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题名石英晶体板高频振动的三维有限元分析
被引量：13
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作者
吴荣兴
李继亮
于兰珍
王骥
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机构
宁波职业技术学院建筑工程系
宁波大学机械与力学学院
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出处
《压电与声光》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第5期821-824,共4页
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基金
国家自然科学基金资助项目(10932004)
浙江省教育厅高校科研基金资助项目(Y201327293)
+1 种基金
浙江省重中之重学科开放基金资助项目(zj1202)
宁波职业技术学院青年博士创新基金资助项目(2013001)
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文摘
通过建立石英晶体板的三维模型,运用有限元分析软件ANSYS获得了石英晶体板厚度剪切振动的振动频率和位移云图。验证了数值计算结果的收敛性并提出了避免振动模态强烈耦合的石英晶体板最佳长厚比的选取方法。模型分析过程中发现,六面体网格比四面体网格易观察到石英晶体板的厚度剪切振动。
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关键词
石英晶体谐振器
板
有限元法
厚度剪切振动
频率
位移
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Keywords
quartz crystal resonator
plate
finite element method
thickness-shear vibration, frequency
displacements
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分类号
TN752.2
[电子电信—电路与系统]
TP12
[自动化与计算机技术—控制理论与控制工程]
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题名石英单晶微机械陀螺仪研究进展
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作者
孙卓
孙立涛
窦广彬
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机构
东南大学集成电路学院MEMS教育部重点实验室
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出处
《微纳电子技术》
CAS
2024年第11期17-30,共14页
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基金
国家重点研发计划(2023YFB3208901)。
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文摘
对Z切、ST切、AT切三种切割方式的石英单晶微机械陀螺仪的基本工作原理进行了阐述,梳理了不同类型陀螺仪的发展历程,重点介绍了三种石英单晶微机械陀螺仪的设计结构、性能特点及其应用场景,并从灵敏度、动态范围、稳定性、抗冲击性及工作频率等方面对三种类型石英微机械陀螺仪各自的性能优势与面临的技术挑战进行了评述,总结了当前国内外在石英单晶微机械陀螺仪研究领域的主要进展和创新点。最后,针对不同切割方式的石英单晶微机械陀螺仪的结构及工作特点,分析了其各自的优点与不足,进行了总结和对比,讨论了石英微机械陀螺仪的未来发展方向。
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关键词
石英
微机械陀螺仪
压电效应
Z切音叉微机械陀螺仪
ST切表面声波微机械陀螺仪
AT切厚度剪切振动陀螺仪
微电子机械系统(MEMS)
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Keywords
quartz
micromachined gyroscope
piezoelectric effect
Z-cut tuning fork micromachined gyroscope
ST-cut surface acoustic wave micromachined gyroscope
AT-cut thickness shear vibration gyroscope
micro-electromechanical system(MEMS)
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分类号
TH703
[机械工程—精密仪器及机械]
V241.5
[航空宇航科学与技术—飞行器设计]
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