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双成象单元扫描隧道显微镜与原子尺纳米计量技术
被引量：
3
1
作者
章海军
吴兰
黄峰
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
1998年第10期886-889,共4页
研制了双成象单元扫描隧道显微镜（ＳＴＭ），可同时对参考样品的原子晶格和被测样品扫描成象．计数原子晶格的数目，即可精确测定被测样品图象的尺度，以原子尺方式实现严格的纳米计量．本文介绍双成象单元的ＳＴＭ的原理和仪器系统，...
研制了双成象单元扫描隧道显微镜（ＳＴＭ），可同时对参考样品的原子晶格和被测样品扫描成象．计数原子晶格的数目，即可精确测定被测样品图象的尺度，以原子尺方式实现严格的纳米计量．本文介绍双成象单元的ＳＴＭ的原理和仪器系统，讨论原子尺纳米计量的可行性，给出被测样品图象的纳米计量结果．
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关键词
双成像单元
STM
原子尺
纳米计量
尺
度标准
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职称材料
纳米计量及定位技术简述
被引量：
1
2
作者
吴一辉
王立鼎
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1995年第S1期47-50,共4页
纳米计量和纳米定位是纳米技术的基础，是通向原子尺技术的关键。本文概述了纳米计量和定位技术的现状，分析了具有代表性的计量及定位方法及其特点，指出了它们未来的发展趋势。
关键词
纳米计量
定位技术
定位精度
执行元件
纳米技术
精密定位
原子尺
分辨率
科学技术
纳米级
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职称材料
题名
双成象单元扫描隧道显微镜与原子尺纳米计量技术
被引量：
3
1
作者
章海军
吴兰
黄峰
机构
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
1998年第10期886-889,共4页
文摘
研制了双成象单元扫描隧道显微镜（ＳＴＭ），可同时对参考样品的原子晶格和被测样品扫描成象．计数原子晶格的数目，即可精确测定被测样品图象的尺度，以原子尺方式实现严格的纳米计量．本文介绍双成象单元的ＳＴＭ的原理和仪器系统，讨论原子尺纳米计量的可行性，给出被测样品图象的纳米计量结果．
关键词
双成像单元
STM
原子尺
纳米计量
尺
度标准
Keywords
Dual imaging unit
STM
Atomic reference scale
Nano metrology
分类号
TB92 [机械工程—测试计量技术及仪器]
O48 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
纳米计量及定位技术简述
被引量：
1
2
作者
吴一辉
王立鼎
机构
中科院长春光机所
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1995年第S1期47-50,共4页
文摘
纳米计量和纳米定位是纳米技术的基础，是通向原子尺技术的关键。本文概述了纳米计量和定位技术的现状，分析了具有代表性的计量及定位方法及其特点，指出了它们未来的发展趋势。
关键词
纳米计量
定位技术
定位精度
执行元件
纳米技术
精密定位
原子尺
分辨率
科学技术
纳米级
分类号
TB9 [机械工程—测试计量技术及仪器]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
双成象单元扫描隧道显微镜与原子尺纳米计量技术
章海军
吴兰
黄峰
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
1998
3
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职称材料
2
纳米计量及定位技术简述
吴一辉
王立鼎
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1995
1
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职称材料
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