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Al掺杂ZnO薄膜原子力显微图像的多重分形研究
被引量：
1
1
作者
吕建国
宋学萍
孙兆奇
《电子显微学报》
CAS
CSCD
2008年第3期192-196,共5页
用原子力显微镜观察溶胶-凝胶法制备Al掺杂ZnO薄膜的表面形貌,运用多重分形理论研究Al掺杂ZnO薄膜的原子力显微图像,多重分形谱可以很好地定量表征薄膜的表面形貌。结果显示:Al掺杂量为0.5 at.%的ZnO薄膜经550℃退火处理后,rms粗糙度为1...
用原子力显微镜观察溶胶-凝胶法制备Al掺杂ZnO薄膜的表面形貌,运用多重分形理论研究Al掺杂ZnO薄膜的原子力显微图像,多重分形谱可以很好地定量表征薄膜的表面形貌。结果显示:Al掺杂量为0.5 at.%的ZnO薄膜经550℃退火处理后,rms粗糙度为1.817,Al掺杂量为1.0 at.%的ZnO薄膜经600℃退火处理后,rms粗糙度增大到4.625,相应的分形谱宽Δα从0.019增大到0.287,分形参数Δf由-0.075变为0.124。
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关键词
Al掺杂ZnO薄膜
原子力显微图像
表面形貌
多重分形谱
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职称材料
题名
Al掺杂ZnO薄膜原子力显微图像的多重分形研究
被引量：
1
1
作者
吕建国
宋学萍
孙兆奇
机构
安徽大学物理与材料科学学院
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
2008年第3期192-196,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.50642038)
教育部博士点专项基金(No.20060357003)
+4 种基金
安徽省人才专项基金(No.2004Z029)
安徽科技厅重点项目(No.07020203009)
安徽省高等学校省级自然科学研究项目(No.KJ2007B135)
安徽省高等学校青年教师科研资助计划项目(No.2006jql192)
安徽大学人才队伍建设基金资助课题~~
文摘
用原子力显微镜观察溶胶-凝胶法制备Al掺杂ZnO薄膜的表面形貌,运用多重分形理论研究Al掺杂ZnO薄膜的原子力显微图像,多重分形谱可以很好地定量表征薄膜的表面形貌。结果显示:Al掺杂量为0.5 at.%的ZnO薄膜经550℃退火处理后,rms粗糙度为1.817,Al掺杂量为1.0 at.%的ZnO薄膜经600℃退火处理后,rms粗糙度增大到4.625,相应的分形谱宽Δα从0.019增大到0.287,分形参数Δf由-0.075变为0.124。
关键词
Al掺杂ZnO薄膜
原子力显微图像
表面形貌
多重分形谱
Keywords
Al-doped ZnO thin films
atomic force microscopic image
surface topography
multifractal spectrum
分类号
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
Al掺杂ZnO薄膜原子力显微图像的多重分形研究
吕建国
宋学萍
孙兆奇
《电子显微学报》
CAS
CSCD
2008
1
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