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题名基于MEMS技术梁膜结合压阻式加速度计的设计
被引量：1
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作者
张玲
赵玉龙
蒋庄德
田边
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机构
西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室
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出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2009年第B11期167-170,共4页
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基金
973计划资助项目(2009CB724405)
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文摘
提出了一种压阻式加速度计的新结构模型,采用梁膜结合结构方式,提高了低量程微硅压阻式加速度计的固有频率,减小了挠度对加速度计输出线性度的影响。通过有限元ANSYS仿真软件对结构模型进行静态和模态分析,发现在相同的负载条件下,新结构与传统结构相比,其固有频率平均提高了39%,挠度平均下降了39%,并对影响灵敏度、固有频率等主要指标的因素讨论分析,确定传感器的电阻分布和结构参数,对其结构进行优化。最后设计了版图及一套可行的工艺流程,采用各向异性化学腐蚀技术在单晶硅上制作压阻式加速度计,并与玻璃衬底阳极键合,从而提高加速度计的可靠性。该加速度计具有小尺寸、高频响、高精度的优点。
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关键词
压阻式微硅加速度计
挠度
固有频率
有限元分析
硅微机械加工技术
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Keywords
piezoresistivemicro-silicon accelerometer
deflection
natural frequency
FEA
silicon micromachining technology
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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