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飞秒激光双光子加工的极限分辨力 被引量:6
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作者 宋旸 董贤子 +1 位作者 赵震声 段宣明 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第7期1780-1784,共5页
采用3维压电微移动台高速扫描方式控制曝光时间与高精密转台精确控制圆形渐变衰减片以控制曝光功率两种方法,曝光时间和曝光功率可分别精确控制至0.02 ms和7 pW。通过精确控制聚合阈值附近处的曝光时间和曝光功率,分别在玻璃基板上获得... 采用3维压电微移动台高速扫描方式控制曝光时间与高精密转台精确控制圆形渐变衰减片以控制曝光功率两种方法,曝光时间和曝光功率可分别精确控制至0.02 ms和7 pW。通过精确控制聚合阈值附近处的曝光时间和曝光功率,分别在玻璃基板上获得了35 nm和45 nm的聚合物纳米线条,分别为所使用激光波长的1/22和1/17。实验结果表明,当曝光时间或曝光功率在加工阈值附近时,曝光时间和功率的微量减少会使聚合线宽急剧下降。 展开更多
关键词 飞秒激光 双光子加工 线宽分辨力 聚合阈值 聚合度
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双光子加工数据准备软件的研究
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作者 方应星 朱煜 《计算机应用研究》 CSCD 北大核心 2007年第10期243-245,共3页
双光子加工技术需要通过数据准备软件将CAD模型转换为加工数据。为此提出了三种进行双光子加工的数据准备方法,即STL处理、图片处理和线条处理;基于MFC的单文档/视图结构框架开发了软件。应用实例表明,该软件界面友好、运行可靠。
关键词 双光子微细加工 双光子微细光固化成型 数据准备 立体光刻文件 二值图像
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可见光波段飞秒激光双光子微纳加工 被引量:3
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作者 陈述 郑美玲 +2 位作者 董贤子 段宣明 赵震声 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2014年第4期472-476,共5页
基于矢量衍射理论,计算了多个可见光波段激光经紧聚焦后在焦点附近的双光子点扩散函数。计算结果表明,双光子吸收效应的作用区域随着波长的减小而减小。采用多个可见光波段飞秒激光光源进行了双光子光聚合加工,并对加工分辨率和加工阈... 基于矢量衍射理论,计算了多个可见光波段激光经紧聚焦后在焦点附近的双光子点扩散函数。计算结果表明,双光子吸收效应的作用区域随着波长的减小而减小。采用多个可见光波段飞秒激光光源进行了双光子光聚合加工,并对加工分辨率和加工阈值进行了分析.实验结果表明,在每个激光波长条件下,降低光子流密度能够提高加工分辨率;随着加工波长的减小,双光子跃迁过程逐渐满足近共振跃迁条件,双光子吸收几率逐渐增大,双光子加工的阈值逐渐降低。 展开更多
关键词 激光技术 分辨率 双光子加工 聚合阈值
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双光子三维微细加工技术及实验系统的开发 被引量:22
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作者 蒋中伟 袁大军 +4 位作者 祝安定 夏安东 黄文浩 褚家如 刘允萍 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2003年第3期234-238,共5页
介绍了一种新型的三维微细加工技术 ,描述了自行开发的双光子微细加工实验系统。双光子三维微细加工技术利用材料与飞秒激光束在焦点局域发生的双光子激发 ,通过逐点扫描 ,实现微器件的三维成型。由于材料发生双光子激发的几率与激发光... 介绍了一种新型的三维微细加工技术 ,描述了自行开发的双光子微细加工实验系统。双光子三维微细加工技术利用材料与飞秒激光束在焦点局域发生的双光子激发 ,通过逐点扫描 ,实现微器件的三维成型。由于材料发生双光子激发的几率与激发光强的平方成正比 ,所以具有极高瞬时光强的飞秒激光器和可以对光束进行强聚焦的显微镜装置成为系统的关键部件 ,对此进行了详细的说明。最后 ,给出了部分利用上述加工系统所获得的初步实验结果。 展开更多
关键词 双光子激发 光聚合 飞秒激光器 三维微器件 三维微细加工技术 双光子微细加工实验系统 激光加工
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双光子聚合微加工高精密度PEG水凝胶的研究 被引量:1
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作者 邢金峰 张倩 苟晓蓉 《天津大学学报(自然科学与工程技术版)》 EI CSCD 北大核心 2018年第2期210-214,共5页
高精密度的水凝胶微结构有利于更好地模拟生物体内微环境,双光子聚合微加工有望加工出任意形貌的高精密度水凝胶微结构.为了改善微结构的刚性,调节光刻胶的成分,加工了3种不同种类的微结构,优化后的光刻胶用于后续微结构的加工,研究了... 高精密度的水凝胶微结构有利于更好地模拟生物体内微环境,双光子聚合微加工有望加工出任意形貌的高精密度水凝胶微结构.为了改善微结构的刚性,调节光刻胶的成分,加工了3种不同种类的微结构,优化后的光刻胶用于后续微结构的加工,研究了正加工和倒加工的差异.进一步研究了激光扫描速度对加工时间的影响.结果表明,适当提高聚合物刚性、采用倒加工以及适当提高扫描速度可以高效地加工出高精密度的水凝胶微结构. 展开更多
关键词 双光子聚合微加工 高精密度 PEG 水凝胶微结构
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飞秒激光双光子聚合加工微纳结构 被引量:7
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作者 孙树峰 王萍萍 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2018年第12期56-60,共5页
针对微/纳机电系统(MEMS/NEMS)零部件加工制造难题,研究具有亚衍射极限空间分辨率的飞秒激光双光子聚合加工方法,搭建钛蓝宝石飞秒激光微纳加工系统,对液态聚合物材料进行飞秒激光双光子聚合加工工艺试验研究。结果表明:随着激光功率的... 针对微/纳机电系统(MEMS/NEMS)零部件加工制造难题,研究具有亚衍射极限空间分辨率的飞秒激光双光子聚合加工方法,搭建钛蓝宝石飞秒激光微纳加工系统,对液态聚合物材料进行飞秒激光双光子聚合加工工艺试验研究。结果表明:随着激光功率的降低,单个固化点的尺寸减小,加工分辨率提高;扫描步距减小,所加工工件的表面粗糙度数值减小,但加工效率降低。基于CAD软件设计出微米墙和纳米线构成的三维微纳结构,利用飞秒激光双光子聚合加工得到该三维微纳结构实物,通过优化工艺参数加工出直径小于100 nm的纳米线,从而证明飞秒激光双光子聚合加工方法为微/纳器件的制造提供了一种有效方法。 展开更多
关键词 飞秒激光 双光子聚合加工 微纳结构 扫描步距 表面粗糙度
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飞秒激光赋能液晶光子学
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作者 王钰 张一鸣 +1 位作者 谢群 张心正 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2024年第12期1612-1635,共24页
液晶作为一种典型的软物质材料,具有独特的物理性质和可控的分子结构,已经成为柔性光电子器件、软凝聚态物理等领域的交叉研究前沿。飞秒激光的高峰值功率、短脉冲特性与灵活且高精度的双光子聚合加工技术,为设计、制造新型可调控的液... 液晶作为一种典型的软物质材料,具有独特的物理性质和可控的分子结构,已经成为柔性光电子器件、软凝聚态物理等领域的交叉研究前沿。飞秒激光的高峰值功率、短脉冲特性与灵活且高精度的双光子聚合加工技术,为设计、制造新型可调控的液晶光子学微结构,操纵其中液晶分子的线性、非线性响应提供了有效的实验方案。利用飞秒激光赋能液晶光子学不仅能推动软物质这一新兴学科的快速发展,同时也将为未来光学器件的开发带来新的机遇。本文综述了利用飞秒激光诱导液晶中的非线性效应、飞秒激光加工液晶弹性体和利用飞秒激光加工的微结构实现液晶分子的面外取向及在液晶光子学器件方面的诸多应用,并介绍近年来有关方向在实际应用领域的研究进展。 展开更多
关键词 液晶 飞秒激光 双光子聚合加工 非线性 光子学微结构
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水凝胶支架的飞秒激光全息加工 被引量:8
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作者 潘登 李家文 +4 位作者 杨亮 胡衍雷 吴东 黄文浩 褚家如 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第9期2277-2282,共6页
为了实现以水凝胶为材料的细胞支架快速加工,将计算全息法引入传统的飞秒激光双光子加工中,并对全息图的生成方法和全息图对加工结构的影响进行了研究。首先,根据贝塞尔光波动方程和其透射函数生成贝塞尔光束全息图,分析两种参数对环形... 为了实现以水凝胶为材料的细胞支架快速加工,将计算全息法引入传统的飞秒激光双光子加工中,并对全息图的生成方法和全息图对加工结构的影响进行了研究。首先,根据贝塞尔光波动方程和其透射函数生成贝塞尔光束全息图,分析两种参数对环形结构大小和质量的影响。然后利用生成的全息图加工得到壁厚800nm、直径为8~15μm不等的水凝胶(PEGDA)圆管结构。最后,实现了基于圆管道的水凝胶细胞支架高效快速加工,支架中圆管道壁厚800nm、直径为8μm。本文首次将飞秒激光全息加工技术应用于水凝胶三维支架加工,解决了飞秒激光单点加工效率的问题。该技术在生物医学中具有广阔的应用前景。 展开更多
关键词 飞秒激光 双光子加工 贝塞尔光束 水凝胶 细胞支架
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径向偏振光对微纳尺度聚合物结构纵向分辨率的改善 被引量:3
9
作者 林乐 郑美玲 +4 位作者 董贤子 金峰 张永亮 赵震声 段宣明 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2017年第1期76-80,共5页
研究了径向偏振型飞秒脉冲激光并将其引入基于双光子吸收理论的微纳加工系统,得到了更高纵向分辨率、更低长径比的二维微纳尺度聚合物结构。对聚焦光场内光强分布的理论模拟表明:径向偏振型飞秒脉冲激光在提高纵向分辨率的同时会在一定... 研究了径向偏振型飞秒脉冲激光并将其引入基于双光子吸收理论的微纳加工系统,得到了更高纵向分辨率、更低长径比的二维微纳尺度聚合物结构。对聚焦光场内光强分布的理论模拟表明:径向偏振型飞秒脉冲激光在提高纵向分辨率的同时会在一定程度上降低聚合物结构的横向分辨率,使聚合物结构的长径比降低。用扫描电子显微镜表征聚合物结构得到的结果与理论模拟结果具有良好的一致性。径向偏振型飞秒脉冲激光提高了微纳尺度聚合物结构的纵向分辨率,在激光光刻领域有良好的应用前景。 展开更多
关键词 非线性光学 纵向分辨率 双光子加工 径向偏振 微纳聚合物结构
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