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In_2O_3薄膜及纳米颗粒制备进展
被引量：
8
1
作者
王廷富
潘庆谊
程知萱
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
2001年第8期45-47,共3页
主要介绍了 In_2O_3薄膜及其纳米颗粒的制备方法和特点,并比较了它们的优缺点。
关键词
制备
三氧化二铟
薄膜
纳米颗粒
制备
真空热蒸镀
法
原子层取向生长法
化学气相沉积液
溅射
法
在线阅读
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职称材料
题名
In_2O_3薄膜及纳米颗粒制备进展
被引量：
8
1
作者
王廷富
潘庆谊
程知萱
机构
上海大学理学院
出处
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
2001年第8期45-47,共3页
文摘
主要介绍了 In_2O_3薄膜及其纳米颗粒的制备方法和特点,并比较了它们的优缺点。
关键词
制备
三氧化二铟
薄膜
纳米颗粒
制备
真空热蒸镀
法
原子层取向生长法
化学气相沉积液
溅射
法
Keywords
preparation
indium oxide
thin films
nanosize particles
分类号
TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]
TB43 [一般工业技术]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
In_2O_3薄膜及纳米颗粒制备进展
王廷富
潘庆谊
程知萱
《材料导报》
EI
CAS
CSCD
2001
8
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