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题名通风孔对压电麦克风低频响应的影响研究
被引量：1
- 1
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作者
华晴
沈拓
焦云菲
张轩雄
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机构
上海理工大学 光电信息与计算机工程学院
领科教育上海校区
同济大学 道路与交通工程教育部重点实验室
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出处
《上海理工大学学报》
CAS
CSCD
北大核心
2019年第5期455-460,共6页
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基金
国家自然科学基金资助项目(U734211)
上海市科委科研项目(17DZ1100106)
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文摘
根据压电麦克风的工作原理建立压电传感器的集总元件等效声电模型,分析通风孔结构对压电麦克风灵敏度的影响。通过有限元建模,研究通风孔的几何尺寸对压电麦克风低频输出的影响。通风孔位于硅基的位置不影响麦克风的低频输出。通风孔的横截面积一定时,长度越长,低频响应越快。通风孔的长度一定时,横截面积越小,低频响应越好。如果要达到相同的低频位移输出,通风孔的横截面积比为2倍时,长度比应为4倍。
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关键词
压电麦克风
通风孔
集总元件模型
等效电路模型
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Keywords
piezoelectric microphone
vent
lumped element model
equivalent circuit model
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名带封装的压电麦克风声电模型
被引量：1
- 2
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作者
华晴
沈拓
张轩雄
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机构
上海理工大学光电信息与计算机学院
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
2018年第11期42-44,共3页
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基金
国家自然科学基金委高铁联合基金资助项目(U1734211)
上海市科委科研资助项目(17DZ1100106)
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文摘
基于声电类比的原理,通过对微机电系统(MEMS)压电麦克风的结构参数进行讨论,提出一种带封装结构的压电麦克风集总元件等效电路模型。利用此模型对压电麦克风的性能进行理论分析。通过模拟结果和实际实验数据进行对比可知,提出的压电麦克风等效声电模型模拟结果与实验结果一致,验证等效电路的合理性。为进一步优化MEMS压电麦克风的结构提供了理论基础。
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关键词
压电麦克风
集总元件模型
微机电系统
等效电路模型
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Keywords
piezoelectric microphone
lumped element model
micro-electro-mechanical system （MEMS）
equivalent circuit model
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名新型压电驻极体脉搏分析仪
- 3
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作者
黄辉
郑洁
梁海
朱彪
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机构
深圳市豪恩声学股份有限公司
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出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2015年第4期575-577,共3页
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基金
深圳市战略新兴产业发展专项资金科学基金资助项目(CXZZ20120611094042983)
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文摘
利用多孔压电驻极体薄膜制备压电传感器,贴在手腕上采集脉搏振动的信号,并配上相应的后端电路和显示装置,制造出一种新型的压电驻极体脉搏分析仪。由于采用压电驻极体薄膜作为脉搏传感器的换能器,脉搏分析仪的灵敏度高,失真度低,重复性好。在脉搏分析仪中,采用塑化膜的形式封装压电电极,易引入干扰。采用压电麦克风的封装形式的传感器抗干扰能力强,且场效应晶体管(FET)易集成,成本低,实测的波形图近似于典型心电图波形,具有很大的医疗参考价值。
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关键词
压电驻极体
压电传感器
脉搏分析仪
压电麦克风
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Keywords
piezoelectret
piezoelectric sensor
pulse analyzer
piezoelectric microphone
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分类号
TN644.2
[电子电信—电路与系统]
TM304
[电气工程—电机]
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