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微机电系统谐振器原子力显微镜探针设计与检测(英文) 被引量：3: 1; 作者熊壮 Bernard Legrand 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期107-111,共5页; 为克服既有原子力显微镜(AFM)悬臂式探针的谐振频率难以超过3.5 MHz,Q值低、成像速度低及在液体中成像效果欠佳等缺点,设计并制作了一种基于微机电系统(MEMS)谐振器的I2形探针,并成功实现了成像实验。为更进一步提高I2形探针的力灵敏度... 展开更多; 关键词微机电系统谐振器热执行压阻敏感原子力显微镜探针; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于大高宽比CD-AFM探针的设计与制备: 2; 作者贺龙李淑娴 +4 位作者苗斌李加东陈颖苗小浦吴森《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第3期409-413,428,共6页; 针对传统原子力显微镜(AFM)探针和关键尺寸原子力显微镜(CD-AFM)探针受限于针尖有效扫描高度较低,无法对深沟槽和大悬垂侧壁结构进行精准扫描成像的问题,提出了一种大高宽比针尖结构的新型CDAFM探针设计与制备方案。开发的新型CD-AFM探... 展开更多; 关键词关键尺寸原子力显微镜探针深沟槽大悬垂侧壁大高宽比有效高度; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于AFM探针的电晕放电研究: 3; 作者赵贵孔德义 +3 位作者 Juergen Brugger 陈池来程玉鹏李庄《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2011年第11期28-30,34,共4页; 针对扫描探针显微镜与质谱联用系统中的采样方式,提出了利用原子力显微镜(AFM)探针进行电晕放电解吸附的采样方案。运用ANSYS软件对AFM导电探针进行了有限元仿真,电场分析表明间距100μm加1 kV高压时的AFM探针周围场强在0.32～62.4 V/μ... 展开更多; 关键词原子力显微镜探针电晕放电微机电系统 ANSYS 非接触式采样; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于AFM的固液界面表面电荷密度测量方法(英文) 被引量：1: 4; 作者景大雷李大勇赵学增《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期272-276,共5页; 固液界面的表面电荷会影响微纳流体系统的流体阻力,因此如何测量固液界面的表面电荷密度以及分析表面电荷的产生机理对于研究表面电荷对流体阻力的影响具有较大的意义。提出了一种基于接触式AFM的固液界面表面电荷密度测量方法。基于该... 展开更多; 关键词表面电荷密度固液界面静电力力探针原子力显微镜; 在线阅读下载PDF 职称材料

碲基复合薄膜在纳米尺度下的电学特性研究: 5; 作者甘平辜敏 +1 位作者卿胜兰鲜晓东《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第11期1455-1458,共4页; 分别采用AFM和原子力/扫描探针显微镜(AFM/SPM)在纳米尺度下对碲基复合(Te/TeO2-SiO2)薄膜的表面电势、电容梯度等电学特性进行测量。测试结果表明控制电压为-0.8V,反应时间为200s条件下制备的碲基复合薄膜的表面电势差达到700mV,相对... 展开更多; 关键词碲基复合薄膜原子力/扫描探针显微镜表面电势电容梯度; 在线阅读下载PDF 职称材料

宏纳观多尺度集料-沥青粘附性评价被引量：19: 6; 作者虞将苗周文理《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第2期2052-2056,共5页; 集料-沥青的粘附性能作为沥青混合料路用性能的重要指标之一,对道路的耐久性有着重要影响。集料-沥青粘附性受多种因素共同影响。为探究集料的内在成分对集料-沥青粘附性的影响,对原子力显微镜(AFM)的探针针尖进行改造和修饰。采用道路... 展开更多; 关键词沥青原子力探针显微镜(AFM) 粘附力拉拔试验; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微机电系统谐振器原子力显微镜探针设计与检测(英文) 被引量：3: 1; 作者熊壮 Bernard Legrand; 机构中国工程物理研究院电子工程研究所 Institut d’Electronique; 出处《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期107-111,共5页; 基金 supported by National Natural Science Foundation of China(61404121); 文摘为克服既有原子力显微镜(AFM)悬臂式探针的谐振频率难以超过3.5 MHz,Q值低、成像速度低及在液体中成像效果欠佳等缺点,设计并制作了一种基于微机电系统(MEMS)谐振器的I2形探针,并成功实现了成像实验。为更进一步提高I2形探针的力灵敏度,从结构设计和检测方法入手,对原有探针进行改进。设计了简单有效的电阻差分检测方法,成功去处了输入端与输出端的耦合现象;采用局部离子注入的方法,提高了压阻敏感的传输效率。实验结果显示,在输入信号相同的条件下,改进后探针的输出信号与原有探针相比,输出信号得到了明显提高。计算结果表明,采用新方法制作的探针可使力灵敏度提高10倍以上。; 关键词微机电系统谐振器热执行压阻敏感原子力显微镜探针; Keywords MEMS resonator thermal driving piezoresistive sensing AFM probe; 分类号 TH742 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于大高宽比CD-AFM探针的设计与制备: 2; 作者贺龙李淑娴苗斌李加东陈颖苗小浦吴森; 机构大连大学机械工程学院中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所轻量化实验室中国科学院多功能材料与轻巧系统重点实验室天津大学精密仪器与光电子工程学院; 出处《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第3期409-413,428,共6页; 基金国家重点研发计划(2021YFB3201600) 国家自然科学基金(面上项目)(62074159) 苏州市科技计划项目(SSD2023001); 文摘针对传统原子力显微镜(AFM)探针和关键尺寸原子力显微镜(CD-AFM)探针受限于针尖有效扫描高度较低,无法对深沟槽和大悬垂侧壁结构进行精准扫描成像的问题,提出了一种大高宽比针尖结构的新型CDAFM探针设计与制备方案。开发的新型CD-AFM探针针尖有效高度为5.1~5.8μm,高宽比达到14,相较于传统硅基CD-AFM探针,其有效高度提升了约4倍。利用开发的探针完成了标称深度为2.3μm、深宽比为4.6的深沟槽样品测试。; 关键词关键尺寸原子力显微镜探针深沟槽大悬垂侧壁大高宽比有效高度; Keywords critical dimension atomic force microscopy probes deep grooves large overhanging sidewall large aspect ratio effective height; 分类号 TN305 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于AFM探针的电晕放电研究: 3; 作者赵贵孔德义 Juergen Brugger 陈池来程玉鹏李庄; 机构中国科学院合肥智能机械研究所传感技术国家重点实验室中国科学技术大学瑞士洛桑联邦理工学院; 出处《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2011年第11期28-30,34,共4页; 基金国家自然科学基金资助项目(60871037) 中瑞科技合作基金资助项目(SSSTCEG28-032010); 文摘针对扫描探针显微镜与质谱联用系统中的采样方式,提出了利用原子力显微镜(AFM)探针进行电晕放电解吸附的采样方案。运用ANSYS软件对AFM导电探针进行了有限元仿真,电场分析表明间距100μm加1 kV高压时的AFM探针周围场强在0.32～62.4 V/μm间,验证了利用其产生电晕放电的可行性;通过实验观察了电晕放电现象及其规律,测得了AFM探针加高压时的伏安特性曲线,为下一步利用AFM探针产生电晕放电进行非触式采样奠定了良好的基础。; 关键词原子力显微镜探针电晕放电微机电系统 ANSYS 非接触式采样; Keywords AFM probe corona discharge MEMS ANSYS non-contact sampling; 分类号 TH702 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于AFM的固液界面表面电荷密度测量方法(英文) 被引量：1: 4; 作者景大雷李大勇赵学增; 机构哈尔滨工业大学机电工程学院; 出处《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期272-276,共5页; 基金 supported by National Natural Science Foundation of China(51475118); 文摘固液界面的表面电荷会影响微纳流体系统的流体阻力,因此如何测量固液界面的表面电荷密度以及分析表面电荷的产生机理对于研究表面电荷对流体阻力的影响具有较大的意义。提出了一种基于接触式AFM的固液界面表面电荷密度测量方法。基于该方法测量了浸在去离子水和0.01mol/L的NaCl溶液中的高硼硅玻璃和二氧化硅样本的表面电荷密度,并研究了溶液pH值对表面电荷的影响。研究结果表明高硼硅玻璃和二氧化硅由于表面硅烷基的电离带负电。溶液pH值和离子浓度的增加都会增加浸在去离子水和0.01mol/L的NaCl溶液中高硼硅玻璃和二氧化硅的表面电荷密度的绝对值。; 关键词表面电荷密度固液界面静电力力探针原子力显微镜; Keywords surface charge density solid-liquid interfaces silica colloidal probe AFM; 分类号 O35 [理学—流体力学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名碲基复合薄膜在纳米尺度下的电学特性研究: 5; 作者甘平辜敏卿胜兰鲜晓东; 机构重庆大学煤矿灾害动力学与控制国家重点实验室重庆大学通信工程学院重庆大学自动化学院; 出处《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第11期1455-1458,共4页; 基金重庆市科委科技计划项目院士专项资助项目(2008BC4003); 文摘分别采用AFM和原子力/扫描探针显微镜(AFM/SPM)在纳米尺度下对碲基复合(Te/TeO2-SiO2)薄膜的表面电势、电容梯度等电学特性进行测量。测试结果表明控制电压为-0.8V,反应时间为200s条件下制备的碲基复合薄膜的表面电势差达到700mV,相对介电常数小于以硅为主要成分的衬底相对介电常数。利用光谱分析,碲基复合薄膜的禁带宽度约为3.14eV。; 关键词碲基复合薄膜原子力/扫描探针显微镜表面电势电容梯度; Keywords tellurium-based composite films AFM/SPM surface potential capacitance gradient; 分类号 O472 [理学—半导体物理] O614 [理学—无机化学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名宏纳观多尺度集料-沥青粘附性评价被引量：19: 6; 作者虞将苗周文理; 机构华南理工大学土木与交通学院; 出处《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第2期2052-2056,共5页; 基金国家自然科学基金(51678251)。; 文摘集料-沥青的粘附性能作为沥青混合料路用性能的重要指标之一,对道路的耐久性有着重要影响。集料-沥青粘附性受多种因素共同影响。为探究集料的内在成分对集料-沥青粘附性的影响,对原子力显微镜(AFM)的探针针尖进行改造和修饰。采用道路工程在建项目附属石场的集料,提取集料中主要化合物成分制成小球针尖并对沥青表面进行粘附力测定;同时,结合荧光光谱仪(XRF)分析与拉拔试验,探究集料成分对集料-沥青粘附性的影响,并进行综合评价。结果表明,沥青-集料的粘附作用包括物理吸附和化学吸附,Al 2O 3在宏纳观尺度与沥青都有着较大的粘附作用;纳观尺度测定的结果表明,SiO 2与沥青之间有着较强的粘附力,而CaCO 3与沥青之间的粘附力较弱。宏观尺度测定结果表明,化学吸附对集料-沥青的粘附作用有着更强的影响,且碱性集料与沥青之间有着较强的抗水损害能力。本工作针对道路工程集料筛选给出了基于粘附性评价的建议,具有一定的指导意义。; 关键词沥青原子力探针显微镜(AFM) 粘附力拉拔试验; Keywords asphalt AFM adhesion pull-out test; 分类号 U414 [交通运输工程—道路与铁道工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	微机电系统谐振器原子力显微镜探针设计与检测(英文)	熊壮 Bernard Legrand	《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心	2015	3	在线阅读下载PDF 职称材料
2	基于大高宽比CD-AFM探针的设计与制备	贺龙李淑娴苗斌李加东陈颖苗小浦吴森	《压电与声光》 CAS 北大核心	2024	0	在线阅读下载PDF 职称材料
3	基于AFM探针的电晕放电研究	赵贵孔德义 Juergen Brugger 陈池来程玉鹏李庄	《传感器与微系统》 CSCD 北大核心	2011	0	在线阅读下载PDF 职称材料
4	基于AFM的固液界面表面电荷密度测量方法(英文)	景大雷李大勇赵学增	《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心	2015	1	在线阅读下载PDF 职称材料
5	碲基复合薄膜在纳米尺度下的电学特性研究	甘平辜敏卿胜兰鲜晓东	《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心	2012	0	在线阅读下载PDF 职称材料
6	宏纳观多尺度集料-沥青粘附性评价	虞将苗周文理	《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心	2021	19	在线阅读下载PDF 职称材料