整体的压电效应。在建立理论模型的基础上,通...
乐甫波器件适于液体检测,但在工程上经常因为激发效率较低而影响应用。与"压电基底-非压电薄膜"的单压电结构乐甫波器件相比,双压电结构的特点是薄膜也选用压电材料,以期增大器件整体的压电效应。在建立理论模型的基础上,通过空气中和液体检测时双压电结构乐甫波与声表面波、单压电结构乐甫波的机电耦合系数仿真并对比,表明对于某些压电基底和薄膜,双压电结构具有更高的乐甫波激发效率。并且,以液体介电常数检测为例,仿真结果还表明了双压电结构乐甫波比单压电结构具有更高的灵敏度。
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关键词
乐甫波
双压电结构
MATLAB
机电耦合系数
介电常数
灵敏度
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职称材料
题名
双压电结构乐甫波激发效率和液体传感的仿真
1
作者
韩超
陈智军
徐海林
陈涛
付俊
机构
南京航空航天大学自动化学院
中国电子科技集团第五十五研究所
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第9期1345-1350,共6页
基金
国家自然科学基金项目(51475240)
航空科学基金项目(2014ZD52053)
文摘
乐甫波器件适于液体检测,但在工程上经常因为激发效率较低而影响应用。与"压电基底-非压电薄膜"的单压电结构乐甫波器件相比,双压电结构的特点是薄膜也选用压电材料,以期增大器件整体的压电效应。在建立理论模型的基础上,通过空气中和液体检测时双压电结构乐甫波与声表面波、单压电结构乐甫波的机电耦合系数仿真并对比,表明对于某些压电基底和薄膜,双压电结构具有更高的乐甫波激发效率。并且,以液体介电常数检测为例,仿真结果还表明了双压电结构乐甫波比单压电结构具有更高的灵敏度。
关键词
乐甫波
双压电结构
MATLAB
机电耦合系数
介电常数
灵敏度
Keywords
double piezoelectric structure
Love wave
electromechanical coupling coefficient
dielectric constant
sensitivity
分类号
TB95 [机械工程—测试计量技术及仪器]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
双压电结构乐甫波激发效率和液体传感的仿真
韩超
陈智军
徐海林
陈涛
付俊
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2016
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