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用压痕试验法研究CVD金刚石膜的粘附性能
被引量:
17
1
作者
匡同春
刘正义
+2 位作者
周克崧
代明江
王德政
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
1998年第1期83-90,共8页
在观察与分析压入过程中CVD金刚石膜开裂方式的基础上,初步探讨了用压痕试验法评定CVD金刚石膜粘附性能的可行性.采用反映膜/基粘附性能的临界开裂或剥落载荷Per和抗裂性参数dP/dX两指标评定了硬质合金基体表面经不同预处理方法和...
在观察与分析压入过程中CVD金刚石膜开裂方式的基础上,初步探讨了用压痕试验法评定CVD金刚石膜粘附性能的可行性.采用反映膜/基粘附性能的临界开裂或剥落载荷Per和抗裂性参数dP/dX两指标评定了硬质合金基体表面经不同预处理方法和沉积工艺参数合成的金刚石膜的粘附性能;研究了粘附性能指标与沉积工艺参数(如甲烷浓度、沉积气压、沉积功率)之间的关系.适当的表面预处理、适中的甲烷浓度、较低的沉积气压、较高的沉积功率均有利于改善金刚石膜的粘附性能.
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关键词
压痕试验法
CVD
粘附性能
金刚石薄膜
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职称材料
球压痕试验法评价金属材料的强度
被引量:
4
2
作者
黄礼洋
关凯书(导师)
《机械工程材料》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第1期85-91,共7页
通过单次压痕试验与有限元模拟相结合的方法,结合反向分析方法与模拟退火粒子群算法,从获得的载荷-深度曲线加载部分提取材料的塑性参数,基于Ludwig硬化模型预测了不同金属材料的强度,并与单轴拉伸试验结果进行对比。结果表明:模拟得到...
通过单次压痕试验与有限元模拟相结合的方法,结合反向分析方法与模拟退火粒子群算法,从获得的载荷-深度曲线加载部分提取材料的塑性参数,基于Ludwig硬化模型预测了不同金属材料的强度,并与单轴拉伸试验结果进行对比。结果表明:模拟得到的载荷-深度曲线与试验得到的几乎重合,二者的相对误差小于0.5%,说明模拟退火粒子群算法可有效地从压痕载荷-深度曲线中提取出金属材料的塑性参数;基于Ludwig硬化模型,利用反向分析方法从压痕载荷-深度曲线中提取的真应力-真塑性应变曲线不是唯一的,但从真应力-真塑性应变曲线计算得到的强度具有明显的收敛趋势;采用压痕试验得到不同金属材料的强度均接近于由拉伸试验得到的,屈服强度与抗拉强度的最大相对误差分别为5.9%,4.3%,说明采用压痕试验法可以准确地评价金属材料的强度。
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关键词
压痕试验法
反向分析
法
金属材料
屈服强度
抗拉强度
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职称材料
单晶蓝宝石的摩擦化学机械抛光
被引量:
2
3
作者
李刚
文东辉
王扬渝
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第2期222-227,共6页
为揭示抛光过程中SiO_2磨粒与蓝宝石的摩擦化学反应机理,结合摩擦化学理论和纳米压痕试验方法,采用有限元法模拟纳米压头压入与卸载后蓝宝石表面的应力分布情况.数值模拟结果表明:当SiO_2磨粒与蓝宝石的接触应力为5-15GPa时,发生固相...
为揭示抛光过程中SiO_2磨粒与蓝宝石的摩擦化学反应机理,结合摩擦化学理论和纳米压痕试验方法,采用有限元法模拟纳米压头压入与卸载后蓝宝石表面的应力分布情况.数值模拟结果表明:当SiO_2磨粒与蓝宝石的接触应力为5-15GPa时,发生固相反应所需活化能约为14.46kJ/mol,反应速率常数约为0.07-0.23μm/min;在摩擦化学反应过程中,SiO_2磨粒与蓝宝石的接触半径为15-21nm,其变形量为6.88-10.22nm.低载荷纳米压痕试验结果表明:忽略压头与SiO_2磨粒的硬度、几何形状等影响因素,单颗SiO_2磨粒上的作用力小于0.7 mN,其微观表面粗糙度R_t=38.19nm及R_a=3.62nm.
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关键词
蓝宝石衬底
摩擦化学抛光
纳米
压
入
有限元
法
纳米
压痕试验法
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职称材料
题名
用压痕试验法研究CVD金刚石膜的粘附性能
被引量:
17
1
作者
匡同春
刘正义
周克崧
代明江
王德政
机构
广东工业大学实验研究中心
华南理工大学
广州有色金属研究院
出处
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
1998年第1期83-90,共8页
基金
广东省科委项目!950263
省高教厅项目!960004
文摘
在观察与分析压入过程中CVD金刚石膜开裂方式的基础上,初步探讨了用压痕试验法评定CVD金刚石膜粘附性能的可行性.采用反映膜/基粘附性能的临界开裂或剥落载荷Per和抗裂性参数dP/dX两指标评定了硬质合金基体表面经不同预处理方法和沉积工艺参数合成的金刚石膜的粘附性能;研究了粘附性能指标与沉积工艺参数(如甲烷浓度、沉积气压、沉积功率)之间的关系.适当的表面预处理、适中的甲烷浓度、较低的沉积气压、较高的沉积功率均有利于改善金刚石膜的粘附性能.
关键词
压痕试验法
CVD
粘附性能
金刚石薄膜
Keywords
indentation test method, CVD diamond film, adhesion property, residual stress
分类号
TQ163 [化学工程—高温制品工业]
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职称材料
题名
球压痕试验法评价金属材料的强度
被引量:
4
2
作者
黄礼洋
关凯书(导师)
机构
华东理工大学
出处
《机械工程材料》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第1期85-91,共7页
文摘
通过单次压痕试验与有限元模拟相结合的方法,结合反向分析方法与模拟退火粒子群算法,从获得的载荷-深度曲线加载部分提取材料的塑性参数,基于Ludwig硬化模型预测了不同金属材料的强度,并与单轴拉伸试验结果进行对比。结果表明:模拟得到的载荷-深度曲线与试验得到的几乎重合,二者的相对误差小于0.5%,说明模拟退火粒子群算法可有效地从压痕载荷-深度曲线中提取出金属材料的塑性参数;基于Ludwig硬化模型,利用反向分析方法从压痕载荷-深度曲线中提取的真应力-真塑性应变曲线不是唯一的,但从真应力-真塑性应变曲线计算得到的强度具有明显的收敛趋势;采用压痕试验得到不同金属材料的强度均接近于由拉伸试验得到的,屈服强度与抗拉强度的最大相对误差分别为5.9%,4.3%,说明采用压痕试验法可以准确地评价金属材料的强度。
关键词
压痕试验法
反向分析
法
金属材料
屈服强度
抗拉强度
Keywords
indentation test method
inverse method
metal material
yield strength
tensile strength
分类号
TG115.5 [金属学及工艺—物理冶金]
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职称材料
题名
单晶蓝宝石的摩擦化学机械抛光
被引量:
2
3
作者
李刚
文东辉
王扬渝
机构
浙江工业大学特种装备制造与先进加工技术教育部重点实验室
出处
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第2期222-227,共6页
基金
国家科技支撑计划(2011BAK15B07)
国家自然科学基金项目(50705088)
+1 种基金
教育部科学技术研究重点项目(210088)
浙江省科技厅公益性技术应用研究计划项目(2013C31024)资助
文摘
为揭示抛光过程中SiO_2磨粒与蓝宝石的摩擦化学反应机理,结合摩擦化学理论和纳米压痕试验方法,采用有限元法模拟纳米压头压入与卸载后蓝宝石表面的应力分布情况.数值模拟结果表明:当SiO_2磨粒与蓝宝石的接触应力为5-15GPa时,发生固相反应所需活化能约为14.46kJ/mol,反应速率常数约为0.07-0.23μm/min;在摩擦化学反应过程中,SiO_2磨粒与蓝宝石的接触半径为15-21nm,其变形量为6.88-10.22nm.低载荷纳米压痕试验结果表明:忽略压头与SiO_2磨粒的硬度、几何形状等影响因素,单颗SiO_2磨粒上的作用力小于0.7 mN,其微观表面粗糙度R_t=38.19nm及R_a=3.62nm.
关键词
蓝宝石衬底
摩擦化学抛光
纳米
压
入
有限元
法
纳米
压痕试验法
Keywords
sapphire wafer
tribochemical polishing
nanoindentation
finite element method
nanoindentation method
分类号
O786 [理学—晶体学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
用压痕试验法研究CVD金刚石膜的粘附性能
匡同春
刘正义
周克崧
代明江
王德政
《无机材料学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
1998
17
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
球压痕试验法评价金属材料的强度
黄礼洋
关凯书(导师)
《机械工程材料》
CAS
CSCD
北大核心
2021
4
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
单晶蓝宝石的摩擦化学机械抛光
李刚
文东辉
王扬渝
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
2
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职称材料
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