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压电MEMS水听器本底噪声测试方法研究: 1; 作者陈丽洁葛宣佐 +3 位作者张强王大成冯秀娟徐兴烨《传感器与微系统》北大核心 2025年第9期46-49,共4页; 本底噪声是评价水听器性能的关键指标,因此对水听器的本底噪声进行测试与评价方法的研究,对水听器的研究具有重要意义。在水听器本底噪声测试中很难消除环境噪声,因此对于极低噪声水听器的本底噪声测试难度较大。本文基于自研本底噪声... 展开更多; 关键词压电mems 水听器本底噪声绝对测试法; 在线阅读下载PDF 职称材料

压电MEMS兰姆波器件技术的最新进展与展望被引量：5: 2; 作者于晓权何杰马晋毅《压电与声光》 CAS 北大核心 2022年第2期223-229,233,共8页; 兰姆波谐振器(LWR)作为一种新兴的压电微机电系统(MEMS)声学器件,同时具有高工作频率、高机电耦合系数、高品质因数值及低功耗等特点,其制造工艺与集成电路工艺兼容,可在单片晶圆上实现多频率器件。基于LWR的声学滤波器是实现高性能射... 展开更多; 关键词兰姆波谐振器(LWR) 压电微机电系统(mems) 横向激励声体波谐振器(XBAR) 高次谐波组合模式谐振器(CORs) 截面拉梅模式谐振器(CLMRs); 在线阅读下载PDF 职称材料

MEMS压电矢量水听器低噪声前置放大电路被引量：2: 3; 作者邓威樊青青 +2 位作者李俊红马军孔超《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第4期550-554,共5页; 等效自噪声是微机电系统(MEMS)压电矢量水听器重要的性能指标,前置放大电路的噪声是其主要来源之一。为降低MEMS压电矢量水听器的自噪声,设计了一种低噪声前置放大电路。采用双JFET并联电路结构,辅以合适的偏置电路,对不同噪声源进行理... 展开更多; 关键词等效自噪声 mems压电矢量水听器前置放大电路 1/f噪声噪声电压谱密度; 在线阅读下载PDF 职称材料

MEMS压电指向性传声器仿真与性能优化被引量：2: 4; 作者翟禹光李俊红 +1 位作者樊青青王文《压电与声光》 CAS 北大核心 2021年第6期830-833,839,共5页; 为提高微机电系统(MEMS)压电指向性传声器的声压灵敏度,该文采用有限元法对一种MEMS压电指向性传声器进行了仿真与性能优化。对于该压电指向性传声器结构的声压灵敏度随压电层材料种类、厚度及长度的变化进行了研究,优化了结构参数,提... 展开更多; 关键词有限元方法微机电系统(mems)压电指向性传声器压电结构灵敏度特征频率; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于Al_(0.8)Sc_(0.2)N压电薄膜MEMS声波器件的研制被引量：1: 5; 作者黄湘俊邸啸 +5 位作者刘娅李鑫易拥洁吴鹏程安兴朱鑫《压电与声光》 CAS 北大核心 2022年第3期397-402,共6页; 该文介绍了一种由5×5个半径为200μm圆形阵列组成,应用于水听器的高性能压电微机电系统(MEMS)声波器件,尺寸为3 mm×3 mm。采用钪掺杂(质量分数为20%)增强了AlN薄膜的压电系数,并通过双电极结构配置及优化结构尺寸来增强声压... 展开更多; 关键词压电微机电系统(mems) 声波器件 Al_(0.8)Sc_(0.2)N薄膜阵列结构灵敏度水听器; 在线阅读下载PDF 职称材料

微机电系统压电振动台迟滞补偿方法研究被引量：2: 6; 作者郝瑞彭倍周吴《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第17期2118-2124,共7页; 微机电系统(MEMS)压电振动台作为加速度传感器现场标定平台的新秀,能够提供片上物理驱动环境,为加速度传感器的快速重新标定提供持续稳定的加速度信号,然而用于压电振动台驱动的压电材料具有明显的迟滞特性,严重影响平台振动信号的稳定... 展开更多; 关键词 mems压电振动平台压电迟滞模型复合控制加速度传感器自标定; 在线阅读下载PDF 职称材料

C波段横向激励薄膜体声波谐振器设计与制备: 7; 作者吴高米马晋毅 +5 位作者李尚志司美菊唐小龙蒋世义江洪敏张祖伟《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第3期285-289,共5页; 针对未来移动通信对射频前端器件提出的多频率、高集成新要求,开展了兼具声表面波(SAW)谐振器和薄膜体声波谐振器(FBAR)技术特点的新型横向激励兰姆波谐振器研究。该文介绍了基于c轴择优取向氮化铝(AlN)压电薄膜的C波段横向激励薄膜体... 展开更多; 关键词压电微机电系统(mems)器件 C波段射频滤波器横向激励薄膜体声波谐振器(XBAR) 多频率高集成; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名压电MEMS水听器本底噪声测试方法研究: 1; 作者陈丽洁葛宣佐张强王大成冯秀娟徐兴烨; 机构哈尔滨工程大学水声技术全国重点实验室中国计量科学研究院中国电子科技集团公司四十九研究所; 出处《传感器与微系统》北大核心 2025年第9期46-49,共4页; 基金国家自然科学基金资助项目(52375529)。; 文摘本底噪声是评价水听器性能的关键指标,因此对水听器的本底噪声进行测试与评价方法的研究,对水听器的研究具有重要意义。在水听器本底噪声测试中很难消除环境噪声,因此对于极低噪声水听器的本底噪声测试难度较大。本文基于自研本底噪声测试设备,采用绝对测试法对所研制的压电MEMS水听器的本底噪声进行测试。通过对比试验,分析电路、环境、测试方法等因素对压电MEMS水听器本底噪声测试结果的影响,为水听器本底噪声的测试与评价提供经验参考。; 关键词压电mems 水听器本底噪声绝对测试法; Keywords piezoelectric mems hydrophones noise floor absolute measurement method; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名压电MEMS兰姆波器件技术的最新进展与展望被引量：5: 2; 作者于晓权何杰马晋毅; 机构中国电子科技集团公司第二十四研究所中国电子科技集团公司第二十六研究所; 出处《压电与声光》 CAS 北大核心 2022年第2期223-229,233,共8页; 文摘兰姆波谐振器(LWR)作为一种新兴的压电微机电系统(MEMS)声学器件,同时具有高工作频率、高机电耦合系数、高品质因数值及低功耗等特点,其制造工艺与集成电路工艺兼容,可在单片晶圆上实现多频率器件。基于LWR的声学滤波器是实现高性能射频前端组件的有效解决方案之一,能够满足未来通信设备多频率及集成化的发展要求,其相关研究已成为微声器件领域的热点。该文简要介绍了兰姆波的基本原理,综述了近年来基于氮化铝(AlN)薄膜和铌酸锂薄膜(LNOI)的压电MEMS兰姆波器件研究取得的最新成果,并讨论了压电MEMS兰姆波器件的发展趋势。; 关键词兰姆波谐振器(LWR) 压电微机电系统(mems) 横向激励声体波谐振器(XBAR) 高次谐波组合模式谐振器(CORs) 截面拉梅模式谐振器(CLMRs); Keywords Lamb wave resonator piezoelectric micro-electro-mechanical system(mems) laterally-excited bulk-wave resonators(XBAR) combined overtone resonators(CORs) cross-sectional-Lamé-mode resonator(CLMRs); 分类号 TN384 [电子电信—物理电子学] TN65 [电子电信—电路与系统]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名MEMS压电矢量水听器低噪声前置放大电路被引量：2: 3; 作者邓威樊青青李俊红马军孔超; 机构中国科学院声学研究所声场声信息国家重点实验室中国科学院大学; 出处《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第4期550-554,共5页; 基金国家自然科学基金资助项目(12174420,11874388) 中国科学院声学研究所自主部署“目标导向”类项目(MBDX202112) “前沿探索”类项目(QYTS202002)。; 文摘等效自噪声是微机电系统(MEMS)压电矢量水听器重要的性能指标,前置放大电路的噪声是其主要来源之一。为降低MEMS压电矢量水听器的自噪声,设计了一种低噪声前置放大电路。采用双JFET并联电路结构,辅以合适的偏置电路,对不同噪声源进行理论分析,优化电路参数,最终实现了噪声性能较优的低噪声前置放大电路的设计与制备。测试结果表明,在MEMS压电矢量水听器的工作频带内,低噪声前置放大电路信号放大无失真,电压增益为43.8d B,等效输入噪声电压谱密度为0.7nV√Hz@1 kHz其噪声性能较国内外同类型的放大电路具有一定优势。; 关键词等效自噪声 mems压电矢量水听器前置放大电路 1/f噪声噪声电压谱密度; Keywords equivalent self-noise mems piezoelectric vector hydrophone preamplifier circuit 1/f noise noise voltage spectral density; 分类号 TN384 [电子电信—物理电子学] TN929.3 [电子电信—通信与信息系统]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名MEMS压电指向性传声器仿真与性能优化被引量：2: 4; 作者翟禹光李俊红樊青青王文; 机构中国科学院声学研究所中国科学院大学; 出处《压电与声光》 CAS 北大核心 2021年第6期830-833,839,共5页; 基金国家自然科学基金资助项目(11874388)。; 文摘为提高微机电系统(MEMS)压电指向性传声器的声压灵敏度,该文采用有限元法对一种MEMS压电指向性传声器进行了仿真与性能优化。对于该压电指向性传声器结构的声压灵敏度随压电层材料种类、厚度及长度的变化进行了研究,优化了结构参数,提高了器件的灵敏度及信噪比。结果表明,当硅梁厚为10μm,压电层厚为6.3μm时,器件灵敏度达到最大,较先前结构提高了约14 dB。; 关键词有限元方法微机电系统(mems)压电指向性传声器压电结构灵敏度特征频率; Keywords finite element method micro-electro-mechanical system(mems)piezoelectric directional microphone piezoelectric structure sensitivity characteristic frequency; 分类号 TN384 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于Al_(0.8)Sc_(0.2)N压电薄膜MEMS声波器件的研制被引量：1: 5; 作者黄湘俊邸啸刘娅李鑫易拥洁吴鹏程安兴朱鑫; 机构联合微电子中心有限公司中国电子科技集团公司第二十六研究所; 出处《压电与声光》 CAS 北大核心 2022年第3期397-402,共6页; 文摘该文介绍了一种由5×5个半径为200μm圆形阵列组成,应用于水听器的高性能压电微机电系统(MEMS)声波器件,尺寸为3 mm×3 mm。采用钪掺杂(质量分数为20%)增强了AlN薄膜的压电系数,并通过双电极结构配置及优化结构尺寸来增强声压作用下的电信号输出,以实现压电MEMS声波器件具有更好的接收灵敏度。声波器件在空气中的接收灵敏度为-166.8 dB(Ref.1 V/μPa),比相同结构基于AlN薄膜的声波器件约高2.6 dB。在50 Hz~3 kHz带宽范围内,器件灵敏度曲线变化小于1.5 dB,具有平坦的声学响应。结果表明,基于Al_(0.8)Sc_(0.2)N薄膜的压电MEMS声波器件具有更高的接收灵敏度,经水密封装制成的水听器可应用于管道泄漏探测及海洋噪声监测等工程中。; 关键词压电微机电系统(mems) 声波器件 Al_(0.8)Sc_(0.2)N薄膜阵列结构灵敏度水听器; Keywords piezoelectric mems acoustic device Al_(0.8)Sc_(0.2)N film array structure sensitivity hydrophone; 分类号 TN384 [电子电信—物理电子学] TN64 [电子电信—电路与系统] TB565.1 [交通运输工程—水声工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微机电系统压电振动台迟滞补偿方法研究被引量：2: 6; 作者郝瑞彭倍周吴; 机构电子科技大学机械与电气工程学院; 出处《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2021年第17期2118-2124,共7页; 基金国家自然科学基金(52075082,51975107) 四川省科技厅区域创新合作项目(2020YFQ0017)。; 文摘微机电系统(MEMS)压电振动台作为加速度传感器现场标定平台的新秀,能够提供片上物理驱动环境,为加速度传感器的快速重新标定提供持续稳定的加速度信号,然而用于压电振动台驱动的压电材料具有明显的迟滞特性,严重影响平台振动信号的稳定性和连续性。基于上述振动台振动特性,建立基于多项式拟合的压电迟滞模型,采用前馈控制和反馈控制相结合的复合控制方法对压电振动台进行控制和加速度滞后补偿。实验结果表明,在10 V(317 Hz)正弦电压激励下,MEMS压电振动台提供的简谐振动信号的加速度最大误差从1.3g降到了0.05g。; 关键词 mems压电振动平台压电迟滞模型复合控制加速度传感器自标定; Keywords micro-electro-mechanical system(mems)piezoelectric vibratory platform piezoelectric hysteresis model compound control accelerometer self-calibration; 分类号 TH703 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名C波段横向激励薄膜体声波谐振器设计与制备: 7; 作者吴高米马晋毅李尚志司美菊唐小龙蒋世义江洪敏张祖伟; 机构中国电子科技集团公司第二十四研究所中电科芯片技术(集团)有限公司国知创芯(重庆)科技有限公司; 出处《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第3期285-289,共5页; 基金重庆市博士后科学基金资助项目(CSTB2023NSCQ-BHX0030)。; 文摘针对未来移动通信对射频前端器件提出的多频率、高集成新要求,开展了兼具声表面波(SAW)谐振器和薄膜体声波谐振器(FBAR)技术特点的新型横向激励兰姆波谐振器研究。该文介绍了基于c轴择优取向氮化铝(AlN)压电薄膜的C波段横向激励薄膜体声波谐振器(XBAR)的结构设计、参数优化和制备方法,并进行了工艺验证。通过剥离和刻蚀等步骤制备了谐振频率4.464 GHz、品质因数3039、品质因数与频率之积(f×Q)达到1.56×10^(13)GHz、面积小于0.12 mm^(2)的低杂波XBAR谐振器,并仿真分析了其用于射频滤波器的可行性。该研究为进一步研制多频率、高集成的小型化XBAR滤波器组件提供了有效的设计技术和工艺技术支撑。; 关键词压电微机电系统(mems)器件 C波段射频滤波器横向激励薄膜体声波谐振器(XBAR) 多频率高集成; Keywords piezoelectric micro-electro-mechanical systems device C-band radio-frequency filter laterally excited bulk acoustic resonator multi-frequency high-integration; 分类号 TN384 [电子电信—物理电子学] TN65 [电子电信—电路与系统] TN713 [电子电信—电路与系统]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	压电MEMS水听器本底噪声测试方法研究	陈丽洁葛宣佐张强王大成冯秀娟徐兴烨	《传感器与微系统》北大核心	2025	0	在线阅读下载PDF 职称材料
2	压电MEMS兰姆波器件技术的最新进展与展望	于晓权何杰马晋毅	《压电与声光》 CAS 北大核心	2022	5	在线阅读下载PDF 职称材料
3	MEMS压电矢量水听器低噪声前置放大电路	邓威樊青青李俊红马军孔超	《压电与声光》 CAS 北大核心	2024	2	在线阅读下载PDF 职称材料
4	MEMS压电指向性传声器仿真与性能优化	翟禹光李俊红樊青青王文	《压电与声光》 CAS 北大核心	2021	2	在线阅读下载PDF 职称材料
5	基于Al_(0.8)Sc_(0.2)N压电薄膜MEMS声波器件的研制	黄湘俊邸啸刘娅李鑫易拥洁吴鹏程安兴朱鑫	《压电与声光》 CAS 北大核心	2022	1	在线阅读下载PDF 职称材料
6	微机电系统压电振动台迟滞补偿方法研究	郝瑞彭倍周吴	《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2021	2	在线阅读下载PDF 职称材料
7	C波段横向激励薄膜体声波谐振器设计与制备	吴高米马晋毅李尚志司美菊唐小龙蒋世义江洪敏张祖伟	《压电与声光》 CAS 北大核心	2024	0	在线阅读下载PDF 职称材料