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300mm全自动去胶清洗设备的研制
被引量：
2
1
作者
曹秀芳
曹颖杰
祝福生
《电子工业专用设备》
2011年第7期31-33,共3页
介绍了一种全自动去胶清洗设备的结构技术,主要从工艺槽体溶液均匀性实现等方面阐述槽体结构。经用户使用证明:该系统运行稳定可靠,工艺灵活,清洗工艺先进。适用150～300 mm晶圆片的去胶、腐蚀、清洗等工艺。
关键词
机械手
去胶
槽
去胶清洗设备
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职称材料
题名
300mm全自动去胶清洗设备的研制
被引量：
2
1
作者
曹秀芳
曹颖杰
祝福生
机构
中国电子科技集团公司第四十五研究所
出处
《电子工业专用设备》
2011年第7期31-33,共3页
文摘
介绍了一种全自动去胶清洗设备的结构技术,主要从工艺槽体溶液均匀性实现等方面阐述槽体结构。经用户使用证明:该系统运行稳定可靠,工艺灵活,清洗工艺先进。适用150～300 mm晶圆片的去胶、腐蚀、清洗等工艺。
关键词
机械手
去胶
槽
去胶清洗设备
Keywords
Robotic handler
Removing benchs
Removing and rinsing machine
分类号
TG155.41 [金属学及工艺—热处理]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
300mm全自动去胶清洗设备的研制
曹秀芳
曹颖杰
祝福生
《电子工业专用设备》
2011
2
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