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Al_(2)O_(3)-AlN复相陶瓷的热化学形变行为与预应力强化
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作者 刘泽校 聂光临 +3 位作者 严政清 刘一军 林华泰 左飞 《陶瓷学报》 CAS 北大核心 2024年第6期1163-1170,共8页
Al_(2)O_(3)-AlN复相陶瓷在电子信息领域具有广阔的应用前景,为了保证其服役安全性与可靠性,采用热化学形变调控下的后处理强化技术,提高复相陶瓷的力学性能;并利用非接触式原位形变测量、SEM-EDS、XRD、压痕试验等表征方法,探讨了复相... Al_(2)O_(3)-AlN复相陶瓷在电子信息领域具有广阔的应用前景,为了保证其服役安全性与可靠性,采用热化学形变调控下的后处理强化技术,提高复相陶瓷的力学性能;并利用非接触式原位形变测量、SEM-EDS、XRD、压痕试验等表征方法,探讨了复相陶瓷的热化学形变行为、物相—微观结构演变规律以及后处理的预应力强化机制。结果显示,随着后处理温度的升高,Al_(2)O_(3)-AlN复相陶瓷的弯曲强度呈现先增后降的变化规律;其中,1100℃处理制得的试样弯曲强度达到极大值[(519.23±23.87)MPa],较未处理试样提高了15%,而且后处理并未降低复相陶瓷试样的热导率。后处理过程可以使复相陶瓷中的AlN组分发生表层局部氧化,并伴随体积膨胀,继而通过表层—内芯的热化学形变失配在复相陶瓷表面形成残余压应力,增大了陶瓷试样的裂纹扩展阻力,从而有效提升了复相陶瓷的力学强度;然而,当后处理温度超过1200℃时,表面氧化层易形成气孔和微裂纹缺陷,导致复相陶瓷力学强度的降低。 展开更多
关键词 Al_(2)O_(3)-AlN复相陶瓷 热化学形变 预应力强化 原位形变测量 微观结构
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