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双光子三维微细加工技术及实验系统的开发 被引量:22
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作者 蒋中伟 袁大军 +4 位作者 祝安定 夏安东 黄文浩 褚家如 刘允萍 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2003年第3期234-238,共5页
介绍了一种新型的三维微细加工技术 ,描述了自行开发的双光子微细加工实验系统。双光子三维微细加工技术利用材料与飞秒激光束在焦点局域发生的双光子激发 ,通过逐点扫描 ,实现微器件的三维成型。由于材料发生双光子激发的几率与激发光... 介绍了一种新型的三维微细加工技术 ,描述了自行开发的双光子微细加工实验系统。双光子三维微细加工技术利用材料与飞秒激光束在焦点局域发生的双光子激发 ,通过逐点扫描 ,实现微器件的三维成型。由于材料发生双光子激发的几率与激发光强的平方成正比 ,所以具有极高瞬时光强的飞秒激光器和可以对光束进行强聚焦的显微镜装置成为系统的关键部件 ,对此进行了详细的说明。最后 ,给出了部分利用上述加工系统所获得的初步实验结果。 展开更多
关键词 双光子激发 光聚合 飞秒激光器 三维微器件 三维微细加工技术 双光子微细加工实验系统 激光加工
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双光子加工数据准备软件的研究
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作者 方应星 朱煜 《计算机应用研究》 CSCD 北大核心 2007年第10期243-245,共3页
双光子加工技术需要通过数据准备软件将CAD模型转换为加工数据。为此提出了三种进行双光子加工的数据准备方法,即STL处理、图片处理和线条处理;基于MFC的单文档/视图结构框架开发了软件。应用实例表明,该软件界面友好、运行可靠。
关键词 双光子微细加工 双光子微细光固化成型 数据准备 立体光刻文件 二值图像
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