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力敏Z-元件与新型力数字传感器
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作者 李坡 赵旭 +1 位作者 付佳晖 付云鹏 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2005年第2期418-420,425,共4页
数字传感器是一种新型传感器。由于它有一系列优点,近年来日益受到广泛地关注。文中简述了由力敏Z-元件构成的新型力数字传感器的最新研究成果,展望了它的产业化方向。简述了力数字传感器的特性、电路结构和工作原理,提出的一些新概念。
关键词 敏感元件 敏Z-元件 厚膜力数字传感器
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