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浅沟槽双光电探测器
1
作者
陈瑞鹏
毛陆虹
宋瑞良
《电子测量技术》
2006年第4期24-25,39,共3页
提出一种新型光电探测器,采用浅沟槽隔离工艺,在双光电探测器基础上制作而成。通过使用Silvaco公司的器件模拟软件Atlas进行器件模拟,分析了浅沟槽对探测器关键参数的影响,包括响应度和响应速度。结果表明,浅沟槽双光电探测器具有良好...
提出一种新型光电探测器,采用浅沟槽隔离工艺,在双光电探测器基础上制作而成。通过使用Silvaco公司的器件模拟软件Atlas进行器件模拟,分析了浅沟槽对探测器关键参数的影响,包括响应度和响应速度。结果表明,浅沟槽双光电探测器具有良好的特性,响应度和响应速度都优于双光电探测器。
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关键词
双光电探测器
浅沟槽隔离
器件模拟
响应度
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职称材料
题名
浅沟槽双光电探测器
1
作者
陈瑞鹏
毛陆虹
宋瑞良
机构
天津大学
出处
《电子测量技术》
2006年第4期24-25,39,共3页
文摘
提出一种新型光电探测器,采用浅沟槽隔离工艺,在双光电探测器基础上制作而成。通过使用Silvaco公司的器件模拟软件Atlas进行器件模拟,分析了浅沟槽对探测器关键参数的影响,包括响应度和响应速度。结果表明,浅沟槽双光电探测器具有良好的特性,响应度和响应速度都优于双光电探测器。
关键词
双光电探测器
浅沟槽隔离
器件模拟
响应度
Keywords
double photo-diode（DPD）
STI
device simulation
responsibility
分类号
TN215 [电子电信—物理电子学]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
浅沟槽双光电探测器
陈瑞鹏
毛陆虹
宋瑞良
《电子测量技术》
2006
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