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一种叉齿式微硅加速度计的设计与分析
被引量：
7
1
作者
秦君华
董景新
《宇航学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第1期83-86,共4页
本文介绍了一种适合军民两用市场的、中低精度的叉齿式微硅加速度计的设计和仿真 ,其敏感轴平行于检测质量平面 ,微结构梁采用了折叠梁结构。对这种加速度计的结构参数进行了理论设计和优化选择 ,利用Ansys结构分析软件重点研究了折叠...
本文介绍了一种适合军民两用市场的、中低精度的叉齿式微硅加速度计的设计和仿真 ,其敏感轴平行于检测质量平面 ,微结构梁采用了折叠梁结构。对这种加速度计的结构参数进行了理论设计和优化选择 ,利用Ansys结构分析软件重点研究了折叠梁结构参数对加速度计固有谐振频率和力学特性的影响。最后给出了一个符合仪表性能要求的微加速度计 ,其中心摆片大小为 1.6 mm× 1.0 mm ,量程为 2 5 g,分辨率为 0 .5× 10 - 3g。
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关键词
叉齿式微硅加速度计
折叠梁结构参数
有限元分析
分辨率
Ansys结构分析软件
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职称材料
题名
一种叉齿式微硅加速度计的设计与分析
被引量：
7
1
作者
秦君华
董景新
机构
清华大学精密仪器与机械学系
出处
《宇航学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第1期83-86,共4页
基金
国防科工委重点项目 (8.7.1.1)和 (6A5 .4.3 )
文摘
本文介绍了一种适合军民两用市场的、中低精度的叉齿式微硅加速度计的设计和仿真 ,其敏感轴平行于检测质量平面 ,微结构梁采用了折叠梁结构。对这种加速度计的结构参数进行了理论设计和优化选择 ,利用Ansys结构分析软件重点研究了折叠梁结构参数对加速度计固有谐振频率和力学特性的影响。最后给出了一个符合仪表性能要求的微加速度计 ,其中心摆片大小为 1.6 mm× 1.0 mm ,量程为 2 5 g,分辨率为 0 .5× 10 - 3g。
关键词
叉齿式微硅加速度计
折叠梁结构参数
有限元分析
分辨率
Ansys结构分析软件
Keywords
Multi finger
Micromechanical silicon accelerometer
Folded beam
Finite element analysis(FEA)
Resolution
分类号
TH824.4 [机械工程—精密仪器及机械]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种叉齿式微硅加速度计的设计与分析
秦君华
董景新
《宇航学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002
7
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