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题名铌酸盐材料的透射EDS定量分析及自校正方法
被引量：5
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作者
王贤浩
顾辉
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机构
中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室
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出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第4期318-324,共7页
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基金
国家自然科学基金面上项目(No.50802107)
国家杰出青年基金(No.50525205)
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文摘
由于在TEM中薄试样厚度测量有难度,致使X射线能量色散谱(EDS)定量分析的相关校正难以有效进行。厚度吸收效应的自校正方法,可以不需要测量试样厚度也能进行EDS定量校正。该方法要求在谱线中包含同一元素两个不同线系,其强度比与理论值的差异就会体现出厚度效应,从而可以"间接"开展吸收的定量校正,无需通过其它途径测量试样厚度。本文通过具有固定组分的铌酸钡钠微晶验证该方法,发现铌的自校正效应可较有效地用于校正重元素钡的含量,而对于轻元素钠的校正还需考虑其它误差的作用。同样方法定量分析相同结构的铌酸锶钡织构化陶瓷,可以更为准确地测定和判定晶粒内部微区的化学组分,从而为进一步开展陶瓷材料内部微观"扩散相图"的研究工作提供必要的微分析技术基础。
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关键词
X射线能量色散谱(EDS)
钨青铜型铌酸盐
定量分析
厚度吸收校正
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Keywords
X-ray energy dispersive spectroscopy （EDS）
niohates with tungsten bronze structure
quantitive analysis
thickness absorption correction
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分类号
TN16
[电子电信—物理电子学]
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