-
题名低能离子束原位研究系统的建立及其应用
- 1
-
-
作者
邓宗武
郭伟民
刘焕明
曹立礼
-
机构
清华大学化学系
香港中文大学化学系
香港中文大学物理系
-
出处
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
1999年第5期321-325,335,共6页
-
文摘
介绍一套具有质量分辨能力的低能离子束原位研究系统及其性能。在该系统中 ,低能离子束能量可调范围为 5～ 2 0 0eV ,束流为 1～ 6 μA ;在 10 0eV的能量下 ,束流密度可达 10 0 μA/cm2 ;离子束能量降至 10eV时 ,束流密度为 10～ 2 0 μA/cm2 。能量分散为± 0 5eV。离子的质量和能量分别由四极质谱仪和筒镜能量分析器表征 ,离子束束流和束流密度分布用两个法拉第杯进行测量。WienFilter的质量分辨率为 4 0。系统上装有XPS ,UPS ,LEED等分析仪器 。
-
关键词
低能
离子束
原位研究系统
费米能级
磷化铟
-
Keywords
Low energy ion beam,In situ experimental system,Fermi level,InP
-
分类号
O562.4
[理学—原子与分子物理]
-
