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题名压电式高频振动台的研制
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作者
杨丽峰
于梅
徐爱华
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机构
中国计量科学研究院
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出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2012年第4期299-302,共4页
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基金
中国计量科学研究院青年基金(AKYQ0706)
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文摘
根据高频振动基准装置的研究现状和应用需求,研究了压电式高频振动台的优化设计方案,并对压电式高频振动台在设计中的几个重要问题:高频台各组成部分的功能及选择、压电叠堆设计参数的优化、接触界面对振动台性能的影响与预应力的选择及影响等进行了分析。研制了新型压电式高频振动台,其工作频率为2-50kHz,最大振幅500nm。给出了新型压电式高频振动台的主要技术指标和比对实验数据。
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关键词
计量学
压电式高频振动台
压电叠堆
预应力
压电陶瓷
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Keywords
Metrology
Piezoelectric high frequency vibrator
Piezoelectric stack
Pre-stress
Piezoelectric ceramics
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分类号
TB936
[机械工程—测试计量技术及仪器]
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题名2～50kHz高频振动幅值和相位基准的研究
被引量：6
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作者
于梅
左爱斌
孙桥
杨丽峰
刘爱东
马明德
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机构
中国计量科学研究院
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出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2008年第3期216-221,共6页
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文摘
在外差激光干涉原理的基础上,提出了改进的外差正弦逼近法和基于波峰波谷的外差时间间隔法,研制了Mach-Zehnder外差式激光干涉仪和信号调理仪,构建了PXI虚拟仪器测量系统,在压电高频（2～50 kHz）振动台上,实现了1～500 nm振幅范围内的纳米级振动传感器灵敏度幅值和相移的测量,建立了国家高频振动幅值和相位基准,并在2～10 kHz频率范围内完成中国计量科学研究院（NIM）与德国物理技术研究院（PTB）的国际比对。
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关键词
计量学
高频振动幅值和相位基准
外差激光干涉法
改进的正弦逼近法
基于波峰波谷的时间间隔法
压电高频振动台
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Keywords
Metrology
High frequency vibration primary standard for the magnitude and phase
Heterodyne interferometry
Modified heterodyne sine approximation method
Time interval method based on wave crests and troughs
High frequency piezoelectric shaker
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分类号
TB936
[机械工程—测试计量技术及仪器]
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