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90nm T型栅工艺在高频GaAs PHEMT MMIC中的应用
被引量：
2
1
作者
孙希国
刘如青
+2 位作者
刘永强
崔玉兴
付兴昌
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第8期611-615,共5页
采用PMMA/P（MMA-MAA）/PMMA三层胶结构,通过优化电子束直写电压、束流和显影等工艺参数,得到了理想的光刻胶形貌。利用干法刻蚀和湿法腐蚀相结合的方法实现了双凹槽栅结构。通过优化蒸发功率、蒸发时间及各层金属厚度,解决了栅掉帽的...
采用PMMA/P（MMA-MAA）/PMMA三层胶结构,通过优化电子束直写电压、束流和显影等工艺参数,得到了理想的光刻胶形貌。利用干法刻蚀和湿法腐蚀相结合的方法实现了双凹槽栅结构。通过优化蒸发功率、蒸发时间及各层金属厚度,解决了栅掉帽的问题。开发了90 nm自对准双凹槽T型栅电子束三层胶光刻工艺技术。应用90 nmT型栅工艺制作了W波段GaAs PHEMT功率放大器及V波段Ga As PHEMT低噪声放大器。测试结果表明,在频率为90~96 GHz、源漏电压5 V、栅源电压-0.3 V、输入功率13 dBm时,功率放大器电路输出功率为20.8 dBm,功率增益为7.8 dB;在频率为57~64 GHz、源漏电压2.5 V、漏极电流55 m A时,低噪声放大器增益大于24 dB,带内噪声系数小于3.5 dB,验证了该工艺技术的可行性和可应用性。
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关键词
90
nm
T型栅
电子束直写
双凹槽结构
三层胶
结构
GAAS
PHEMT
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职称材料
一种研究煤油超燃的新方案
被引量：
1
2
作者
司徒明
王春
+2 位作者
陆惠萍
李建国
俞刚
《流体力学实验与测量》
CSCD
北大核心
2001年第3期7-12,共6页
为了强化煤油超燃性能 ,提出了一种采用双凹槽和预燃室结构 ,利用从预燃室喷出的高温燃气去引燃从凹槽内喷出的煤油 ,实现煤油超燃过程的具有广泛应用前景的超燃新方案。试验是在空气流量 1 .2kg/s左右的地面连管试验台上进行的。试验...
为了强化煤油超燃性能 ,提出了一种采用双凹槽和预燃室结构 ,利用从预燃室喷出的高温燃气去引燃从凹槽内喷出的煤油 ,实现煤油超燃过程的具有广泛应用前景的超燃新方案。试验是在空气流量 1 .2kg/s左右的地面连管试验台上进行的。试验结果显示 ,超燃点火可靠 ,火焰稳定 ,超燃效率可达 0 .8以上。
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关键词
煤油
超声速燃烧
双凹槽结构
预燃室
结构
试验
飞机燃料
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职称材料
题名
90nm T型栅工艺在高频GaAs PHEMT MMIC中的应用
被引量：
2
1
作者
孙希国
刘如青
刘永强
崔玉兴
付兴昌
机构
中国电子科技集团公司第十三研究所
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2015年第8期611-615,共5页
文摘
采用PMMA/P（MMA-MAA）/PMMA三层胶结构,通过优化电子束直写电压、束流和显影等工艺参数,得到了理想的光刻胶形貌。利用干法刻蚀和湿法腐蚀相结合的方法实现了双凹槽栅结构。通过优化蒸发功率、蒸发时间及各层金属厚度,解决了栅掉帽的问题。开发了90 nm自对准双凹槽T型栅电子束三层胶光刻工艺技术。应用90 nmT型栅工艺制作了W波段GaAs PHEMT功率放大器及V波段Ga As PHEMT低噪声放大器。测试结果表明,在频率为90~96 GHz、源漏电压5 V、栅源电压-0.3 V、输入功率13 dBm时,功率放大器电路输出功率为20.8 dBm,功率增益为7.8 dB;在频率为57~64 GHz、源漏电压2.5 V、漏极电流55 m A时,低噪声放大器增益大于24 dB,带内噪声系数小于3.5 dB,验证了该工艺技术的可行性和可应用性。
关键词
90
nm
T型栅
电子束直写
双凹槽结构
三层胶
结构
GAAS
PHEMT
Keywords
90 nm T-gate
electron beam direct-writing
double groove structure
tri-layer photo- resist structure
GaAs PHEMT
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
TN432 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
一种研究煤油超燃的新方案
被引量：
1
2
作者
司徒明
王春
陆惠萍
李建国
俞刚
机构
航天机电集团三院
中国科学院力学研究所
出处
《流体力学实验与测量》
CSCD
北大核心
2001年第3期7-12,共6页
基金
国家自然科学基金 ( 1 9882 0 0 4 )
国家"十五"预研基金 ( 4 1 70 1 0 4 0 1 )
文摘
为了强化煤油超燃性能 ,提出了一种采用双凹槽和预燃室结构 ,利用从预燃室喷出的高温燃气去引燃从凹槽内喷出的煤油 ,实现煤油超燃过程的具有广泛应用前景的超燃新方案。试验是在空气流量 1 .2kg/s左右的地面连管试验台上进行的。试验结果显示 ,超燃点火可靠 ,火焰稳定 ,超燃效率可达 0 .8以上。
关键词
煤油
超声速燃烧
双凹槽结构
预燃室
结构
试验
飞机燃料
Keywords
kerosene
preburner
hot gas
dual-cavity
supersonic combustion
分类号
V312 [航空宇航科学与技术—航空宇航推进理论与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
90nm T型栅工艺在高频GaAs PHEMT MMIC中的应用
孙希国
刘如青
刘永强
崔玉兴
付兴昌
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2015
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
一种研究煤油超燃的新方案
司徒明
王春
陆惠萍
李建国
俞刚
《流体力学实验与测量》
CSCD
北大核心
2001
1
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职称材料
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