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改进型双光路测量法检测角锥棱镜直角误差
1
作者
韩满林
韩森
+4 位作者
吴泉英
张凌华
沈宇航
杨颖
郭敬铭
《应用光学》
北大核心
2025年第1期148-155,共8页
传统的角锥棱镜二面角直角误差测量是基于斐索干涉系统使用单光程法对角锥进行直接测量,存在多次逆反射导致的系统像差以及调节参考镜倾斜引入的误差。采用一种改进型的双光程测法,可以匹配参考光和测试光的不规则性,进而消除系统像差...
传统的角锥棱镜二面角直角误差测量是基于斐索干涉系统使用单光程法对角锥进行直接测量,存在多次逆反射导致的系统像差以及调节参考镜倾斜引入的误差。采用一种改进型的双光程测法,可以匹配参考光和测试光的不规则性,进而消除系统像差的影响,且无需调整参考镜。实验使用斐索干涉仪,分别采用传统方法和改进型方法对同一角锥样品进行测量。单光程测量法得到二面角直角误差分别为0.9785μrad,1.5368μrad以及-0.3558μrad;双光程测量法得到二面角直角误差分别为0.6383μrad,1.2609μrad以及-0.3113μrad。实验结果验证了双光程测量法比单光程测量法更为准确。
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关键词
角锥棱镜
二面角直角误差
单
光程
测量
双光程测量
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职称材料
题名
改进型双光路测量法检测角锥棱镜直角误差
1
作者
韩满林
韩森
吴泉英
张凌华
沈宇航
杨颖
郭敬铭
机构
苏州科技大学物理科学与技术学院
上海理工大学光电信息与计算机工程学院
苏州慧利仪器有限责任公司
出处
《应用光学》
北大核心
2025年第1期148-155,共8页
基金
国际等效高精度计量仪器和标准器研制(一期)国家重点研发项目(2022YFFO707700)。
文摘
传统的角锥棱镜二面角直角误差测量是基于斐索干涉系统使用单光程法对角锥进行直接测量,存在多次逆反射导致的系统像差以及调节参考镜倾斜引入的误差。采用一种改进型的双光程测法,可以匹配参考光和测试光的不规则性,进而消除系统像差的影响,且无需调整参考镜。实验使用斐索干涉仪,分别采用传统方法和改进型方法对同一角锥样品进行测量。单光程测量法得到二面角直角误差分别为0.9785μrad,1.5368μrad以及-0.3558μrad;双光程测量法得到二面角直角误差分别为0.6383μrad,1.2609μrad以及-0.3113μrad。实验结果验证了双光程测量法比单光程测量法更为准确。
关键词
角锥棱镜
二面角直角误差
单
光程
测量
双光程测量
Keywords
corner cube prisms
dihedral right-angle error
single-pass measurements
double-pass measurements
分类号
TN206 [电子电信—物理电子学]
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作者
出处
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被引量
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1
改进型双光路测量法检测角锥棱镜直角误差
韩满林
韩森
吴泉英
张凌华
沈宇航
杨颖
郭敬铭
《应用光学》
北大核心
2025
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