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硅压阻式传感器性能影响因素的研究
被引量：
7
1
作者
朱目成
夏季
+1 位作者
张立红
刘强
《兵工自动化》
2000年第2期45-47,51,共4页
对影响硅压阻式传感器性能的诸因素进行分析，并对圆形力敏器件的灵敏度进行了剖析，给出了部分实验数据与理论分析。
关键词
压阻式传感器
灵敏度
分析
研究
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职称材料
基于最小二乘支持向量机的硅压阻式传感器温度补偿
被引量：
23
2
作者
杨遂军
康国炼
叶树亮
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第4期500-505,共6页
针对硅压阻式传感器灵敏度和零点温度漂移大、硬件补偿电路效果不佳的问题,提出最小二乘支持向量机方法对其温度漂移进行补偿。首先分析了经硬件补偿后的硅压阻式传感器的温度漂移特性,在整个检测范围内选取均匀分布的温度、压力数据作...
针对硅压阻式传感器灵敏度和零点温度漂移大、硬件补偿电路效果不佳的问题,提出最小二乘支持向量机方法对其温度漂移进行补偿。首先分析了经硬件补偿后的硅压阻式传感器的温度漂移特性,在整个检测范围内选取均匀分布的温度、压力数据作为模型输入,经预处理后对输出数值进行训练,并运用网格搜索法和交叉确认法优化模型的惩罚因子和正则化参数,建立了传感器温度补偿模型。实验结果表明,基于最小二乘支持向量机的温度补偿算法在0-100℃温度范围内把传感器输出综合精度从3.2%FS提高到0.25%FS,进一步提高了传感器的精度和温度使用范围,具有较高的实用价值。
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关键词
硅
压阻式传感器
温度漂移
温度补偿
最小二乘支持向量机
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职称材料
一种低功耗MEMS压阻式传感器的动态测试系统
被引量：
2
3
作者
刘峰
金磊
+2 位作者
牛少华
刘海鹏
郭建昌
《北京理工大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第2期215-220,共6页
为了准确分析侵彻过载信号,提出了一种低功耗、高过载的动态测试系统,该系统可以承受2×10~5g过载信号,为了实现采样率高、低功耗、抗冲击的特点,系统采用硅晶振作为主振荡器,并选用低功耗CMOS芯片,当系统开始工作时,处理器进入深...
为了准确分析侵彻过载信号,提出了一种低功耗、高过载的动态测试系统,该系统可以承受2×10~5g过载信号,为了实现采样率高、低功耗、抗冲击的特点,系统采用硅晶振作为主振荡器,并选用低功耗CMOS芯片,当系统开始工作时,处理器进入深度休眠模式,当进入发射模式时开始对外围电路供电.当弹体发射信号时,采用滞回触发电路来触发启动采集系统开始采集.实验证明,采用此方案,延长了弹体生存周期,并能够精确采集到空气炮的过载信号.
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关键词
MEMS
压阻式传感器
弹载
抗冲击
过载
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职称材料
宽温度压阻式传感器的热灵敏度漂移补偿
被引量：
2
4
作者
鞠文斌
于洪峰
吴亚林
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2002年第5期43-45,共3页
介绍了压阻式传感器的灵敏度温度补偿原理 ,给出了一种在宽温度范围内采用了分段补偿方式进行灵敏度温度补偿的方法 ,实现了宽温度范围内较高的补偿准确度。这里介绍的方案是通过数 -模组合硬件电路实现分段补偿 ,具体方案是基于目前国...
介绍了压阻式传感器的灵敏度温度补偿原理 ,给出了一种在宽温度范围内采用了分段补偿方式进行灵敏度温度补偿的方法 ,实现了宽温度范围内较高的补偿准确度。这里介绍的方案是通过数 -模组合硬件电路实现分段补偿 ,具体方案是基于目前国内外OEM硅压力传感器厂商采用的固定电阻器并联补偿法。技术途径是设计一组温控开关电路来控制并联电阻器是否接入 ,温度信号来源于恒流源供电下的传感器桥压信号。此方法硬件电路及补偿计算均较简单 ,适用于较宽的温度环境 ,性能价格比合理。同时便于扩展为多段补偿以实现高补偿准确度 ,并且传感器在快速温变环境下工作时温度跟踪误差小。
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关键词
宽温度
压阻式传感器
热灵敏度
漂移补偿
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职称材料
静压桩贯入试验硅压阻式传感器的研制及应用
被引量：
1
5
作者
王永洪
张明义
+2 位作者
张春巍
白晓宇
苗德滋
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2017年第6期843-847,共5页
根据静压桩贯入过程中桩端阻力、桩土界面土压力和孔隙水压力测试对传感器的要求,介绍了硅压阻式压力传感器的压阻效应和工作原理。针对尝试采用的模型桩硅压阻式传感器安装工艺,研制了两种出现方式的传感器,并对贯入过程中桩端阻力、...
根据静压桩贯入过程中桩端阻力、桩土界面土压力和孔隙水压力测试对传感器的要求,介绍了硅压阻式压力传感器的压阻效应和工作原理。针对尝试采用的模型桩硅压阻式传感器安装工艺,研制了两种出现方式的传感器,并对贯入过程中桩端阻力、桩土界面土压力和孔隙水压力进行了测试。试验结果表明,硅压阻式压力传感器成活率高达100%,模型桩硅压阻式传感器安装工艺可行,测试结果准确、可靠。硅压阻式传感器可以应用到静压桩贯入模型试验中。
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关键词
硅
压阻式传感器
压
阻
效应
静
压
桩
贯入
模型试验
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职称材料
压阻式传感器热灵敏度漂移的变压源补偿
被引量：
6
6
作者
吴亚林
赵扬
《传感器技术》
CSCD
2000年第3期38-40,共3页
介绍了一种压阻式传感器灵敏度温度补偿的基本原理 ,并以加速度传感器为例 ,详细阐述了一种实用的变压源补偿电路。文章分析了整个温控电压源电路的温度特性 。
关键词
压阻式传感器
变
压
源补偿
热灵敏度漂移
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职称材料
纳机电探针阵列与压阻式传感器集成技术研究
被引量：
1
7
作者
杨尊先
程保罗
李昕欣
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2004年第1期73-76,共4页
给出了纳机电探针阵列与压阻式传感器集成一维阵列器件结构及工作原理;通过理论计算得到该结构的一些主要的特性参数,计算结果与ANSYS模拟结果相符合;并运用微纳机械加工技术制造出该器件。该器件将加热电阻器、压阻式传感器和硅基针尖...
给出了纳机电探针阵列与压阻式传感器集成一维阵列器件结构及工作原理;通过理论计算得到该结构的一些主要的特性参数,计算结果与ANSYS模拟结果相符合;并运用微纳机械加工技术制造出该器件。该器件将加热电阻器、压阻式传感器和硅基针尖集成于在同一超薄微细悬臂梁,通过楔形开孔的机械切断,避免了加热电阻器高温处的PN结在高温下失去电隔离作用。室温下测得该器件加热电阻器的阻值为500～600Ω,压阻式传感器的力敏电阻器的阻值为6～8kΩ。
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关键词
压阻式传感器
纳机电探针
集成
纳米探针
硅
纳机电系统
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职称材料
检测棉条用压阻式传感器
8
作者
赵玉龙
蒋庄德
赵立波
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2001年第8期51-52,共2页
提出了适用于纺织机械中的并条机、梳棉机等前纺设备的棉条在线检测及纺织质量检测的一种压阻式传感器。给出了传感器的结构模型和实测数据。在棉条质量检测上 ,具有精度高、线形度好。
关键词
压阻式传感器
榭条
纺织质量
检测
硅集成电路
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职称材料
厚膜压阻式传感器用钌系电阻器导电性能研究
9
作者
陈建群
马以武
+1 位作者
唐力强
王正宏
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2006年第1期33-35,38,共4页
探讨了厚膜压阻式传感器用钌系电阻器的灵敏特性和提高钌酸盐厚膜力敏电阻器灵敏系数S的方法。实验证明:钌酸盐厚膜电阻器的灵敏系数与电阻材料的物化特性、工艺条件密切相关。通过对RuO2脱水温度、合成B i2Ru2O7固相反应温度和时间控制...
探讨了厚膜压阻式传感器用钌系电阻器的灵敏特性和提高钌酸盐厚膜力敏电阻器灵敏系数S的方法。实验证明:钌酸盐厚膜电阻器的灵敏系数与电阻材料的物化特性、工艺条件密切相关。通过对RuO2脱水温度、合成B i2Ru2O7固相反应温度和时间控制,并进行导电相与玻璃相粒径大小的有效搭配以及纳米掺杂改性,提高厚膜力敏电阻器的灵敏系数,其值可以达到17左右,达到国际先进水平。
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关键词
厚膜
压阻式传感器
导电性能
掺杂改性
灵敏系数
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职称材料
压阻式传感器多路温度补偿系统的设计
被引量：
5
10
作者
彭军皓
蒋庆
+1 位作者
汤建斌
周乔军
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2014年第8期1-3,9,共4页
为解决压阻式传感器存在的温度漂移问题,设计了一种基于MAX1452信号调理芯片的多路自动温度补偿系统.介绍了传感器多路自动温度补偿系统的整体结构,着重阐述了系统的软硬件设计和自动补偿过程.利用设计的多路校准模块,系统一次可以补偿8...
为解决压阻式传感器存在的温度漂移问题,设计了一种基于MAX1452信号调理芯片的多路自动温度补偿系统.介绍了传感器多路自动温度补偿系统的整体结构,着重阐述了系统的软硬件设计和自动补偿过程.利用设计的多路校准模块,系统一次可以补偿80只传感器.实验结果表明：整个系统工作稳定,传感器经过补偿以后在-30～90℃温度范围内稳定特性良好且综合误差不大于0.4％.
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关键词
压阻式传感器
温度漂移
多路自动补偿
MAX1452
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职称材料
三维非织造材料基压阻式传感器的制备与性能
被引量：
3
11
作者
李玲
刘庆生
+2 位作者
李大伟
李昊轩
邓炳耀
《服装学报》
CAS
2023年第6期502-507,520,共7页
以聚乙酸乙烯酯(PVAc)为分散剂和黏合剂,将碳纳米管(CNT)均匀地分散在乙酸乙酯溶剂中,制得CNT分散液,同时对三维气流成网非织造材料(NW)进行处理,制得三维非织造材料基压阻式传感器(NW-PVAc-CNT);对NW-PVAc-CNT压阻式传感器的传感性能...
以聚乙酸乙烯酯(PVAc)为分散剂和黏合剂,将碳纳米管(CNT)均匀地分散在乙酸乙酯溶剂中,制得CNT分散液,同时对三维气流成网非织造材料(NW)进行处理,制得三维非织造材料基压阻式传感器(NW-PVAc-CNT);对NW-PVAc-CNT压阻式传感器的传感性能、透气性能以及潜在应用进行探讨。研究表明:该传感器在0~100 kPa工作范围内的灵敏度为1.07714,电流-电压曲线呈线性关系,并且在不同水平外力压缩-释放下的电流响应都具有良好的重复性,在200次的压缩-释放循环中的稳定性良好;NW-PVAc-CNT孔隙率为97.40%,透气率高达2970 mm/s;该传感器对手指按压、手指和手腕弯曲活动均能够响应,并可监测人体活动,在智能服装方面具有良好的应用价值。
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关键词
三维气流成网非织造材料
聚乙酸乙烯酯
碳纳米管
压阻式传感器
透气
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职称材料
微压阻式传感器有限元模拟及线性度优化设计
被引量：
1
12
作者
李文明
陈春俊
周丽名
《机械设计与制造》
北大核心
2018年第1期152-155,共4页
薄膜结构微压阻式传感器在提高灵敏度过程中容易引入非线性误差,导致传感器输出性能变差。通过分析微压阻式传感器核心敏感元件结构,利用Ansys软件建立硅杯薄膜有限元分析模型,并通过弹性力学方法对有限元模拟的精确度进行验证。针对薄...
薄膜结构微压阻式传感器在提高灵敏度过程中容易引入非线性误差,导致传感器输出性能变差。通过分析微压阻式传感器核心敏感元件结构,利用Ansys软件建立硅杯薄膜有限元分析模型,并通过弹性力学方法对有限元模拟的精确度进行验证。针对薄膜结构传感器非线性误差随灵敏度提升而急剧增加的问题,为了提高传感器的线性性能,通过在敏感薄膜下方集成双岛结构,并分析优化岛长和岛宽等结构参数,得到了一种输出线性度优良的双岛结构传感器模型。模型输出结果表明:双岛结构挠度线性度为0.8%,相比薄膜结构8.6%有了较大的改善,电压输出线性度为0.9%,能满足使用要求,且实现了高灵敏度下线性输出优良的传感器模型设计。
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关键词
微
压阻式传感器
有限元
线性度
敏感薄膜
双岛结构
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职称材料
用硅压阻式传感器的六孔测速探头及其应用
13
作者
陈轩
张训时
《仪器仪表学报》
EI
CAS
1984年第3期44-51,共8页
硅压阻式传感器是一种新型压力传感器,它具有体积小,频响高等优点。作者利用硅压阻式传感器制作了六孔测速探头,它可同时测量水流流场的总水压力、静水压力、流速和流向等。利用该探头对溢流坝模型水流进行实测表明,硅压阻式传感器六孔...
硅压阻式传感器是一种新型压力传感器,它具有体积小,频响高等优点。作者利用硅压阻式传感器制作了六孔测速探头,它可同时测量水流流场的总水压力、静水压力、流速和流向等。利用该探头对溢流坝模型水流进行实测表明,硅压阻式传感器六孔测速探头性能稳定,操作简便,是测量水流运动参量的一种新型仪器。
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关键词
压阻式传感器
压
力
传感器
水流运动
水
压
力
频响
标定实验
方向角
时均流速
压
阻
传感器
新型仪器
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职称材料
利用有限元法的陶瓷压阻式传感器仿真分析与优化
14
作者
李结冻
黄忠毅
毛磊
《现代制造工程》
CSCD
北大核心
2011年第11期82-85,共4页
阐述了陶瓷压阻式传感器的结构组成和工作原理。利用有限元ANSYS11.0软件对该陶瓷压阻式传感器进行仿真分析,分析结果表明,该陶瓷压阻式传感器线性度较低,灵敏度较差;随后对厚膜电阻布片位置和弹性膜片的径厚比进行优化,通过计算得出优...
阐述了陶瓷压阻式传感器的结构组成和工作原理。利用有限元ANSYS11.0软件对该陶瓷压阻式传感器进行仿真分析,分析结果表明,该陶瓷压阻式传感器线性度较低,灵敏度较差;随后对厚膜电阻布片位置和弹性膜片的径厚比进行优化,通过计算得出优化后陶瓷压阻式传感器的线性度提高0.23%,灵敏度提高20.5mV/MPa。这些分析为此类传感器的设计提供了理论依据。
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关键词
陶瓷
压阻式传感器
有限元
线性度
灵敏度
优化
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职称材料
半导体压阻式传感器的应用
被引量：
5
15
作者
陈颜军
《煤炭工程》
北大核心
2005年第4期71-72,共2页
传感器在生产和生活的各个方面应用广泛 ,而半导体压阻式传感器以其优越的性能成为现代测试领域的主角。在煤矿安全生产中 ,更需要传感器全面监测各种参数。如 :瓦斯监测、一氧化碳监测、二氧化碳监测、矿井压力监测、采煤机工作情况、...
传感器在生产和生活的各个方面应用广泛 ,而半导体压阻式传感器以其优越的性能成为现代测试领域的主角。在煤矿安全生产中 ,更需要传感器全面监测各种参数。如 :瓦斯监测、一氧化碳监测、二氧化碳监测、矿井压力监测、采煤机工作情况、皮带运输机的运转情况等。
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关键词
半导体
压阻式传感器
灵敏度
分辨率
半导体
传感器
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职称材料
三轴压阻式传感器横向效应的研究
16
作者
续晋峰
张志杰
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2009年第3期33-35,共3页
研究了霍普金斯杆冲击方法和自由落体冲击方法检测高量程微机械三轴压阻式传感器的横向效应,即分别在x轴、y轴的正向或负向作主轴时,检测三轴压阻式传感器其他2个方向感受到的g值大小和方向。依据结构设计分析应该没有横向效应,然而,在...
研究了霍普金斯杆冲击方法和自由落体冲击方法检测高量程微机械三轴压阻式传感器的横向效应,即分别在x轴、y轴的正向或负向作主轴时,检测三轴压阻式传感器其他2个方向感受到的g值大小和方向。依据结构设计分析应该没有横向效应,然而,在实验的测量中都得出大的横向效应,尤其是在z轴作为横向输出轴时得到较大的横向效应,而x,y轴作为横向输出轴时横向效应相对较小。试验结果表明:一定的主轴输出脉冲方向确定一定的横向输出轴的脉冲方向。
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关键词
三轴
压阻式传感器
横向效应
脉冲方向
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职称材料
固态压阻式传感器及其应用
被引量：
1
17
作者
鲍良钝
《水文》
1986年第5期34-37,58,共5页
一、传感器概述能把物理量或化学量转换为与之有确定对应关系的电量输出的完整测量系统,称之为传感器。它是由敏感元件、传感元件和测量电路等三部分组成。传感器按用途分,有下述种类:力传感器<含压力、拉力、差压、加速度……)、光...
一、传感器概述能把物理量或化学量转换为与之有确定对应关系的电量输出的完整测量系统,称之为传感器。它是由敏感元件、传感元件和测量电路等三部分组成。传感器按用途分,有下述种类:力传感器<含压力、拉力、差压、加速度……)、光传感器、热传感器和磁传感器等等。传感器按其原理可分为。
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关键词
压
阻
式
压
力
传感器
差
压
传感器
压
力
传感器
压阻式传感器
压
阻
效应
大气
压
力
空气
压
力
气体
压
力
测量精度
半导体
压
力
传感器
含沙量
含沙浓度
浮子
式
水位计
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职称材料
压敏电阻位置对压阻式压力传感器输出影响研究
18
作者
郝一鸣
雷程
+4 位作者
王涛龙
余建刚
冀鹏飞
闫施锦
梁庭
《仪表技术与传感器》
北大核心
2025年第5期10-14,共5页
随着MEMS技术的快速发展,压阻式压力传感器在微型化进程中面临性能挑战。文中采用有限元模拟分析方法,研究了膜片尺寸和压敏电阻的布局对传感器输出的影响。芯片尺寸固定为1 100μm×700μm×400μm。结果表明:方形膜片边长与...
随着MEMS技术的快速发展,压阻式压力传感器在微型化进程中面临性能挑战。文中采用有限元模拟分析方法,研究了膜片尺寸和压敏电阻的布局对传感器输出的影响。芯片尺寸固定为1 100μm×700μm×400μm。结果表明:方形膜片边长与芯片宽度的比例小于4∶5时,最大应力随膜片边长的增加而变大。选取膜片尺寸为460μm×460μm×7.5μm,当压敏电阻置于敏感膜上时,输出电压随压敏电阻到膜片边缘距离的减小而增大。当平行于膜边电阻超过敏感膜边缘2μm、垂直于膜边电阻超过敏感膜边缘6μm时,芯片满量程输出最大。结果显示,膜片相对于芯片尺寸的比例以及压敏电阻的布局对压阻式压力传感器输出特性具有显著的影响,合理设计芯片结构,可以确保在压力传感器的微型化过程中实现高性能的目标。
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关键词
压
阻
式
压
力
传感器
有限元仿真
敏感膜尺寸
压
敏电
阻
满量程输出
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职称材料
固支结构对压阻式加速度传感器的影响
19
作者
邸瑜
王丙寅
+3 位作者
王志强
李婉华
李锐锐
梁庭
《传感器与微系统》
北大核心
2025年第9期17-20,共4页
针对MEMS加速度传感器发展进程中传统仿真模型因未充分考虑固支结构所带来的影响,致使限制了传感器的优化设计。为此,针对四端四梁MEMS压阻式加速度传感器,运用有限元仿真分析方法,研究不同封装约束方法及固支结构对其性能的影响。研究...
针对MEMS加速度传感器发展进程中传统仿真模型因未充分考虑固支结构所带来的影响,致使限制了传感器的优化设计。为此,针对四端四梁MEMS压阻式加速度传感器,运用有限元仿真分析方法,研究不同封装约束方法及固支结构对其性能的影响。研究发现,引入固支结构会造成压敏电阻路径应力约9%的偏差,不同封装方法对应力影响约1.8%。当固支结构宽度为400μm时,可在保证性能的同时,将整体结构尺寸缩小近32%,为微型化压阻式加速度传感器的设计制造提供了新思路与方法。
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关键词
压
阻
式
加速度
传感器
微型化
有限元仿真
固支结构
封装约束方法
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职称材料
恒压激励式压力传感器模拟补偿工艺效能提升
20
作者
陈海卫
陈仁军
高维烨
《传感器与微系统》
北大核心
2025年第8期120-123,127,共5页
硅压阻式压力传感器输出受温度变化影响。由于压力传感器实际工作环境的温度变化范围很大,需要采用温度补偿方法来抑制环境温度对传感器特性的影响。当前所采用的模拟式压力传感器调试工艺较为依赖人工操作,费时费力。本文给出了一种针...
硅压阻式压力传感器输出受温度变化影响。由于压力传感器实际工作环境的温度变化范围很大,需要采用温度补偿方法来抑制环境温度对传感器特性的影响。当前所采用的模拟式压力传感器调试工艺较为依赖人工操作,费时费力。本文给出了一种针对恒压激励下的硅压阻式压力传感器桌面模型补偿调试工艺,通过搭建补偿电路、元器件等桌面模型,以测试数据结合桌面模型计算的调试工艺提高压力传感器模拟补偿过程中的调试效率及合格率。1000余支压力传感器的验证结果表明,基于桌面模型计算的调试一次合格率大于99%、调试效率提升400%以上,过程能力指数(CPK)为1.77,具备较强的工程化推广前景。
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关键词
MEMS
硅
压
阻
式
压
力
传感器
模拟补偿
桌面模型计算
调试工艺
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职称材料
题名
硅压阻式传感器性能影响因素的研究
被引量：
7
1
作者
朱目成
夏季
张立红
刘强
机构
西南工学院机电工程系
洛阳工业高等专科学校
中国空气动力研究与发展中心
出处
《兵工自动化》
2000年第2期45-47,51,共4页
基金
中国工程物理研究院院外基金!98030413
文摘
对影响硅压阻式传感器性能的诸因素进行分析，并对圆形力敏器件的灵敏度进行了剖析，给出了部分实验数据与理论分析。
关键词
压阻式传感器
灵敏度
分析
研究
Keywords
Piezoresistive transducer
Sensitivity
Analysis
Research
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
基于最小二乘支持向量机的硅压阻式传感器温度补偿
被引量：
23
2
作者
杨遂军
康国炼
叶树亮
机构
中国计量大学工业与商贸计量技术研究所
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第4期500-505,共6页
基金
浙江省科技厅公益技术研究社发项目(2014C33114)
文摘
针对硅压阻式传感器灵敏度和零点温度漂移大、硬件补偿电路效果不佳的问题,提出最小二乘支持向量机方法对其温度漂移进行补偿。首先分析了经硬件补偿后的硅压阻式传感器的温度漂移特性,在整个检测范围内选取均匀分布的温度、压力数据作为模型输入,经预处理后对输出数值进行训练,并运用网格搜索法和交叉确认法优化模型的惩罚因子和正则化参数,建立了传感器温度补偿模型。实验结果表明,基于最小二乘支持向量机的温度补偿算法在0-100℃温度范围内把传感器输出综合精度从3.2%FS提高到0.25%FS,进一步提高了传感器的精度和温度使用范围,具有较高的实用价值。
关键词
硅
压阻式传感器
温度漂移
温度补偿
最小二乘支持向量机
Keywords
silicon piezoresistive sensor
temperature drift
temperature compensation
least square-support vector machine（LS-SVM）
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
在线阅读
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职称材料
题名
一种低功耗MEMS压阻式传感器的动态测试系统
被引量：
2
3
作者
刘峰
金磊
牛少华
刘海鹏
郭建昌
机构
北京理工大学爆炸科学与技术国家重点实验室
南阳理工学院电子与电气工程学院
出处
《北京理工大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第2期215-220,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(11372045)
河南省科技厅重点科技公关项目(152102210217)
+1 种基金
河南省高等学校重点科研项目计划(16A140046)
河南省基础与前沿技术研究(162300410069)
文摘
为了准确分析侵彻过载信号,提出了一种低功耗、高过载的动态测试系统,该系统可以承受2×10~5g过载信号,为了实现采样率高、低功耗、抗冲击的特点,系统采用硅晶振作为主振荡器,并选用低功耗CMOS芯片,当系统开始工作时,处理器进入深度休眠模式,当进入发射模式时开始对外围电路供电.当弹体发射信号时,采用滞回触发电路来触发启动采集系统开始采集.实验证明,采用此方案,延长了弹体生存周期,并能够精确采集到空气炮的过载信号.
关键词
MEMS
压阻式传感器
弹载
抗冲击
过载
Keywords
MEMS
piezoresistive sensors
missile loading
impact resistance
overload
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
宽温度压阻式传感器的热灵敏度漂移补偿
被引量：
2
4
作者
鞠文斌
于洪峰
吴亚林
机构
信息产业部电子第四十九研究所
出处
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2002年第5期43-45,共3页
文摘
介绍了压阻式传感器的灵敏度温度补偿原理 ,给出了一种在宽温度范围内采用了分段补偿方式进行灵敏度温度补偿的方法 ,实现了宽温度范围内较高的补偿准确度。这里介绍的方案是通过数 -模组合硬件电路实现分段补偿 ,具体方案是基于目前国内外OEM硅压力传感器厂商采用的固定电阻器并联补偿法。技术途径是设计一组温控开关电路来控制并联电阻器是否接入 ,温度信号来源于恒流源供电下的传感器桥压信号。此方法硬件电路及补偿计算均较简单 ,适用于较宽的温度环境 ,性能价格比合理。同时便于扩展为多段补偿以实现高补偿准确度 ,并且传感器在快速温变环境下工作时温度跟踪误差小。
关键词
宽温度
压阻式传感器
热灵敏度
漂移补偿
Keywords
subsection compensation
parallel resistance
active hardware circuit
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
静压桩贯入试验硅压阻式传感器的研制及应用
被引量：
1
5
作者
王永洪
张明义
张春巍
白晓宇
苗德滋
机构
青岛理工大学土木工程学院
青岛理工大学琴岛学院土木工程系
青岛理工大学蓝色经济区工程建设与安全协同创新中心
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2017年第6期843-847,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(51778312
41502304)
+1 种基金
山东省重点研发计划资助项目(2017GSF16107)
山东省自然科学基金资助项目(ZR2016EEP06)
文摘
根据静压桩贯入过程中桩端阻力、桩土界面土压力和孔隙水压力测试对传感器的要求,介绍了硅压阻式压力传感器的压阻效应和工作原理。针对尝试采用的模型桩硅压阻式传感器安装工艺,研制了两种出现方式的传感器,并对贯入过程中桩端阻力、桩土界面土压力和孔隙水压力进行了测试。试验结果表明,硅压阻式压力传感器成活率高达100%,模型桩硅压阻式传感器安装工艺可行,测试结果准确、可靠。硅压阻式传感器可以应用到静压桩贯入模型试验中。
关键词
硅
压阻式传感器
压
阻
效应
静
压
桩
贯入
模型试验
Keywords
silicon piezoresistive sensors
piezoresistive effect
jacked pile
driving
model test
分类号
TN384 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
压阻式传感器热灵敏度漂移的变压源补偿
被引量：
6
6
作者
吴亚林
赵扬
机构
信息产业部电子第四十九研究所
出处
《传感器技术》
CSCD
2000年第3期38-40,共3页
文摘
介绍了一种压阻式传感器灵敏度温度补偿的基本原理 ,并以加速度传感器为例 ,详细阐述了一种实用的变压源补偿电路。文章分析了整个温控电压源电路的温度特性 。
关键词
压阻式传感器
变
压
源补偿
热灵敏度漂移
Keywords
:piezo-resistance transducer
Pt-film resisor
Pt-film resistor
active circuit compiensation
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
纳机电探针阵列与压阻式传感器集成技术研究
被引量：
1
7
作者
杨尊先
程保罗
李昕欣
机构
中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
浙江大学信息与电子工程学系
出处
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2004年第1期73-76,共4页
基金
上海市纳米专项课题(0111NM077)
文摘
给出了纳机电探针阵列与压阻式传感器集成一维阵列器件结构及工作原理;通过理论计算得到该结构的一些主要的特性参数,计算结果与ANSYS模拟结果相符合;并运用微纳机械加工技术制造出该器件。该器件将加热电阻器、压阻式传感器和硅基针尖集成于在同一超薄微细悬臂梁,通过楔形开孔的机械切断,避免了加热电阻器高温处的PN结在高温下失去电隔离作用。室温下测得该器件加热电阻器的阻值为500～600Ω,压阻式传感器的力敏电阻器的阻值为6～8kΩ。
关键词
压阻式传感器
纳机电探针
集成
纳米探针
硅
纳机电系统
Keywords
integration
nanometer-probe
silicon
nano electromechanical system(NEMS)
分类号
TP212.6 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
检测棉条用压阻式传感器
8
作者
赵玉龙
蒋庄德
赵立波
机构
西安交通大学精密工程研究所
出处
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2001年第8期51-52,共2页
文摘
提出了适用于纺织机械中的并条机、梳棉机等前纺设备的棉条在线检测及纺织质量检测的一种压阻式传感器。给出了传感器的结构模型和实测数据。在棉条质量检测上 ,具有精度高、线形度好。
关键词
压阻式传感器
榭条
纺织质量
检测
硅集成电路
Keywords
piezoresistive transducer
textile yarn
the quality of textile yarn
measurement
分类号
TS103.6 [轻工技术与工程—纺织工程]
TP212.12 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
厚膜压阻式传感器用钌系电阻器导电性能研究
9
作者
陈建群
马以武
唐力强
王正宏
机构
中国科学院合肥智能机械研究所传感技术国家重点实验室
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2006年第1期33-35,38,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(60374050)
文摘
探讨了厚膜压阻式传感器用钌系电阻器的灵敏特性和提高钌酸盐厚膜力敏电阻器灵敏系数S的方法。实验证明:钌酸盐厚膜电阻器的灵敏系数与电阻材料的物化特性、工艺条件密切相关。通过对RuO2脱水温度、合成B i2Ru2O7固相反应温度和时间控制,并进行导电相与玻璃相粒径大小的有效搭配以及纳米掺杂改性,提高厚膜力敏电阻器的灵敏系数,其值可以达到17左右,达到国际先进水平。
关键词
厚膜
压阻式传感器
导电性能
掺杂改性
灵敏系数
Keywords
thick-film piezoresistive sensors
conductive characteristics
charactertistics with addition
gauge factor
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TN4 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
压阻式传感器多路温度补偿系统的设计
被引量：
5
10
作者
彭军皓
蒋庆
汤建斌
周乔军
机构
中国计量学院计量测试工程学院
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2014年第8期1-3,9,共4页
文摘
为解决压阻式传感器存在的温度漂移问题,设计了一种基于MAX1452信号调理芯片的多路自动温度补偿系统.介绍了传感器多路自动温度补偿系统的整体结构,着重阐述了系统的软硬件设计和自动补偿过程.利用设计的多路校准模块,系统一次可以补偿80只传感器.实验结果表明：整个系统工作稳定,传感器经过补偿以后在-30～90℃温度范围内稳定特性良好且综合误差不大于0.4％.
关键词
压阻式传感器
温度漂移
多路自动补偿
MAX1452
Keywords
piezoresistive sensor
temperature drift
multi-channel automatic compensation
MAX1452
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
三维非织造材料基压阻式传感器的制备与性能
被引量：
3
11
作者
李玲
刘庆生
李大伟
李昊轩
邓炳耀
机构
江南大学生态纺织教育部重点实验室
出处
《服装学报》
CAS
2023年第6期502-507,520,共7页
基金
中国纺织工业联合会应用基础研究项目(J202008)
宿迁市产业前瞻与共性关键技术项目(H202212)。
文摘
以聚乙酸乙烯酯(PVAc)为分散剂和黏合剂,将碳纳米管(CNT)均匀地分散在乙酸乙酯溶剂中,制得CNT分散液,同时对三维气流成网非织造材料(NW)进行处理,制得三维非织造材料基压阻式传感器(NW-PVAc-CNT);对NW-PVAc-CNT压阻式传感器的传感性能、透气性能以及潜在应用进行探讨。研究表明:该传感器在0~100 kPa工作范围内的灵敏度为1.07714,电流-电压曲线呈线性关系,并且在不同水平外力压缩-释放下的电流响应都具有良好的重复性,在200次的压缩-释放循环中的稳定性良好;NW-PVAc-CNT孔隙率为97.40%,透气率高达2970 mm/s;该传感器对手指按压、手指和手腕弯曲活动均能够响应,并可监测人体活动,在智能服装方面具有良好的应用价值。
关键词
三维气流成网非织造材料
聚乙酸乙烯酯
碳纳米管
压阻式传感器
透气
Keywords
3D air-laid nonwovens
PVAc
CNT
piezoresistive sensor
breathable
分类号
TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
微压阻式传感器有限元模拟及线性度优化设计
被引量：
1
12
作者
李文明
陈春俊
周丽名
机构
西南交通大学机械工程学院
出处
《机械设计与制造》
北大核心
2018年第1期152-155,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(51475387)
文摘
薄膜结构微压阻式传感器在提高灵敏度过程中容易引入非线性误差,导致传感器输出性能变差。通过分析微压阻式传感器核心敏感元件结构,利用Ansys软件建立硅杯薄膜有限元分析模型,并通过弹性力学方法对有限元模拟的精确度进行验证。针对薄膜结构传感器非线性误差随灵敏度提升而急剧增加的问题,为了提高传感器的线性性能,通过在敏感薄膜下方集成双岛结构,并分析优化岛长和岛宽等结构参数,得到了一种输出线性度优良的双岛结构传感器模型。模型输出结果表明:双岛结构挠度线性度为0.8%,相比薄膜结构8.6%有了较大的改善,电压输出线性度为0.9%,能满足使用要求,且实现了高灵敏度下线性输出优良的传感器模型设计。
关键词
微
压阻式传感器
有限元
线性度
敏感薄膜
双岛结构
Keywords
Micro Piezoresistive Sensor
Finite Element
Linear Degree
Sensitive Films
Dual Island Structure
分类号
TH16 [机械工程—机械制造及自动化]
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
用硅压阻式传感器的六孔测速探头及其应用
13
作者
陈轩
张训时
机构
清华大学
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
1984年第3期44-51,共8页
文摘
硅压阻式传感器是一种新型压力传感器,它具有体积小,频响高等优点。作者利用硅压阻式传感器制作了六孔测速探头,它可同时测量水流流场的总水压力、静水压力、流速和流向等。利用该探头对溢流坝模型水流进行实测表明,硅压阻式传感器六孔测速探头性能稳定,操作简便,是测量水流运动参量的一种新型仪器。
关键词
压阻式传感器
压
力
传感器
水流运动
水
压
力
频响
标定实验
方向角
时均流速
压
阻
传感器
新型仪器
分类号
TP2 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
利用有限元法的陶瓷压阻式传感器仿真分析与优化
14
作者
李结冻
黄忠毅
毛磊
机构
浙江大学机械系
浙江毅力汽车空调有限公司
出处
《现代制造工程》
CSCD
北大核心
2011年第11期82-85,共4页
文摘
阐述了陶瓷压阻式传感器的结构组成和工作原理。利用有限元ANSYS11.0软件对该陶瓷压阻式传感器进行仿真分析,分析结果表明,该陶瓷压阻式传感器线性度较低,灵敏度较差;随后对厚膜电阻布片位置和弹性膜片的径厚比进行优化,通过计算得出优化后陶瓷压阻式传感器的线性度提高0.23%,灵敏度提高20.5mV/MPa。这些分析为此类传感器的设计提供了理论依据。
关键词
陶瓷
压阻式传感器
有限元
线性度
灵敏度
优化
Keywords
the ceramic piezoresistive senor
FEM
the linearity
the sensitivity
optimize
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
半导体压阻式传感器的应用
被引量：
5
15
作者
陈颜军
机构
神东煤炭公司补连塔煤矿
出处
《煤炭工程》
北大核心
2005年第4期71-72,共2页
文摘
传感器在生产和生活的各个方面应用广泛 ,而半导体压阻式传感器以其优越的性能成为现代测试领域的主角。在煤矿安全生产中 ,更需要传感器全面监测各种参数。如 :瓦斯监测、一氧化碳监测、二氧化碳监测、矿井压力监测、采煤机工作情况、皮带运输机的运转情况等。
关键词
半导体
压阻式传感器
灵敏度
分辨率
半导体
传感器
Keywords
semiconductor piezoresistive sensor
flexibility
resolution
semiconductor
sensor
分类号
TP212.9 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
三轴压阻式传感器横向效应的研究
16
作者
续晋峰
张志杰
机构
中北大学通信与信息工程学院
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2009年第3期33-35,共3页
文摘
研究了霍普金斯杆冲击方法和自由落体冲击方法检测高量程微机械三轴压阻式传感器的横向效应,即分别在x轴、y轴的正向或负向作主轴时,检测三轴压阻式传感器其他2个方向感受到的g值大小和方向。依据结构设计分析应该没有横向效应,然而,在实验的测量中都得出大的横向效应,尤其是在z轴作为横向输出轴时得到较大的横向效应,而x,y轴作为横向输出轴时横向效应相对较小。试验结果表明:一定的主轴输出脉冲方向确定一定的横向输出轴的脉冲方向。
关键词
三轴
压阻式传感器
横向效应
脉冲方向
Keywords
three axis piezoresistive accelerometer
transverse effect
orientation of pulse
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
固态压阻式传感器及其应用
被引量：
1
17
作者
鲍良钝
机构
水电部南京水利水文自动化研究所
出处
《水文》
1986年第5期34-37,58,共5页
文摘
一、传感器概述能把物理量或化学量转换为与之有确定对应关系的电量输出的完整测量系统,称之为传感器。它是由敏感元件、传感元件和测量电路等三部分组成。传感器按用途分,有下述种类:力传感器<含压力、拉力、差压、加速度……)、光传感器、热传感器和磁传感器等等。传感器按其原理可分为。
关键词
压
阻
式
压
力
传感器
差
压
传感器
压
力
传感器
压阻式传感器
压
阻
效应
大气
压
力
空气
压
力
气体
压
力
测量精度
半导体
压
力
传感器
含沙量
含沙浓度
浮子
式
水位计
分类号
TP2 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
压敏电阻位置对压阻式压力传感器输出影响研究
18
作者
郝一鸣
雷程
王涛龙
余建刚
冀鹏飞
闫施锦
梁庭
机构
中北大学
成都天奥电子股份有限公司
出处
《仪表技术与传感器》
北大核心
2025年第5期10-14,共5页
基金
国家重点研发计划项目(2023YFB3209100)
中央引导地方科技发展资金项目(YDZJSX20231B006)
山西省重点研发计划项目(202302030201001)。
文摘
随着MEMS技术的快速发展,压阻式压力传感器在微型化进程中面临性能挑战。文中采用有限元模拟分析方法,研究了膜片尺寸和压敏电阻的布局对传感器输出的影响。芯片尺寸固定为1 100μm×700μm×400μm。结果表明:方形膜片边长与芯片宽度的比例小于4∶5时,最大应力随膜片边长的增加而变大。选取膜片尺寸为460μm×460μm×7.5μm,当压敏电阻置于敏感膜上时,输出电压随压敏电阻到膜片边缘距离的减小而增大。当平行于膜边电阻超过敏感膜边缘2μm、垂直于膜边电阻超过敏感膜边缘6μm时,芯片满量程输出最大。结果显示,膜片相对于芯片尺寸的比例以及压敏电阻的布局对压阻式压力传感器输出特性具有显著的影响,合理设计芯片结构,可以确保在压力传感器的微型化过程中实现高性能的目标。
关键词
压
阻
式
压
力
传感器
有限元仿真
敏感膜尺寸
压
敏电
阻
满量程输出
Keywords
piezoresistive pressure sensors
finite element simulation
sensitive film size
varistors
full-scale output
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
固支结构对压阻式加速度传感器的影响
19
作者
邸瑜
王丙寅
王志强
李婉华
李锐锐
梁庭
机构
中北大学微纳器件与系统教育部重点实验室
内蒙动力机械研究所
出处
《传感器与微系统》
北大核心
2025年第9期17-20,共4页
基金
国家重点研发计划资助项目(2023YFB3208500)
山西省重点研发计划资助项目(202302030201001)。
文摘
针对MEMS加速度传感器发展进程中传统仿真模型因未充分考虑固支结构所带来的影响,致使限制了传感器的优化设计。为此,针对四端四梁MEMS压阻式加速度传感器,运用有限元仿真分析方法,研究不同封装约束方法及固支结构对其性能的影响。研究发现,引入固支结构会造成压敏电阻路径应力约9%的偏差,不同封装方法对应力影响约1.8%。当固支结构宽度为400μm时,可在保证性能的同时,将整体结构尺寸缩小近32%,为微型化压阻式加速度传感器的设计制造提供了新思路与方法。
关键词
压
阻
式
加速度
传感器
微型化
有限元仿真
固支结构
封装约束方法
Keywords
piezoresistive accelerometers
miniaturization
finite element simulation
fixed support structures
packaging constraint methods
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
恒压激励式压力传感器模拟补偿工艺效能提升
20
作者
陈海卫
陈仁军
高维烨
机构
中国航发控制系统研究所
陆军装备部驻上海地区航空军事代表室
出处
《传感器与微系统》
北大核心
2025年第8期120-123,127,共5页
文摘
硅压阻式压力传感器输出受温度变化影响。由于压力传感器实际工作环境的温度变化范围很大,需要采用温度补偿方法来抑制环境温度对传感器特性的影响。当前所采用的模拟式压力传感器调试工艺较为依赖人工操作,费时费力。本文给出了一种针对恒压激励下的硅压阻式压力传感器桌面模型补偿调试工艺,通过搭建补偿电路、元器件等桌面模型,以测试数据结合桌面模型计算的调试工艺提高压力传感器模拟补偿过程中的调试效率及合格率。1000余支压力传感器的验证结果表明,基于桌面模型计算的调试一次合格率大于99%、调试效率提升400%以上,过程能力指数(CPK)为1.77,具备较强的工程化推广前景。
关键词
MEMS
硅
压
阻
式
压
力
传感器
模拟补偿
桌面模型计算
调试工艺
Keywords
MEMS
silicon piezoresistive pressure sensor
analog compensation
desktop model calculation
debugging process
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
硅压阻式传感器性能影响因素的研究
朱目成
夏季
张立红
刘强
《兵工自动化》
2000
7
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职称材料
2
基于最小二乘支持向量机的硅压阻式传感器温度补偿
杨遂军
康国炼
叶树亮
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2016
23
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职称材料
3
一种低功耗MEMS压阻式传感器的动态测试系统
刘峰
金磊
牛少华
刘海鹏
郭建昌
《北京理工大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019
2
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职称材料
4
宽温度压阻式传感器的热灵敏度漂移补偿
鞠文斌
于洪峰
吴亚林
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2002
2
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职称材料
5
静压桩贯入试验硅压阻式传感器的研制及应用
王永洪
张明义
张春巍
白晓宇
苗德滋
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2017
1
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职称材料
6
压阻式传感器热灵敏度漂移的变压源补偿
吴亚林
赵扬
《传感器技术》
CSCD
2000
6
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职称材料
7
纳机电探针阵列与压阻式传感器集成技术研究
杨尊先
程保罗
李昕欣
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2004
1
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职称材料
8
检测棉条用压阻式传感器
赵玉龙
蒋庄德
赵立波
《传感器技术》
CSCD
北大核心
2001
0
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职称材料
9
厚膜压阻式传感器用钌系电阻器导电性能研究
陈建群
马以武
唐力强
王正宏
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2006
0
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职称材料
10
压阻式传感器多路温度补偿系统的设计
彭军皓
蒋庆
汤建斌
周乔军
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2014
5
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职称材料
11
三维非织造材料基压阻式传感器的制备与性能
李玲
刘庆生
李大伟
李昊轩
邓炳耀
《服装学报》
CAS
2023
3
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职称材料
12
微压阻式传感器有限元模拟及线性度优化设计
李文明
陈春俊
周丽名
《机械设计与制造》
北大核心
2018
1
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职称材料
13
用硅压阻式传感器的六孔测速探头及其应用
陈轩
张训时
《仪器仪表学报》
EI
CAS
1984
0
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职称材料
14
利用有限元法的陶瓷压阻式传感器仿真分析与优化
李结冻
黄忠毅
毛磊
《现代制造工程》
CSCD
北大核心
2011
0
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职称材料
15
半导体压阻式传感器的应用
陈颜军
《煤炭工程》
北大核心
2005
5
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职称材料
16
三轴压阻式传感器横向效应的研究
续晋峰
张志杰
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2009
0
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职称材料
17
固态压阻式传感器及其应用
鲍良钝
《水文》
1986
1
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职称材料
18
压敏电阻位置对压阻式压力传感器输出影响研究
郝一鸣
雷程
王涛龙
余建刚
冀鹏飞
闫施锦
梁庭
《仪表技术与传感器》
北大核心
2025
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职称材料
19
固支结构对压阻式加速度传感器的影响
邸瑜
王丙寅
王志强
李婉华
李锐锐
梁庭
《传感器与微系统》
北大核心
2025
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职称材料
20
恒压激励式压力传感器模拟补偿工艺效能提升
陈海卫
陈仁军
高维烨
《传感器与微系统》
北大核心
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