硅基MEMS梁-复合膜-岛压阻式压力传感器设计研究 被引量：1

1

作者 江浩 黄晶 +3 位作者 袁宇鹏 李春洋 苗晋威 李光贤 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第1期118-123,共6页

针对微机电系统(MEMS)压力传感器灵敏度与非线性度难以兼顾的问题,提出了一种梁-复合膜-岛压力传感结构,运用有限元仿真软件优化整体结构尺寸以得到最大纵横应力差、挠度,并设计压阻条压敏电阻掺杂类型、掺杂浓度、结构尺寸及分布位置... 针对微机电系统(MEMS)压力传感器灵敏度与非线性度难以兼顾的问题,提出了一种梁-复合膜-岛压力传感结构,运用有限元仿真软件优化整体结构尺寸以得到最大纵横应力差、挠度,并设计压阻条压敏电阻掺杂类型、掺杂浓度、结构尺寸及分布位置。将梁-复合膜-岛结构与传统结构的输出进行仿真对比,由仿真结果可知,梁-复合膜-岛结构在0~60 kPa压力范围内灵敏度较相关结构提升7%以上,较E型结构提升2倍,非线性度为0.029%FSS,满足MEMS微压压力传感器的高灵敏度、高线性度等要求,可支撑医疗领域相关应用研究。 展开更多

关键词 压阻式压力传感器 压敏电阻 高灵敏度 微压

在线阅读 下载PDF 职称材料

硅压阻式压力传感器温度补偿建模与算法研究 被引量：10

2

作者 孙凤玲 于海超 +2 位作者 王金文 方建雷 杨永刚 《微纳电子技术》 CAS 2007年第7期48-50,共3页

微电子技术的发展促进了硅传感器的加工工艺水平的提高,使硅传感器获得良好的一致性、稳定性和可靠性,而半导体的温度特性使硅压力传感器的零点和灵敏度随温度而发生漂移。针对硅压阻式压力传感器这一"弱点",介绍一种基于压... 微电子技术的发展促进了硅传感器的加工工艺水平的提高,使硅传感器获得良好的一致性、稳定性和可靠性,而半导体的温度特性使硅压力传感器的零点和灵敏度随温度而发生漂移。针对硅压阻式压力传感器这一"弱点",介绍一种基于压力芯片的惠斯顿电桥建立外接电阻补偿网络的数学模型,利用MatLab优化工具箱提供的优化方法构建算法,对补偿电阻求解,实现对温度漂移的补偿。该方法更有助于基于硅压阻式压力芯片的OEM型产品的大规模量产。 展开更多

关键词 硅压阻式压力传感器 漂移 惠斯顿电桥 补偿 优化

在线阅读 下载PDF 职称材料

曲面拟合算法在硅压阻式压力传感器温度特性研究中的应用 被引量：3

3

作者 庞芳 张海丰 +3 位作者 葛洪亮 张宇 崔虹云 王东方 《佳木斯大学学报（自然科学版）》 CAS 2017年第1期100-102,共3页

通过曲面拟合算法推导出了硅压阻式压力传感器的待定常系数的拟合方程。并利用MATLAB软件计算得到拟合方程的常系数,最后给出了确定常系数的拟合方程。曲面拟合算法得到的线性的P和U方程很好地消除了二次项所导致的偏差,成功地解决了硅... 通过曲面拟合算法推导出了硅压阻式压力传感器的待定常系数的拟合方程。并利用MATLAB软件计算得到拟合方程的常系数,最后给出了确定常系数的拟合方程。曲面拟合算法得到的线性的P和U方程很好地消除了二次项所导致的偏差,成功地解决了硅压阻式压力传感器温度的响应问题。 展开更多

关键词 曲面拟合算法 硅压阻式压力传感器 拟合方程

在线阅读 下载PDF 职称材料

压阻式压力传感器灵敏度与线性度的仿真方法 被引量：9

4

作者 韩锐锐 张兆华 +2 位作者 任天令 林惠旺 刘理天 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2012年第2期96-101,123,共7页

灵敏度和线性度是压力传感器最重要的两个性能指标。为了制作出能够满足实际应用需求的压力传感器,必需探索出一种压力传感器灵敏度和线性度的有效仿真方法。提供了一种基于对压阻式压力传感器薄膜表面应力的有限元分析(FEA)和路径积分... 灵敏度和线性度是压力传感器最重要的两个性能指标。为了制作出能够满足实际应用需求的压力传感器,必需探索出一种压力传感器灵敏度和线性度的有效仿真方法。提供了一种基于对压阻式压力传感器薄膜表面应力的有限元分析(FEA)和路径积分的仿真方法,从而实现了在满量程范围内不同压力值下对传感器电压输出值的精确估计,在此基础上对压力传感器的灵敏度和线性度进行了有效仿真。实验结果验证了该方法的精确性:传感器样品的灵敏度测试值为42.462～44.460 mV/MPa,与仿真值之间的相对误差控制在3.3%以下,同时得到非线性低于0.16%的良好线性度以满足应用需求。 展开更多

关键词 灵敏度 线性度 压阻式压力传感器 有限元分析(FEA) 路径积分

在线阅读 下载PDF 职称材料

新型硅压阻式压力传感器的设计、制作与性能补偿研究 被引量：7

5

作者 王银 张加宏 +2 位作者 李敏 陈虎 冒晓莉 《电子器件》 CAS 北大核心 2019年第6期1371-1377,共7页

为兼顾高灵敏度与低非线性误差,针对性地设计和研究了一种量程为105 kPa的新型MEMS硅压阻式压力传感器,该传感器通过部分刻蚀SOI硅膜引入了凸起的压敏电阻和L形半岛结构。首先利用ANSYS有限元模拟仿真分析了传感器的特性、确定了其参数... 为兼顾高灵敏度与低非线性误差,针对性地设计和研究了一种量程为105 kPa的新型MEMS硅压阻式压力传感器,该传感器通过部分刻蚀SOI硅膜引入了凸起的压敏电阻和L形半岛结构。首先利用ANSYS有限元模拟仿真分析了传感器的特性、确定了其参数,然后通过MEMS工艺制作了压力传感器芯片并对其进行了封装与测试。实验结果表明,常温下MEMS硅压阻式压力传感器的灵敏度为0.056 mV/(V·kPa),非线性误差为±1.12%。最后采用最小二乘函数校正法对传感器进行了非线性校正和迟滞误差补偿,性能补偿后MEMS硅压阻式压力传感器在全量程范围内的整体误差小于±0.24%FS。 展开更多

关键词 MEMS压阻式压力传感器 灵敏度 有限元分析 非线性校正 迟滞误差补偿

在线阅读 下载PDF 职称材料

石墨烯/PDMS仿生银杏叶微结构柔性压阻式压力传感器 被引量：10

6

作者 李伊梦 侯晓娟 +1 位作者 张辽原 丑修建 《微纳电子技术》 北大核心 2020年第3期198-203,共6页

柔性压阻式压力传感器是可穿戴健康监测系统和人机交互设备的重要组成部分。在实际应用中,对具有高灵敏度和宽线性范围的压阻式压力传感器的需求迫切。以石墨烯油墨为功能层、聚二甲基硅氧烷(PDMS)为柔性材料,设计并制备了具有仿生银杏... 柔性压阻式压力传感器是可穿戴健康监测系统和人机交互设备的重要组成部分。在实际应用中,对具有高灵敏度和宽线性范围的压阻式压力传感器的需求迫切。以石墨烯油墨为功能层、聚二甲基硅氧烷(PDMS)为柔性材料,设计并制备了具有仿生银杏叶微结构的柔性压力传感器。利用扫描电子显微镜(SEM)表征了传感器的表面形貌。结果表明,仿生银杏叶表面的微结构包括平行叶脉和各种形状不一的凸起。该传感器具有1.56 kPa-1的高灵敏度和22.6 Pa^20 kPa的宽线性范围,当施加不同的载荷时有明显的台阶现象,并且可以在10000次的循环压力测试下保持稳定良好的性能。传感器的响应时间缩短至80 ms左右。此外,该压阻式压力传感器可用于检测人体关节的运动,表明其在健康监测和电子皮肤中应用潜力巨大。 展开更多

关键词 压阻式压力传感器 仿生银杏叶微结构 聚二甲基硅氧烷(PDMS) 石墨烯油墨 柔性材料

在线阅读 下载PDF 职称材料

一种硅压阻式压力传感器温度补偿算法及软件实现 被引量：9

7

作者 刘永涛 徐大诚 郭述文 《现代电子技术》 2013年第12期18-20,24,共4页

硅压阻式压力传感器的零点温度漂移和灵敏度温度漂移是影响传感器性能的主要因素之一,如何能使该类误差得到有效补偿对于提高其性能很有意义。通过对硅压阻式压力传感器建立高阶温度补偿模型进行温度误差补偿是一种有效的方法,并在该模... 硅压阻式压力传感器的零点温度漂移和灵敏度温度漂移是影响传感器性能的主要因素之一,如何能使该类误差得到有效补偿对于提高其性能很有意义。通过对硅压阻式压力传感器建立高阶温度补偿模型进行温度误差补偿是一种有效的方法,并在该模型基础上给出了拟合系数计算方法,并用Matlab GUI软件来实现温度补偿系数计算,进而实现传感器输出的动态温补,达到了很好的输出线性性。实验结果表明,补偿后传感器输出的非线性误差小于0.5%F.S。 展开更多

关键词 硅压阻式压力传感器 温度补偿系数 温度补偿算法 温度补偿模型

在线阅读 下载PDF 职称材料

扩散硅压阻式压力传感器非线性误差纠正方法 被引量：6

8

作者 杨秋菊 王彤 《哈尔滨工程大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第3期466-472,共7页

针对扩散硅压阻式压力传感器非线性误差纠正易受到误差传递算法的影响,导致纠正后最大相对波动较高的问题,本文提出基于恢复函数的压力传感器非线性误差纠正方法。采集扩散硅压阻式压力传感器信号数据,去除噪音信号,以恢复函数为基础,... 针对扩散硅压阻式压力传感器非线性误差纠正易受到误差传递算法的影响,导致纠正后最大相对波动较高的问题,本文提出基于恢复函数的压力传感器非线性误差纠正方法。采集扩散硅压阻式压力传感器信号数据,去除噪音信号,以恢复函数为基础,设计传感器的非线性误差传递算法;利用支持向量机算法构建非线性误差校正模型,再通过遗传算法优化模型参数,实现误差的良好补偿。实验结果表明:本文所提出的纠正方法应用效果与文献相比,传感器的最大相对波动分别降低了13.53%与7.08%,具有更优的应用性能,值得推广。 展开更多

关键词 恢复函数 扩散硅压阻式压力传感器 非线性误差 校正模型 支持向量机 遗传算法 测量误差分布 补偿

在线阅读 下载PDF 职称材料

一种压阻式压力传感器全温区温度补偿方法 被引量：9

9

作者 田青林 陈红亮 +2 位作者 陈洪敏 李粮 闫文吉 《中国测试》 CAS 北大核心 2021年第1期49-53,共5页

针对压阻式压力传感器因热零点漂移、热灵敏度改变以及热迟滞效应引起的误差,提出一种压阻式压力传感器全温区温度补偿方法。该方法是在温升和温降全温区样本采集的数据基础上,采用最小二乘法曲面拟合原理对压阻式压力传感器进行数字补... 针对压阻式压力传感器因热零点漂移、热灵敏度改变以及热迟滞效应引起的误差,提出一种压阻式压力传感器全温区温度补偿方法。该方法是在温升和温降全温区样本采集的数据基础上,采用最小二乘法曲面拟合原理对压阻式压力传感器进行数字补偿。通过对传感器进行实验标定和误差分析,并与常用的单一温升样本采集并进行数字补偿的方法进行对比,结果表明该方法能有效降低传感器因热迟滞效应引入的误差,提高传感器在全温区内标定点和非标定点的测试精度。同时,该方法校准参数少,计算量相对较小,对于硬件要求较低,达到在性能和成本之间的良好平衡,是一种实用性较强的在线补偿方法,具有较强的工程应用价值。 展开更多

关键词 压阻式压力传感器 温度补偿 全温区 最小二乘法曲面拟合 热迟滞效应

在线阅读 下载PDF 职称材料

压阻式微型压力传感器敏感结构设计 被引量：11

10

作者 易选强 苑伟政 +2 位作者 马炳和 陈爽 邓进军 《西北工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期782-786,共5页

在设计某一压阻式压力传感器特定敏感结构的过程中,对出现的技术难题进行了研究。文中的第2部分设计了弹性膜片的典型结构;第3部分设计了压敏电阻的尺寸以及阻值;第4部分使用ANSYS软件分析了弹性膜片在不同压力作用下的应力、应变分布,... 在设计某一压阻式压力传感器特定敏感结构的过程中,对出现的技术难题进行了研究。文中的第2部分设计了弹性膜片的典型结构;第3部分设计了压敏电阻的尺寸以及阻值;第4部分使用ANSYS软件分析了弹性膜片在不同压力作用下的应力、应变分布,确定了压敏电阻在弹性膜片上的最佳分布位置。分析结果表明:压敏电阻距离弹性膜片边缘越近,灵敏度越高。同时计算了不同外界压力载荷和不同位置条件下压敏电阻的电压输出变化情况,提取了敏感膜片的固有频率和响应时间。文中响应时间曲线表明:所设计的微型压阻式压力传感器响应速度快,稳定时间仅为1.0×10^(-5)s。 展开更多

关键词 传感器 微机电系统 微型压阻式压力传感器 膜片

在线阅读 下载PDF 职称材料

基于PSO-BP温度补偿算法的智能压力传感器设计

11

作者 张凌峰 丁晓宇 潘慕绚 《南京航空航天大学学报(自然科学版)》 北大核心 2025年第1期160-168,共9页

压力信号是表征航空发动机工作性能的重要物理量。本文针对压力信号的高精度测量需求,提出了一种基于PSO-BP温度补偿算法的智能压力传感器设计方案。选取微电子机械系统(Micro-electro-mechanical system,MEMS)压阻式传感器作为信号感知... 压力信号是表征航空发动机工作性能的重要物理量。本文针对压力信号的高精度测量需求,提出了一种基于PSO-BP温度补偿算法的智能压力传感器设计方案。选取微电子机械系统(Micro-electro-mechanical system,MEMS)压阻式传感器作为信号感知端,通过模块化思想设计智能压力传感器的硬件和软件构架。针对压力传感器敏感元件因温度漂移造成的精度偏差问题,提出了一种基于PSO-BP神经网络的嵌入式温度补偿算法以提升测量精度。集成智能传感器软硬件功能,为验证智能传感器在全工况范围内的精度,进行多种压力、温度下的压力测量实验。结果表明,本文设计的智能压力传感器经补偿后满量程误差最大值为0.44%(量程范围为0~4 MPa),相比于传统插值法、多项式拟合法等温度补偿算法,精度提升至少20%,且算法单次仅耗时2μs,具有工程应用价值。 展开更多

关键词 航空发动机 MEMS压阻式智能压力传感器 模数转换驱动 温度补偿 PSO-BP神经网络

在线阅读 下载PDF 职称材料

硅压力传感器芯片设计分析与优化设计 被引量：13

12

作者 赵艳平 丁建宁 +2 位作者 杨继昌 王权 薛伟 《微纳电子技术》 CAS 2006年第9期438-441,共4页

用弹性力学和板壳力学理论分析了半导体硅压阻式压力传感器方形膜片的受力分布,为力敏电阻在应变膜上的布置提供依据;利用有限元分析方法和借助ANSYS仿真软件,对微型硅压阻式高温压力传感器应变膜进行了一系列的分析和计算机模拟,探讨... 用弹性力学和板壳力学理论分析了半导体硅压阻式压力传感器方形膜片的受力分布,为力敏电阻在应变膜上的布置提供依据;利用有限元分析方法和借助ANSYS仿真软件,对微型硅压阻式高温压力传感器应变膜进行了一系列的分析和计算机模拟,探讨了传感器方形应变膜简化应力模型的合理性以及温度对应力差分布的影响,得到了直观可靠的结果。 展开更多

关键词 压阻式压力传感器 力敏电阻 芯片 优化设计

在线阅读 下载PDF 职称材料

一种微型压力传感器调理电路的优化设计 被引量：10

13

作者 任勇峰 程心怡 贾兴中 《电子设计工程》 2021年第17期50-54,共5页

压阻式压力传感器的原始输出信号属于微弱信号,容易受到噪声信号的干扰,并且不利于后续的采集和利用。同时在测试过程中,容易受到温度的影响。针对这些特点,设计了基于压阻式敏感元件的信号调理电路。方案一通过对供电、放大、滤波等模... 压阻式压力传感器的原始输出信号属于微弱信号,容易受到噪声信号的干扰,并且不利于后续的采集和利用。同时在测试过程中,容易受到温度的影响。针对这些特点,设计了基于压阻式敏感元件的信号调理电路。方案一通过对供电、放大、滤波等模块电路的设计,实现对压力信号的调理。方案二选用美信公司高度集成的传感器调理芯片MAX1452对压力信号进行放大、校准及温度补偿等。通过对两种方案进行试验,结果表明两种调理电路均可得到平稳的压力信号。但方案二在温度补偿方面更具优势,并且其电路板尺寸为20 mm×20 mm,更加适合于微小型封装、高精度的压力传感器结构。 展开更多

关键词 压阻式压力传感器 信号调理 恒流源 MAX1452 微型 温度补偿

在线阅读 下载PDF 职称材料

MEMS压力传感器及其应用 被引量：11

14

作者 颜重光 《电子产品世界》 2009年第6期58-60,共3页

简述MEMS压力传感器的结构与工作原理,并探讨了其应用、压力传感器Die的设计及生产成本分析,覆盖了从系统应用到销售链。

关键词 MEMS压力传感器 惠斯顿电桥 硅薄膜应力杯 硅压阻式压力传感器 硅电容式压力传感器

在线阅读 下载PDF 职称材料

三维织物基石墨烯柔性压力传感器设计及应用 被引量：4

15

作者 张高晶 王冰心 +3 位作者 刘迎春 郭肖青 曲丽君 田明伟 《针织工业》 北大核心 2021年第4期49-54,共6页

为更好地将石墨烯改性三维织物应用于智能纺织品,以三维织物作为基材,石墨烯溶液作为活性材料,组装具有三维结构的柔性压阻式压力传感器阵列。并将传感器阵列与控制器、计算机、手机蓝牙结合成电子智能纺织品。控制器以STM32F103C8T6单... 为更好地将石墨烯改性三维织物应用于智能纺织品,以三维织物作为基材,石墨烯溶液作为活性材料,组装具有三维结构的柔性压阻式压力传感器阵列。并将传感器阵列与控制器、计算机、手机蓝牙结合成电子智能纺织品。控制器以STM32F103C8T6单片机作为主单元,连接外部设备,结合蓝牙,实现数据采集与无线传输。整个系统在重物识别、人体静态体征测试方面具有独特优势和广阔应用前景。 展开更多

关键词 柔性压力传感器 压阻式压力传感器 石墨烯 三维织物 智能纺织品 蓝牙 无线传输

在线阅读 下载PDF 职称材料

一种MEMS压力传感器温度补偿方法 被引量：3

16

作者 刘强 魏贵玲 +3 位作者 黄晶 郭文欣 何香君 孙申厚 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第6期828-832,共5页

针对微机电系统(MEMS)压阻式压力传感器受环境温度影响产生温度漂移的问题,该文分析了常用的温度补偿方法,提出了一种基于粒子群优化-径向基函数(PSO-RBF)的压力传感器温度补偿模型,结合标定实验采集的样本数据,建立了标定压力同敏感元... 针对微机电系统(MEMS)压阻式压力传感器受环境温度影响产生温度漂移的问题,该文分析了常用的温度补偿方法,提出了一种基于粒子群优化-径向基函数(PSO-RBF)的压力传感器温度补偿模型,结合标定实验采集的样本数据,建立了标定压力同敏感元件输出电压和温度的非线性映射关系,实现了温度补偿效果。结果表明,与传统的最小二乘法、三次样条插值法、标准RBF、粒子群优化反向传输神经网络(PSO-BP)、核极限学习机(ELM)神经网络等方法相比,该算法具有更好的补偿预测效果,且对样本数据不需要归一化处理,具有良好的工程实践意义。 展开更多

关键词 微机电系统(MEMS) 压阻式压力传感器 PSO-RBF 温度补偿 归一化

在线阅读 下载PDF 职称材料

MEMS压力传感器在汽车上的应用 被引量：2

17

作者 滕敏 《河南科技》 2010年第10期68-69,共2页

汽车性能的不断提升得益于汽车电子的不断发展，而起核心作用的元件是传感器。MEMS堰力传感器广泛应用于汽车电子中，如TPMS压力传感器、进气歧管压力传感器、大气压力传感器、发动机机油压力传感器、安全气囊用压力传感器等。MEMS压力... 汽车性能的不断提升得益于汽车电子的不断发展，而起核心作用的元件是传感器。MEMS堰力传感器广泛应用于汽车电子中，如TPMS压力传感器、进气歧管压力传感器、大气压力传感器、发动机机油压力传感器、安全气囊用压力传感器等。MEMS压力传感器有硅压阻式压力传感器和硅电容式压力传感器，两者都是在硅片上生成的微机械电子传感器。本文中， 展开更多

关键词 机油压力传感器 MEMS 汽车电子 硅压阻式压力传感器 应用 电容式压力传感器 电子传感器 汽车性能

在线阅读 下载PDF 职称材料

多层结构柔性压力传感织物的设计与性能

18

作者 陈奕汛 吴倩 +1 位作者 李倩 王进美 《纺织科技进展》 CAS 2024年第2期14-17,22,共5页

智能可穿戴技术因其能够实时交互穿戴者与环境之间的信息而具有巨大发展潜力,在柔性可穿戴设备中,柔性压力传感器是用于压力检测的关键器件。使用导电材料MWCNTs与PEDOT:PSS制备3种不同的传感器敏感层,以镍铜织物作为传感器的上下电极,... 智能可穿戴技术因其能够实时交互穿戴者与环境之间的信息而具有巨大发展潜力,在柔性可穿戴设备中,柔性压力传感器是用于压力检测的关键器件。使用导电材料MWCNTs与PEDOT:PSS制备3种不同的传感器敏感层,以镍铜织物作为传感器的上下电极,制备一种具有多层结构的柔性压阻式压力传感器,并对传感器性能进行测试。结果表明,PEDOT:PSS敏感层在0~5 kPa压强范围内,灵敏度高达0.168 12 kPa-1,具有较快的响应时间与恢复时间,以及较好的可重复性。该传感器性能良好,可以应用在柔性可穿戴设备中。 展开更多

关键词 柔性压力传感器 压阻式压力传感器 MWCNTS PEDOT:PSS 多层结构

在线阅读 下载PDF 职称材料

冲击波超压传感器研究现状 被引量：8

19

作者 刘东来 王伟魁 +2 位作者 李文博 彭泳卿 金小锋 《遥测遥控》 2019年第5期7-15,共9页

冲击波超压传感器是测量爆炸冲击波压力特征参数的关键设备,目前一般采用压阻式和压电式传感器。我国近年来对于冲击波超压传感器的研究取得了一定的进展,但是相对于国外来说还是较为落后,在精度、可靠性、稳定性等方面还存在差距。从... 冲击波超压传感器是测量爆炸冲击波压力特征参数的关键设备,目前一般采用压阻式和压电式传感器。我国近年来对于冲击波超压传感器的研究取得了一定的进展,但是相对于国外来说还是较为落后,在精度、可靠性、稳定性等方面还存在差距。从冲击波超压传感器发展历程、压阻式压力传感器与压电式压力传感器各自优缺点及国内外研究现状等方面进行了分析和总结,并对各种冲击波超压传感器的性能进行了对比,探讨国内传感器相较于国外典型传感器存在差距的原因。 展开更多

关键词 冲击波超压 压阻式压力传感器 压电式压力传感器

在线阅读 下载PDF 职称材料

膏体输送管道压力监测研究

20

作者 张卫东 王兴雨 +1 位作者 林超 时晓东 《煤矿现代化》 2015年第4期48-49,共2页

针对膏体材料泵送充填开采过程中输送管道容易出现堵塞、压力失稳等问题,研究开发了压力监测系统、测压管以及压阻式压力传感器,在1861工作面膏体输送管道设置6个压力监测点,实现了管道压力实时监测,及早发现管道堵塞故障和预警管道破... 针对膏体材料泵送充填开采过程中输送管道容易出现堵塞、压力失稳等问题,研究开发了压力监测系统、测压管以及压阻式压力传感器,在1861工作面膏体输送管道设置6个压力监测点,实现了管道压力实时监测,及早发现管道堵塞故障和预警管道破损危险,得出管道堵塞压力报警值为4MPa。 展开更多

关键词 膏体输送管道 压力监测 测压管 压阻式压力传感器

在线阅读 下载PDF 职称材料