期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
基于MEMS技术的微操作三维力传感器研究
被引量：
11
1
作者
荣伟彬
王家畴
+2 位作者
赵玉龙
陈立国
孙立宁
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第4期692-698,共7页
针对微操作过程中对微力觉信号的需求,以压阻检测技术为基础结合MEMS加工工艺,设计了一种用于微操作的三维力传感器,建立传感器的数学模型并用有限元分析软件对敏感弹性元件进行分析。利用悬臂梁受力弯曲变形的原理结合显微视觉技术,实...
针对微操作过程中对微力觉信号的需求,以压阻检测技术为基础结合MEMS加工工艺,设计了一种用于微操作的三维力传感器,建立传感器的数学模型并用有限元分析软件对敏感弹性元件进行分析。利用悬臂梁受力弯曲变形的原理结合显微视觉技术,实现对传感器的标定,并给出了传感器的信号处理方法。实验证明,该传感器具有耦合小、测量分辨率高、线性度好、标定简单的优点,满足了预计的设计要求。传感器最大量程为10mN,X向与Y向的分辨率均为2.4μN,Z向的分辨率为4.2μN。
展开更多
关键词
三维微力传感器
压阻检测技术
有限元分析
标定实验
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
基于MEMS技术的微操作三维力传感器研究
被引量：
11
1
作者
荣伟彬
王家畴
赵玉龙
陈立国
孙立宁
机构
哈尔滨工业大学机器人研究所
西安交通大学精密工程研究所
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第4期692-698,共7页
基金
国家863计划(2006AA04Z256)
长江学者和创新团队发展计划资助项目
文摘
针对微操作过程中对微力觉信号的需求,以压阻检测技术为基础结合MEMS加工工艺,设计了一种用于微操作的三维力传感器,建立传感器的数学模型并用有限元分析软件对敏感弹性元件进行分析。利用悬臂梁受力弯曲变形的原理结合显微视觉技术,实现对传感器的标定,并给出了传感器的信号处理方法。实验证明,该传感器具有耦合小、测量分辨率高、线性度好、标定简单的优点,满足了预计的设计要求。传感器最大量程为10mN,X向与Y向的分辨率均为2.4μN,Z向的分辨率为4.2μN。
关键词
三维微力传感器
压阻检测技术
有限元分析
标定实验
Keywords
tri-axial micro-force sensor
piezoresistive detection technology
FEM
calibration experiment
分类号
TP216 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于MEMS技术的微操作三维力传感器研究
荣伟彬
王家畴
赵玉龙
陈立国
孙立宁
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
11
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
