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原子力显微镜原位探测铵态氮对沉淀态钙磷的溶解动力学
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作者 葛新飞 张文君 《土壤学报》 北大核心 2025年第1期92-101,共10页
现代农业对磷肥的过度施用导致了其在集约农田中的大量累积,且大部分以枸溶性和难溶性的沉淀态存在,因此提高沉淀态磷的有效性是磷肥高效利用的关键。目前,大量宏观的田间试验已揭示了氮肥对磷肥的活化具有促进效应。然而,微纳尺度上氮... 现代农业对磷肥的过度施用导致了其在集约农田中的大量累积,且大部分以枸溶性和难溶性的沉淀态存在,因此提高沉淀态磷的有效性是磷肥高效利用的关键。目前,大量宏观的田间试验已揭示了氮肥对磷肥的活化具有促进效应。然而,微纳尺度上氮肥和沉淀态磷肥相互作用的原位研究仍然缺乏。本研究选用土壤中常见的磷酸钙矿物(磷酸氢钙(DCPD)、羟基磷灰石(HAP))作为供试材料,设置5个浓度氯化铵(0.5、5、50、500、1000 mmol·L^(-1))为氮源,利用原位原子力显微镜原位观察了不同氮肥添加水平下,DCPD和HAP的表面溶解动力学。结果表明,氯化铵的添加驱动DCPD表面以三角形蚀坑的形式迅速溶解,且随着添加浓度的提高,DCPD表面溶解速率显著增强。结合DCPD表面溶解的定量表征,发现随着氯化铵浓度从0.5 mmol·L^(-1)增至1000 mmol·L^(-1),溶出磷的质量从27.00 mg·kg^(-1)显著增至145.0 mg·kg^(-1)。对于HAP而言,即使氯化铵浓度增至1000 mmol·L^(-1),HAP表面形貌几乎不变,未出现明显溶解,且溶出磷的质量仅为5.00 mg·kg^(-1),与超纯水溶出磷的质量相当(3.00 mg·kg^(-1))。分子水平的动力学力谱结果表明,铵根阳离子和DCPD之间的相互作用力(230.6 pN)显著大于其与HAP之间的相互作用力(154.0 pN)。这表明铵根阳离子在不同磷酸钙表面的结合强度差异显著,造成矿物表面水化层不同程度的破坏,从而带来矿物表面溶解的显著差异。本研究在纳米尺度原位表征了磷酸钙表面溶解动力学,并揭示了氯化铵调控其表面溶解的分子机制,为氮磷配施增强土壤供磷能力提供了直接依据。 展开更多
关键词 铵态氮 磷酸钙 原位溶解 原子力显微镜 互作效应
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频率调制原子力显微镜结合透射电子显微镜的原子尺度力学测量方法
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作者 姬厚淋 赵可可 +3 位作者 杨轲萌 刘春萌 张家奇 程少博 《电子显微学报》 北大核心 2025年第4期456-465,共10页
本研究设计了一种基于长边振动水晶振子(length extension resonator,LER)为力学传感器的原位透射电子显微镜样品杆,通过将原位透射电子显微镜(transmission electron microscope,TEM)技术与频率调制原子力显微镜(frequency modulated-a... 本研究设计了一种基于长边振动水晶振子(length extension resonator,LER)为力学传感器的原位透射电子显微镜样品杆,通过将原位透射电子显微镜(transmission electron microscope,TEM)技术与频率调制原子力显微镜(frequency modulated-atomic force microscope,FM-AFM)技术相结合,实现了纳米材料原子结构动态观测与力学性能同步测量。通过以典型金属(如金)、无机非金属材料(如金刚石)以及半导体材料(如二硫化钼)为研究对象,系统验证了该样品杆在探究原子尺度力学性能方面的普适性和有效性。(1)金纳米触点在拉伸过程中展现出量子化电导阶梯效应,当触点直径由0.9 nm缩减至0.8 nm和0.6 nm时,其弹簧常数从18.4 N/m逐步降至17.1 N/m和14.2 N/m,对应电导值从9.7 G_(0)阶梯式衰减至8.8 G_(0)和5.2 G_(0);(2)亚10 nm的金刚石颗粒在压缩过程中呈现非线性弹性响应,最大压缩应变约为12.18%;(3)极限尺寸的单层二硫化钼纳米带(2 nm×1.15 nm)展现出良好的弹性性能,测得弹簧常数约为80.4 N/m,推算杨氏模量约达215 GPa。本研究建立的纳米力学测试方法为理解原子尺度材料的力学性能提供了有效手段,在纳米力学研究领域具有重要应用价值。 展开更多
关键词 原位透射电子显微镜 频率调制原子力显微镜 纳米材料 力学性能
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基于原位原子力显微镜的巴洛沙韦酯单晶溶解机制研究
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作者 王洪帅 王蕾 +1 位作者 宋舒虹 陶绪堂 《人工晶体学报》 CAS 北大核心 2024年第9期1519-1527,共9页
本文使用原位原子力显微镜(in-situ AFM),在近分子尺度探究了抗流感药物巴洛沙韦酯晶型Form I晶体最大暴露晶面在水中的溶解行为。该晶体最大暴露晶面为(020)面,溶解前呈现出层状台阶和螺旋位错的微观形貌特征。原位原子力显微镜测试表... 本文使用原位原子力显微镜(in-situ AFM),在近分子尺度探究了抗流感药物巴洛沙韦酯晶型Form I晶体最大暴露晶面在水中的溶解行为。该晶体最大暴露晶面为(020)面,溶解前呈现出层状台阶和螺旋位错的微观形貌特征。原位原子力显微镜测试表明该晶面在水中主要以台阶后退溶解机制和蚀坑扩展溶解机制溶解。台阶后退溶解机制主要发生在留存有生长台阶的晶面处,通过层状台阶逐步后退推进溶解。蚀坑扩展溶解机制中,蚀坑具有规则蚀坑和倒螺旋位错型蚀坑两种形态。倒螺旋位错型蚀坑与螺旋位错处的缺陷溶解启动相关;规则四边形蚀坑则主要出现在较为平整光滑的完美晶面处,其原因在于该特征晶面仅能通过自发蚀坑成核来推进溶解过程。通过规则四边形蚀坑溶解机制溶解时,该晶面还存在溶解蚀坑临界尺寸现象,即只有超过一定尺寸的蚀坑才能推进溶解。 展开更多
关键词 巴洛沙韦酯 原位原子力显微镜 溶解机制 药物晶体 台阶后退溶解 蚀坑扩展溶解
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羟基乙叉二膦酸(HEDP)对碳酸钙晶体生长过程影响的原子力显微镜(AFM)研究 被引量:9
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作者 徐敬 方键 李杰 《精细化工》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第3期146-148,共3页
用原子力显微镜 (AFM)观测了添加羟基乙叉二膦酸 (HEDP)后的碳酸钙晶粒的表面形貌变化。纯碳酸钙过饱和溶液析出的碳酸钙晶体有两种主要的形态 :薄片状菱形晶体和类似立方体的菱方体晶体。AFM图像显示添加HEDP后菱方体晶体的形貌发生了... 用原子力显微镜 (AFM)观测了添加羟基乙叉二膦酸 (HEDP)后的碳酸钙晶粒的表面形貌变化。纯碳酸钙过饱和溶液析出的碳酸钙晶体有两种主要的形态 :薄片状菱形晶体和类似立方体的菱方体晶体。AFM图像显示添加HEDP后菱方体晶体的形貌发生了根本性的变化 ,呈现一种类似多晶的表面结构 ;而薄片状菱形晶体在添加HEDP前后测量不到生长变化。实验结果表明HEDP对薄片状菱形晶体有阻垢效果 。 展开更多
关键词 羟基乙叉二磷酸 HEDP 碳酸钙 晶体生长过程 原子力显微镜 afm 研究 非化学配比阻垢剂 阻垢
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相分离高分子共混薄膜退火和准淬火的原位原子力显微镜研究 被引量:3
5
作者 廖永贵 由吉春 +3 位作者 李学 孙昭艳 石彤非 安立佳 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2005年第9期1777-1779,共3页
The morphology and phase shift of phase-separated PMMA/SAN thin film on silicon wafer were studied by in situ AFM with hot stage through the annealing and quasi-quenching. The results show that the phase shifts are di... The morphology and phase shift of phase-separated PMMA/SAN thin film on silicon wafer were studied by in situ AFM with hot stage through the annealing and quasi-quenching. The results show that the phase shifts are different between high temperature and room temperature, and between ultrahigh vacuum and ambient and between in situ and ex situ although the morphologies are almost invariable. The reasons were discussed simply. 展开更多
关键词 高分子共混 薄膜 相分离 退火 淬火 原位 原子力显微镜
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聚甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯-丙烯腈无规共聚物薄膜表面原位原子力显微镜相图 被引量:1
6
作者 陶荟春 张双双 +2 位作者 张晶莹 艾淑平 由吉春 《应用化学》 CAS CSCD 北大核心 2014年第1期29-32,共4页
采用原位原子力显微镜在线跟踪方法,研究了聚甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯-丙烯腈无规共聚物共混体系表面相分离行为,得到了具有下临界共溶温度(临界温度约为175℃)原位相图。与文献报道的用离位方法所得结果的主要差别是原位的临界相分离温... 采用原位原子力显微镜在线跟踪方法,研究了聚甲基丙烯酸甲酯/苯乙烯-丙烯腈无规共聚物共混体系表面相分离行为,得到了具有下临界共溶温度(临界温度约为175℃)原位相图。与文献报道的用离位方法所得结果的主要差别是原位的临界相分离温度稍有提高,以及离位结果中存在的组成对称性。这些差别主要来源于离位和原位实验方法上的差别,薄膜厚度减小导致的相容性,热力学历史的变化以及基底效应的加剧。 展开更多
关键词 共混 相分离 原位 原子力显微镜
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纳米操纵辅助的原子力显微镜原位定位观察 被引量:1
7
作者 吴志华 张晓东 +6 位作者 张雪花 王春梅 孙洁林 李刚 孙洋 董亚明 胡钧 《电子显微学报》 CAS CSCD 2006年第4期356-359,共4页
在原子力显微镜(atomic force microscope,AFM)原位定位观察中,时常会遇到因失去标记物而无法定位的情况。本文介绍了一种在表面标记物被覆盖后,运用原子力显微镜的操纵功能,将标记物上的覆盖物“扫”开,重新找到标记物并用于精确定位... 在原子力显微镜(atomic force microscope,AFM)原位定位观察中,时常会遇到因失去标记物而无法定位的情况。本文介绍了一种在表面标记物被覆盖后,运用原子力显微镜的操纵功能,将标记物上的覆盖物“扫”开,重新找到标记物并用于精确定位的方法。以对高序热解石墨(highly ordered pyrolytic graphite,HOPG)表面牛血清白蛋白(bovine serum albumin,BSA)吸附的原位观察为例,在BSA膜覆盖HOPG表面的原子台阶后,采用接触模式AFM扫描,将BSA“扫”开,露出HOPG原子台阶作为标记,对图像上的结构进行精确定位。通过调节设置点、扫描范围、扫描速率、扫描线数、偏置值等成像参数及扫描时间,可以控制“清扫”的力度和范围。 展开更多
关键词 原子力显微镜 纳米操纵 原位观察 定位
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TMX2000型原子力显微镜(AFM)力的标定 被引量:1
8
作者 高芒来 聂时春 张嗣伟 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期528-529,541,共3页
根据针尖的形状和各项参数进行了TMX2000型原子力显微镜载荷、粘附力、法向力、横向力及其摩擦力的标定。其标定结果为载荷Fl=0.073×(Ilm-Il0)/Sn×N·m-1,横向力Ft=0.156×It/Sn×N·m-1,摩擦力Ff=0.078×... 根据针尖的形状和各项参数进行了TMX2000型原子力显微镜载荷、粘附力、法向力、横向力及其摩擦力的标定。其标定结果为载荷Fl=0.073×(Ilm-Il0)/Sn×N·m-1,横向力Ft=0.156×It/Sn×N·m-1,摩擦力Ff=0.078×(It+-It-) 展开更多
关键词 原子力显微镜(afm) X2000型 TM 标定结果 摩擦力 横向力 粘附力 法向力 Sn 载荷
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AFM-III型原子力显微镜在实验教学中的使用 被引量:5
9
作者 李帮军 《实验技术与管理》 CAS 2005年第4期34-38,共5页
扫描隧道显微镜(MicroNano AFM-Ⅲ型原子力显微镜),简称原子力显微镜,它集STM、AFM接触/非接触/侧向力/轻敲模式于一体,使人们能够通过实验论证,清晰地观察到物质表面的原子排列状态.在实验教学中,让学生通过实际操作,观察和验证量子力... 扫描隧道显微镜(MicroNano AFM-Ⅲ型原子力显微镜),简称原子力显微镜,它集STM、AFM接触/非接触/侧向力/轻敲模式于一体,使人们能够通过实验论证,清晰地观察到物质表面的原子排列状态.在实验教学中,让学生通过实际操作,观察和验证量子力学中的隧道效应,真正深入到原子世界,了解原子结构排列的真实图像,对培养学生科研兴趣和创造性思维,使学生对纳米尺度的进一步了解和深入研究具有极其重要的作用. 展开更多
关键词 原子力显微镜 实验教学 Ⅲ型 扫描隧道显微镜 创造性思维 轻敲模式 原子排列 物质表面 实际操作 隧道效应 子力 原子结构 纳米尺度 STM 侧向力 afm 学生
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基于原子力显微镜(AFM)的微加工系统 被引量:5
10
作者 夏加飞 孙涛 +3 位作者 闫永达 梁迎春 程凯 董申 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 2003年第2期125-129,共5页
目前原子力显微镜(AFM)已经成为纳米加工领域中一种重要的加工手段,但由于其自身扫描陶管及针尖等因素的影响,AFM的微加工能力在很大程度上受到限制。利用三维微动工作台结合原子力显微镜以及锋利的金刚石针尖组成微加工系统,通过编程... 目前原子力显微镜(AFM)已经成为纳米加工领域中一种重要的加工手段,但由于其自身扫描陶管及针尖等因素的影响,AFM的微加工能力在很大程度上受到限制。利用三维微动工作台结合原子力显微镜以及锋利的金刚石针尖组成微加工系统,通过编程获取微结构的轮廓,选择RS_232串口作为通讯方式,发送字符串命令控制工作台的运动实现预定的轨迹,从而消除了扫描陶管运动范围有限且存在漂移和滞后的影响,解决了氮化硅和单晶硅针尖加工材料范围有限的问题,提升了AFM的加工能力,并加工出较为复杂的微结构及微传感器。实验表明这是一种可行的微加工方法。 展开更多
关键词 原子力显微镜 微加工系统 afm 串口通讯 纳米加工
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原子力显微镜AFM 被引量:3
11
作者 王更新 《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 1993年第10期38-40,共3页
一、AFM的发展 世界最新型原子力显微镜AFM(Atomic Force Micro-scope)是1986年由电子扫描隧道显微镜STM(ScamningTunneling Microscope)的发明者Binning试制成功的,1990年完成了实用化装置并开始投放市场,目前AFM在世界上的普及速度大... 一、AFM的发展 世界最新型原子力显微镜AFM(Atomic Force Micro-scope)是1986年由电子扫描隧道显微镜STM(ScamningTunneling Microscope)的发明者Binning试制成功的,1990年完成了实用化装置并开始投放市场,目前AFM在世界上的普及速度大大超过了STM。 其理由是STM不能测定绝缘材料,而AFM不但具有与STM同等高的分辨能力,还能直接测定包括绝缘材料在内的各种物质。由于STM能够逐个地识别原子,所以作为显微镜来说是划时代的,但是不能直接测定绝缘物质是它的最大缺点。使用STM测定绝缘物质时。 展开更多
关键词 afm 原子力显微镜 显微镜
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原子力显微镜的工作原理及其在电化学原位测试中的应用 被引量:4
12
作者 刘金超 崔洁 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第14期191-201,共11页
原子力显微镜是显微分析领域常用的测试工具,通过探测探针与样品之间的相互作用获得样品表面信息,可以在真空、特定气氛以及液相环境下工作。除进行微纳尺度上的表面三维形貌测量外,原子力显微镜还可以进行电学性能、力学性能等测试。... 原子力显微镜是显微分析领域常用的测试工具,通过探测探针与样品之间的相互作用获得样品表面信息,可以在真空、特定气氛以及液相环境下工作。除进行微纳尺度上的表面三维形貌测量外,原子力显微镜还可以进行电学性能、力学性能等测试。由于功能多样、工作环境灵活,原子力显微镜是原位分析的理想平台。本文综述了原子力显微镜在原位电化学腐蚀、锂离子电池界面过程以及液相中的电化学反应动力学等研究中的应用。 展开更多
关键词 原子力显微镜 电化学 微区原位表征
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新型原子力显微镜的研制及其应用 被引量:16
13
作者 张冬仙 章海军 +1 位作者 李博 黄峰 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第1期50-54,共5页
研制了一种新型卧式原子力显微镜 ( AFM)系统 .本文介绍卧式 AFM的工作原理及其简要结构 ,讨论反馈控制电路系统的优化设计 ,阐述 Windows/ Dos兼容的图象扫描、处理和显示软件 .基于原子力曲线的测定 ,利用 AFM对纳米金刚石薄膜和多孔... 研制了一种新型卧式原子力显微镜 ( AFM)系统 .本文介绍卧式 AFM的工作原理及其简要结构 ,讨论反馈控制电路系统的优化设计 ,阐述 Windows/ Dos兼容的图象扫描、处理和显示软件 .基于原子力曲线的测定 ,利用 AFM对纳米金刚石薄膜和多孔氧化铝进行了扫描检测 .实验表明 ,该 AFM系统具有十分良好的图象重复性、稳定性和衬比 (度 ) ,仪器的横向分辨率优于 3 nm,纵向分辨率可达 1 nm,最大扫描范围达到 5μm× 5μm. 展开更多
关键词 原子力显微镜 纳米技术 研制 afm 工作原理 结构
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原子力显微镜研究鱼鳞胶原蛋白的溶液聚集行为 被引量:12
14
作者 钟朝辉 李春美 +3 位作者 顾海峰 窦宏亮 张旋 谢笔钧 《精细化工》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第10期983-987,共5页
用原子力显微镜(AFM)考察了样品质量浓度、溶液pH及温度对鱼鳞胶原蛋白溶液聚集态的影响。结果表明,在pH2.7的醋酸溶液中,当鱼鳞胶原蛋白质量浓度为10μg/mL时,鱼鳞胶原蛋白主要以单体和线性小聚集体形式存在,随着质量浓度继续增大,胶... 用原子力显微镜(AFM)考察了样品质量浓度、溶液pH及温度对鱼鳞胶原蛋白溶液聚集态的影响。结果表明,在pH2.7的醋酸溶液中,当鱼鳞胶原蛋白质量浓度为10μg/mL时,鱼鳞胶原蛋白主要以单体和线性小聚集体形式存在,随着质量浓度继续增大,胶原分子开始自组装形成网状结构,当质量浓度达到4 mg/mL时,形成无规线团结构;而在pH7.2的Tris-HC l溶液中,即使在10μg/mL的低质量浓度下,鱼鳞胶原蛋白也能自组装成不规则的片状聚集体,并通过横向融合形成多孔网状结构。随着质量浓度的增大,纤维直径和高度明显增加;鱼鳞胶原蛋白在40℃处理1 h,其聚集行为发生明显改变,聚集体由线性变为球状;当处理温度升至80℃时,其高级结构基本被破坏,AFM图像上只可见少许不规则分布的团状聚集体。 展开更多
关键词 原子力显微镜(afm) 鱼鳞胶原蛋白 聚集态
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原子力显微镜表征土壤中的纳米胶体 被引量:6
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作者 汤志云 陈旸 +3 位作者 Guodong Yuan 吴龙华 章海波 骆永明 《土壤学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第5期840-850,共11页
以平均粒径和多分散性指数为参数、采用原子力显微镜(AFM)表征了不同地区三种土壤纳米胶体的粒径与形貌,研究了pH及重金属离子对纳米胶体粒径和形貌的影响。结果表明,江苏九华(JH-4)土壤纳米胶体主要为形状规则的黏土矿物粒子,并部分被... 以平均粒径和多分散性指数为参数、采用原子力显微镜(AFM)表征了不同地区三种土壤纳米胶体的粒径与形貌,研究了pH及重金属离子对纳米胶体粒径和形貌的影响。结果表明,江苏九华(JH-4)土壤纳米胶体主要为形状规则的黏土矿物粒子,并部分被有机质包裹或覆盖,平均粒径为21.5nm(n=98),多分散性程度高(PI=1.9);浙江富阳(FY-1)土壤纳米胶体主要是无规则形状的有机质包裹的粒子,平均粒径为20.3nm(n=133),多分散性程度高(PI=2.0);江西德兴(DX-9)土壤纳米胶体主要是球状或近球状的无机粒子,平均粒径为56.3nm(n=147),多分散性程度较低(PI=1.3)。pH及重金属铜离子的存在对纳米胶体粒径和形貌会产生或分散或团聚的影响,这种影响可能与土壤纳米胶体的电荷性质、有机质含量等因素有关,形貌变化较为复杂。这种复杂性对理解和研究胶体在环境过程中的行为具有指导意义。 展开更多
关键词 原子力显微镜(afm) 土壤 纳米胶体 形貌
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双探针原子力显微镜视觉对准系统 被引量:6
16
作者 张华坤 高思田 +2 位作者 卢明臻 李伟 王龙龙 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第9期2399-2406,共8页
传统的原子力显微镜(AFM)受针尖形状和放置方式的影响很难测量线条的宽度和两个侧壁的形状,故本文提出采用双探针对顶测量方案来消除AFM针尖形状对测量结果的影响。介绍了一种基于机器视觉的双探针原子力显微镜对准系统,该系统将两个探... 传统的原子力显微镜(AFM)受针尖形状和放置方式的影响很难测量线条的宽度和两个侧壁的形状,故本文提出采用双探针对顶测量方案来消除AFM针尖形状对测量结果的影响。介绍了一种基于机器视觉的双探针原子力显微镜对准系统,该系统将两个探针接触到一起,实现了双探针在三维方向上的对准。系统采用具有亚微米级分辨率的镜头,配合高分辨率的CCD来获得探针的清晰图像,用于在水平和垂直两个方向实时监控双探针的运动情况。采用基于石英音叉式的自传感自调节的原子力探针,无需外加光学探测系统,缩小了系统体积,避免了杂散光对视觉对准系统的干扰。最后对针尖进行了亚像素边缘提取,精确地获取了探针之间的相对位置,实现了亚微米级的双探针对准(1μm以内)。该结论由探针之间距离与幅度/相位曲线得到了验证。 展开更多
关键词 原子力显微镜(afm) 双探针 尺寸测量 对准 视觉引导
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基于原子力显微镜的微间隙空气放电研究 被引量:16
17
作者 孙志 付琳清 +2 位作者 高鑫 韩柏 孙伟峰 《电工技术学报》 EI CSCD 北大核心 2018年第23期5616-5624,共9页
微放电等离子体已广泛应用于诸多领域,但是汤逊放电理论不能合理解释介观尺度空气放电现象,为了深入探究微小间隙空气放电特性和确定场致发射对微放电的作用和机理,基于手动精密位移台和原子力显微镜(AFM)构建能实现微米距离控制的针板... 微放电等离子体已广泛应用于诸多领域,但是汤逊放电理论不能合理解释介观尺度空气放电现象,为了深入探究微小间隙空气放电特性和确定场致发射对微放电的作用和机理,基于手动精密位移台和原子力显微镜(AFM)构建能实现微米距离控制的针板电极结构,研究了两种尺寸针板电极在大气压下、施加直流电压时的微间隙放电现象及机理。试验结果表明微间隙放电机理与长间隙有很大不同,间隙为15μm左右时针板裸电极可在空气中、常压下发生辉光放电;AFM针板电极不发生辉光放电,间隙小于2μm后预击穿电流变化趋势与FowlerNordheim公式描述的一致,击穿电压不随间隙距离变化,呈现场致发射放电机制。阴极场致发射放电导致负极性击穿电压低于相同间隙正极性击穿电压。通过AFM实现了针板电极放电微区域的定位和原位形貌表征。 展开更多
关键词 微放电 原子力显微镜 极性效应 原位检测
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大范围高速原子力显微镜的前馈反馈混合控制方法 被引量:7
18
作者 陈代谢 殷伯华 +2 位作者 林云生 初明璋 韩立 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期836-843,共8页
为了扩大原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)使用范围,研制了一套大范围高速AFM系统。针对大范围高速扫描时Z方向控制问题,提出了前馈反馈混合控制方法。前馈控制包括自动调平前馈和基于前一行扫描前馈,前者通过多线扫描确定样... 为了扩大原子力显微镜(Atomic Force Microscope,AFM)使用范围,研制了一套大范围高速AFM系统。针对大范围高速扫描时Z方向控制问题,提出了前馈反馈混合控制方法。前馈控制包括自动调平前馈和基于前一行扫描前馈,前者通过多线扫描确定样品倾斜位置,将所有扫描点的倾斜位移差用函数式表达,然后将其换算为Z向驱动电压后驱动下扫描器运动;后者利用前一行扫描高度数据作为当前行Z向扫描器驱动的参考输入。反馈控制为在普通比例-积分(PI)控制基础上改进的动态P参数PI控制,P参数设置与误差大小有关。实验结果表明:采用本控制方法最大控制误差由40.17nm减小为6.01nm,误差均方根值由22.85nm减小为2.01nm,明显抑制了误差信号,提高了Z向控制效果,获得了更精确的高度图像。 展开更多
关键词 原子力显微镜(afm) 高速扫描 Z向控制 前馈反馈混合控制
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用于纳米级三维表面形貌及微小尺寸测量的原子力显微镜 被引量:7
19
作者 高思田 叶孝佑 +4 位作者 邵宏伟 杜华 金其海 杨自本 陈允昌 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2004年第8期34-39,共6页
SPM是在纳米尺度上进行测量的重要的测量仪器之一 ,随着SPM进入工业测量领域 ,SPM的校准、量值溯源和测量不确定度分析已经成为SPM能够作为计量仪器使用的关键所在。文章论述了一种计量型原子力显微镜的构成、校准以及在国际比对中的应用。
关键词 纳米技术 afm 校准 表面形貌 微小尺寸测量 原子力显微镜
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基于DSP的高速原子力显微镜系统 被引量:7
20
作者 李敏 韩立 +2 位作者 林云生 左燕生 方光荣 《电子显微学报》 CAS CSCD 2007年第1期40-43,共4页
传统的以PC机为控制核心的AFM(atomic force microscope)越来越无法满足快速成像的要求,具有先进控制系统的高速AFM正成为国内外的一个研究热点。本文介绍了一种以DSP(digital signal processor)为控制核心的AFM系统。在该系统中,自动进... 传统的以PC机为控制核心的AFM(atomic force microscope)越来越无法满足快速成像的要求,具有先进控制系统的高速AFM正成为国内外的一个研究热点。本文介绍了一种以DSP(digital signal processor)为控制核心的AFM系统。在该系统中,自动进针/退针、扫描电压的产生、A/D采样、D/A输出以及数字闭环反馈控制等任务均在DSP控制下完成;在分辨率为512×512时,可以获得行频55 Hz的扫描速度。实验表明,即便在这样高速扫描的情况下,该系统仍具有良好的成像性能。 展开更多
关键词 高速原子力显微镜 afm DSP
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