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题名厚膜压力传感器的结构优化
被引量：4
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作者
陈建群
马以武
张宾
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机构
中国科学院合肥智能机械研究所传感技术国家重点实验室合肥
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2006年第11期57-60,共4页
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基金
国家自然科学基金资助项目(60374050)
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文摘
为提高厚膜压力传感器的稳定性,借助有限元分析软件Ansys,研究了厚膜压力传感器弹性体的应力分布,进而设计了应变电阻的尺寸,并优化了其布局。采用Ф18mm的96%A l2O3弹性体瓷件研制了一种新型厚膜力敏芯片,实验结果表明:它的热零点温漂小于3×10-4FS/℃,过载达120%,非线性误差及迟滞误差都小于±0.2%FS,精度由±0.4%FS提高到±0.2%FS,其线性度和稳定性得到很大提高,可广泛应用于仪器仪表、测控和导航等领域。
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关键词
厚膜压力传感器
有限元分析
稳定性
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Keywords
thick film pressure sensor
finite element analysis（FEA）
stability
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TN4
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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题名基于BP网络的厚膜压力传感器非线性校正
被引量：3
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作者
王正宏
马以武
陈建群
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机构
中国科学院合肥智能机械研究所传感技术国家重点实验室
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2007年第2期82-84,共3页
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基金
国家自然科学基金资助项目(60374050)
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文摘
简述了厚膜压力传感器结构原理和力学模型、传统非线性校正方法,以及用神经网络进行非线性校正的原理,探讨用BP神经网络实现厚膜压力传感器的非线性校正,并通过MATLAB神经网络工具箱进行仿真。研究结果表明:采用该方法对弹性体应变量与压力关系的非线性校正可以将标准误差减小2个数量级,简单而有效地实现传感器非线性校正。
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关键词
厚膜压力传感器
BP网络
非线性校正
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Keywords
thick-film pressure sensor
BP neural network
non-linear calibration
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TP214.2
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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