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感光层厚度对a-GaO_(x)基日盲紫外光电探测器的性能影响研究
1
作者
常鼎钧
李赜明
张赫之
《吉林大学学报（信息科学版）》
CAS
2024年第3期567-572,共6页
为制备高性能日盲紫外光电探测器,采用低温金属有机物化学气相沉积方法制备了非晶氧化镓薄膜。通过对薄膜结构特性测试证明了薄膜的非晶特性,并且薄膜表面较为平坦,光学吸收边位于深紫外波段范围内。在此基础上,研制了日盲紫外光电探测...
为制备高性能日盲紫外光电探测器,采用低温金属有机物化学气相沉积方法制备了非晶氧化镓薄膜。通过对薄膜结构特性测试证明了薄膜的非晶特性,并且薄膜表面较为平坦,光学吸收边位于深紫外波段范围内。在此基础上,研制了日盲紫外光电探测器。随非晶氧化镓感光层厚度由33.2 nm增至133.6 nm,探测器的光电流和暗电流均提升了2个数量级,并且响应度和外量子效率均随感光层厚度提升而增大,探测器的响应度和外量子效率的最大值分别达到2.91 A/W和1419.12%。探测器的厚度依赖特性可归因于界面高缺陷层、光吸收强度以及探测器的几何参数。此外,探测器展现出良好的波长选择性以及时间分辨响应稳定性。
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关键词
非晶氧化镓
日盲紫外探测
厚度依赖特性
金属有机物化学气相沉积
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职称材料
题名
感光层厚度对a-GaO_(x)基日盲紫外光电探测器的性能影响研究
1
作者
常鼎钧
李赜明
张赫之
机构
中国地质大学(北京)地球物理与信息技术学院
大连理工大学集成电路学院
出处
《吉林大学学报（信息科学版）》
CAS
2024年第3期567-572,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(62104024)。
文摘
为制备高性能日盲紫外光电探测器,采用低温金属有机物化学气相沉积方法制备了非晶氧化镓薄膜。通过对薄膜结构特性测试证明了薄膜的非晶特性,并且薄膜表面较为平坦,光学吸收边位于深紫外波段范围内。在此基础上,研制了日盲紫外光电探测器。随非晶氧化镓感光层厚度由33.2 nm增至133.6 nm,探测器的光电流和暗电流均提升了2个数量级,并且响应度和外量子效率均随感光层厚度提升而增大,探测器的响应度和外量子效率的最大值分别达到2.91 A/W和1419.12%。探测器的厚度依赖特性可归因于界面高缺陷层、光吸收强度以及探测器的几何参数。此外,探测器展现出良好的波长选择性以及时间分辨响应稳定性。
关键词
非晶氧化镓
日盲紫外探测
厚度依赖特性
金属有机物化学气相沉积
Keywords
amorphous gallium oxide
solar-blind ultraviolet detection
thickness-dependent properties
metal organic chemical vapor deposition
分类号
TN303 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
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1
感光层厚度对a-GaO_(x)基日盲紫外光电探测器的性能影响研究
常鼎钧
李赜明
张赫之
《吉林大学学报（信息科学版）》
CAS
2024
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