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在片校准件参数定值方法
被引量：
2
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作者
霍晔
吴爱华
+5 位作者
王一帮
栾鹏
刘晨
梁法国
孙静
张立飞
《计量学报》
CSCD
北大核心
2022年第8期979-983,共5页
为解决在片校准件长时间使用后,由于参数定值发生偏差,导致测试结果不准的问题,针对在片校准件的等效电路模型,提出了一种参数定值方法。通过测试在片校准件S参数、长度和电阻的方法,对特征阻抗、开路电容、短路电感、负载电阻和电感、...
为解决在片校准件长时间使用后,由于参数定值发生偏差,导致测试结果不准的问题,针对在片校准件的等效电路模型,提出了一种参数定值方法。通过测试在片校准件S参数、长度和电阻的方法,对特征阻抗、开路电容、短路电感、负载电阻和电感、直通延时和损耗准确定值。在100 MHz~67 GHz频段范围内,用定值后的在片校准件进行了试验分析,结果表明:与使用出厂值相比,重新定值后的在片校准件测试结果更接近被测件的实际值。
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关键词
计量学
在片校准件
参数定值
等效电路模型
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职称材料
题名
在片校准件参数定值方法
被引量：
2
1
作者
霍晔
吴爱华
王一帮
栾鹏
刘晨
梁法国
孙静
张立飞
机构
中国电子科技集团公司第十三研究所
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2022年第8期979-983,共5页
文摘
为解决在片校准件长时间使用后,由于参数定值发生偏差,导致测试结果不准的问题,针对在片校准件的等效电路模型,提出了一种参数定值方法。通过测试在片校准件S参数、长度和电阻的方法,对特征阻抗、开路电容、短路电感、负载电阻和电感、直通延时和损耗准确定值。在100 MHz~67 GHz频段范围内,用定值后的在片校准件进行了试验分析,结果表明:与使用出厂值相比,重新定值后的在片校准件测试结果更接近被测件的实际值。
关键词
计量学
在片校准件
参数定值
等效电路模型
Keywords
metrology
on-wafer calibration standards
definition parameters
equivalent circuit model
分类号
TB973 [机械工程—测试计量技术及仪器]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
在片校准件参数定值方法
霍晔
吴爱华
王一帮
栾鹏
刘晨
梁法国
孙静
张立飞
《计量学报》
CSCD
北大核心
2022
2
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